Lisi o Mataupu
1.Aotelega ma Galuega Autū o le FOUP
2.Fausaga ma Vaega o le Fuafuaga o le FOUP
3. Taiala mo le Faavasegaina ma le Faaaogaina o le FOUP
4. Fa'agaioiga ma le Taua o le FOUP i le Gaosiga o Semiconductor
5.Luitau Fa'atekinolosi ma Aga Masani o Atina'e i le Lumana'i
6. Fofo Fa'apitoa a le XKH ma le Lagolagoina o Auaunaga
I le faagasologa o le gaosiga o semiconductor, o le Front Opening Unified Pod (FOUP) o se pusa taua e faʻaaogaina mo le puipuia, felauaiga, ma le teuina o wafers. O lona totonu e mafai ona ofi ai ni fasi wafers e 25 e 300mm, ma o ona vaega autu e aofia ai se pusa e tatala i luma ma se faʻavaa faitotoʻa faʻapitoa mo le tatalaina ma le tapunia. O le FOUP o se avetaʻavale autu i le faiga felauaiga otometi i totonu o le 12-inisi wafer fabs. E masani ona felauaiga i se tulaga tapuni ma e naʻo le tatalaina pe a tuleia i le port uta o masini, e mafai ai ona faʻaliliuina wafers i totonu o le port uta/laʻu uta o masini.
O le mamanu o le FOUP ua fetu'una'i i mana'oga o le siosiomaga laiti. O lo'o i ai ni avanoa i tua mo le fa'aofiina o le wafer, ma o le tapuni ua mamanuina fa'apitoa e fetaui ma le fa'amau o le mea e tatala ai. O lo'o fa'agaoioia roboti e taulimaina wafer i se siosiomaga ea mama Vasega 1, ma ia mautinoa ai e le pisia wafer i le taimi o le fa'asalalauga. E le gata i lea, o le FOUP e fa'agaioia i le va o meafaigaluega fa'agasologa e ala i se faiga fa'atautaia meafaitino otometi (AMHS). O wafer fabs fa'aonaponei e tele lava ina fa'aogaina faiga o nofoaafi i luga mo felauaiga, ae o nisi o fabs tuai atonu e fa'aogaina ta'avale ta'ita'ia otometi (AGV) i luga o le eleele.
E lē gata ina mafai ai e le FOUP ona fa'aautomatika le fesiitaiga o wafer ae e fa'atumauina ai fo'i se galuega teuina. Ona o le tele o la'asaga o le gaosiga, e ono tele masina e fa'amae'a ai le faagasologa atoa o le gaosiga o wafer. Fa'atasi ai ma le tele o le gaosiga fa'alemasina, o lona uiga e faitau afe wafer i totonu o se fale gaosi oloa o lo'o fesiita'i pea pe teuina fa'afuase'i i so'o se taimi. I le taimi o le teuina, e fa'amamāina fa'asolosolo FOUP i le nitrogen e puipuia ai mea leaga mai le pa'i atu i wafer, ma fa'amautinoa ai se faiga gaosiga mama ma fa'atuatuaina.
1. Galuega ma le Taua o le FOUP
O le galuega autū a le FOUP o le puipuia lea o wafers mai le te'i mai fafo ma le fa'aleagaina, aemaise lava le 'alofia o a'afiaga i le fua o le gaosiga i le taimi o le fesiitaiga. E puipuia lelei ai le susu e ala i metotia e pei o le fa'amamaina o le kesi ma le Local Atmosphere Control (LAC), ma fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea wafers i se tulaga saogalemu a'o fa'atali mo le isi la'asaga gaosiga. O lana faiga fa'amaufa'ailogaina ma pulea e na'o vaila'au ma elemene talafeagai e mafai ona ulufale i totonu, ma fa'aitiitia ai le leaga o a'afiaga o VOCs, okesene, ma le susu i luga o wafers.
Talu ai o se FOUP ua tumu i le 25 wafers e mafai ona oo atu i le 9 kilokalama le mamafa, o lona felauaiga e tatau ona faalagolago i se Automated Material Handling System (AMHS). Mo le faafaigofieina o lenei mea, ua mamanuina le FOUP ma ni tuufaatasiga eseese o papatusi soofaatasi, pine, ma pu, ma ua faaauupegaina i pine eletise RFID mo le faigofie ona iloa ma faavasega. O lenei taulimaina otometi e toetoe lava a leai se faagaoioiga lima e manaomia, e matua faaitiitia ai fua faatatau o mea sese ma faaleleia atili ai le saogalemu ma le sao o le faagasologa o le gaosiga.
