Lisi o Mataupu
1.Otootoga ma Galuega Autu ole FOUP
2.Faitūina ma Fuafuaga o le FOUP
3. Fa'avasegaina ma Ta'iala mo le Fa'aaogāga o FOUP
4. Fa'agaioiga ma le Taua o le FOUP i Semiconductor Gaosiga
5.Luitau Faʻainisinia ma Faʻasologa o Atinaʻe i le Lumanaʻi
6.XKH's Customized Solutions and Service Support
I le faiga o le gaosiga o le semiconductor, o le Front Opening Unified Pod (FOUP) o se pusa taua e faʻaaogaina mo le puipuia, felauaiga, ma le teuina o fafie. O lona totonu e mafai ona ofi ai le 25 fasi 300mm wafers, ma o ona vaega autu e aofia ai se atigipusa tatala i luma ma se faʻavaa faitotoʻa faʻapitoa mo le tatalaina ma le tapuni. O le FOUP ose fe'avea'i autu i totonu o le fa'aautometi felauaiga i totonu ole 12inch wafer fabs. E masani ona felauaiga i se tulaga tapuni ma faatoa tatala pe a tulei i le uta uta meafaigaluega, e mafai ai ona fesiita'i i totonu o le uafu uta/la'u ese o meafaigaluega.
Ole mamanu ole FOUP e fa'atatau ile micro-si'osi'omaga mana'omia. O lo'o iai ni avanoa i tua mo le fa'aofiina o wafer, ma o le tapuni ua mamanuina fa'atasi e fetaui ma le pipii o le mea tatala. E fa'agaoioi robots e fa'aogaina le wafer i totonu o le Vasega 1 mama le siosiomaga ea, fa'amautinoa e le'o fa'aleagaina ia fa'asolo i le taimi o felauaiga. E le gata i lea, o le FOUP o loʻo faʻanofoina i le va o meafaigaluega faʻagaioiga e ala i le faʻaogaina o mea faʻapitoa (AMHS). O fale masi fa'aonaponei e tele lava ina fa'aogaina auala o nofoaafi i luga a'e mo felauaiga, a'o nai fale tuai e mafai ona fa'aogaina ta'avale fa'ata'ita'i (AGV).
O le FOUP e le gata e mafai ai ona fesiita'i otometi, ae fa'apena fo'i se galuega e teu ai. Ona o le tele o la'asaga o le gaosiga, e ono tele ni masina e fa'amae'a ai le fa'agasologa o le fa'agasologa. A tu'ufa'atasia ma le maualuga o le gaosiga o masina ta'itasi, o lona uiga o le fiasefulu afe o wafers i totonu o le fab o lo'o fa'aauau pea ona femalaga'i po'o le teuina le tumau i so'o se taimi. I le taimi e teu ai, e fa'amama fa'avaitaimi le FOUPs i le nitrogen e puipuia ai mea leaga mai le fa'afeso'ota'i o wafers, fa'amautinoaina se faiga mama ma fa'atuatuaina.
1. Galuega ma le Taua ole FOUP
O le galuega autu a le FOUP o le puipuia lea o mea'ai mai le te'i mai fafo ma le fa'aleagaina, aemaise le aloese mai a'afiaga i fua i le taimi o le fesiitaiga. E puipuia lelei ai le susu e ala i auala e pei o le faamamaina o le kesi ma le Local Atmosphere Control (LAC), faʻamautinoa o loʻo tumau pea i se tulaga saogalemu aʻo faʻatali le isi laasaga o gaosiga. O lona fa'amaufa'ailogaina ma le fa'atonuina e fa'ataga ai na'o mea e mana'omia ma elemene e ulufale ai, e fa'aitiitia ai a'afiaga leaga o le VOC, okesene, ma le susu i luga o fafie.
Talu ai o le FOUP ua tumu atoa i le 25 wafers e mafai ona mamafa i le 9 kilokalama, o lana felauaiga e tatau ona faʻalagolago i se Automated Material Handling System (AMHS). Ina ia faʻafaigofieina lenei mea, o le FOUP ua mamanuina i tuʻufaʻatasiga eseese o paʻu faʻapipiʻi, pine, ma pu, ma faʻapipiʻiina i faʻailoga eletise RFID mo le faigofie ona iloa ma faʻavasegaina. O lenei faʻaogaina faʻapitoa e manaʻomia toetoe lava leai se faʻaoga tusilima, faʻaititia tele fua o mea sese ma faʻaleleia le saogalemu ma le saʻo o le gaosiga o gaosiga.