2. Fausaga ma le Faavasegaga o le FOUP
O fua masani o se FOUP e tusa ma le 420 mm le lautele, 335 mm le loloto, ma le 335 mm le maualuga. O ona vaega autu o le fausaga e aofia ai: se OHT pito i luga (ulu pulouaitu) mo le felauaiga o le si'i i luga; se Faitoto'a i luma mo le ulufale atu i le masini; 'Au i autafa, e masani ona valivali e iloa ai vaega o le faagasologa ma tulaga eseese o le palapala; se vaega o Kata mo le tu'uina o kata savali; ma se pine RFID pito i lalo e fai ma fa'ailoga tulaga ese mo le FOUP, e mafai ai e meafaigaluega ma si'i i luga ona iloa. O le fa'avae ua fa'apipi'iina fo'i i pu e fa e iloa ai ma tu'u ai mo le fa'afetaui ma meafaigaluega ma le iloa ai vaega o le faagasologa.
E faʻavae i luga o le faʻaaogaina, e vaevaeina FOUP i ituaiga e tolu: PRD (mo le gaosiga), ENG (mo wafers inisinia), ma le MON (mo wafers mataʻituina). E mafai ona faʻaaogaina PRD FOUPs mo le gaosiga o oloa, o ituaiga ENG e talafeagai mo R&D poʻo faʻataʻitaʻiga, ma o ituaiga MON e faʻapitoa mo le mataʻituina o le faagasologa mo laʻasaga e pei o le CMP ma le DIFF. E taua le maitauina e mafai ona faʻaaogaina PRD FOUPs mo faʻamoemoega uma e lua o le ENG ma le MON, ma e mafai ona faʻaaogaina ituaiga ENG mo le MON, ae o le faʻagaioiga faʻafeagai e iai ni lamatiaga i le lelei.
Fa'avasegaina e tusa ai ma le tulaga o le fa'aleagaina, e mafai ona vaevaeina FOUP i le FE FOUP (fa'agasologa pito i luma, e leai se u'amea), BE FOUP (fa'agasologa pito i tua, o lo'o i ai u'amea), ma i latou e fa'apitoa mo fa'agasologa u'amea fa'apitoa e pei o le NI FOUP, CU FOUP, ma le CO FOUP. O FOUP mo fa'agasologa eseese e masani ona iloa i le lanu o 'au i autafa po'o paneta o faitoto'a. E mafai ona fa'aogaina FOUP mai fa'agasologa pito i luma i fa'agasologa pito i tua, ae e le tatau ona fa'aogaina FOUP pito i tua i fa'agasologa pito i luma, aua o le a mafua ai ni lamatiaga o le fa'aleagaina.
I le avea ai ma se vaega autū i le gaosiga o semiconductor, o le FOUP, e ala i le otometi maualuga ma le pulea lelei o mea leaga, e faʻamautinoa ai le saogalemu ma le mama o wafers i le taimi o le gaosiga, ma avea ai ma se atinaʻe taua i fale gaosi wafer faʻaonaponei.
Faaiuga
Ua tautino atu le XKH e tuʻuina atu i tagata faʻatau ni fofo faʻapitoa mo le Front-Opening Unified Pod (FOUP), ma tausisi ma le faʻamaoni i ou manaʻoga faʻapitoa mo le faʻagasologa ma faʻamatalaga o le fesoʻotaʻiga o meafaigaluega. Faʻaaogaina tekinolosi faʻaonaponei ma faiga gaosiga saʻo, matou te faʻamautinoa o oloa uma a le FOUP e tuʻuina atu le ea, le mama, ma le mautu faʻamekanika. O la matou 'au faʻapitoa e iai le tomai loloto i pisinisi, e ofoina atu le lagolago atoatoa i le olaga atoa—mai le feutagaiga i filifiliga ma le faʻaleleia atili o le fausaga i le faʻamamaina ma le tausiga—e faʻamautinoa ai le tuʻufaʻatasia lelei ma le galulue faʻatasi lelei i le va o le FOUP ma lau Automated Material Handling System (AMHS) faʻapea foʻi ma meafaigaluega faʻagasolo. Matou te faʻamuamua pea le saogalemu o wafers ma le faʻaleleia atili o le gaosiga o a matou sini autu. E ala i oloa fou ma auaunaga faʻapitoa uma, matou te tuʻuina atu se faʻamaoniga malosi mo au faiga gaosiga semiconductor, ma iu ai ina faʻaleleia atili ai le lelei o le gaosiga ma le gaosiga o oloa.
Taimi na lafoina ai: Setema-08-2025