2. Fa'atulagaga ma Fa'avasegaga o FOUP
O fua masani o le FOUP e tusa ma le 420 mm le lautele, 335 mm le loloto, ma le 335 mm le maualuga. O ona vaega fa'avae autu e aofia ai: o le OHT pito i luga (ulu mushroom) mo fela'ua'iga i luga a'e; o se Faitotoa pito i luma mo mea faigaluega wafer; itu U'u, e masani ona lanu e iloagofie ai vaega o faiga e eseese tulaga fa'aleagaina; se vaega o Kata e tu'u ai kata fe'au; ma le pito i lalo RFID tag e avea ma faʻamatalaga tulaga ese mo le FOUP, faʻatagaina meafaigaluega ma luga o le ulu e iloa ai. O loʻo faʻapipiʻiina foʻi le faʻavae i faʻamatalaga e fa ma faʻapipiʻi pu mo le fetaui ma meafaigaluega ma le faʻavasegaina o vaega o gaioiga.
E fa'atatau i le fa'aogaina, e fa'avasegaina FOUPs i ituaiga e tolu: PRD (mo le gaosiga), ENG (mo fa'ainisinia wafers), ma le MON (mo mata'itusi wafers). PRD FOUPs e mafai ona faʻaogaina mo le gaosiga o oloa, ituaiga ENG e talafeagai mo R&D poʻo faʻataʻitaʻiga, ma ituaiga MON e faʻapitoa e faʻatautaia le mataʻituina o laasaga e pei o le CMP ma le DIFF. E taua le maitauina o PRD FOUPs e mafai ona faʻaogaina mo faʻamoemoega ENG ma MON, ma e mafai ona faʻaogaina ituaiga ENG mo MON, ae o le faʻaogaina o gaioiga e tulaʻi mai ai tulaga lamatia lelei.
Fa'avasegaina ile tulaga fa'aleagaina, FOUP e mafai ona vaevaeina ile FE FOUP (fa'agasolo pito i luma, leai se u'amea), BE FOUP (faiga pito i tua, o lo'o i ai uamea), ma mea fa'apitoa mo faiga fa'apitoa e pei ole NI FOUP, CU FOUP, ma le CO FOUP. FOUPs mo faiga eseese e masani lava ona iloga i le lanu o le itu au poʻo faitotoʻa panels. FOUPs mai faiga pito i luma e mafai ona fa'aoga i faiga pito i tua, ae ole FOUP pito i tua e le tatau lava ona fa'aogaina i faiga pito i luma, aua e ono a'afia ai le afaina.
I le avea ai o se taʻavale autu i le gaosiga o semiconductor, o le FOUP, e ala i le maualuga o le masini ma le faʻamaʻiina o le faʻamaʻiina, faʻamautinoa le saogalemu ma le mama o wafers i le taimi o le gaosiga o gaosiga, ma avea ai ma atinaʻe taua i faʻaonaponei faʻaonaponei.
Fa'ai'uga
O loʻo tuuto le XKH i le tuʻuina atu o tagata faʻatau i fofo faʻapitoa i luma o le Open-Opening Unified Pod (FOUP), faʻapipiʻi atoatoa i au faʻatonuga faʻapitoa ma faʻamatalaga faʻaoga meafaigaluega. O le faʻaaogaina o tekinolosi faʻapitoa ma faʻagasologa o gaosiga saʻo, matou te faʻamautinoaina o oloa uma a le FOUP e tuʻuina atu le malulu, mama, ma le mautu masini. O la matou 'au fa'atekinisi o lo'o i ai le poto fa'apitoa tau alamanuia, ofo atu le lagolago atoatoa o le olaga-mai le fa'atalanoaga o filifiliga ma le fa'ata'atiaga lelei i le fa'amamāina ma le tausiga--fa'amautinoa le tu'ufa'atasiga lelei ma le galulue fa'atasi i le va o le FOUP ma lau Automated Material Handling System (AMHS) fa'apea fo'i ma mea faigaluega. Matou te faʻamuamua pea le saogalemu o wafers ma le faʻaleleia o fua o gaosiga e fai ma a matou sini autu. E ala i oloa fou ma au'aunaga fa'atekinisi uma, matou te tu'uina atu se fa'amaoniga malosi mo au faiga fa'atosina semiconductor, i'u ina fa'ateleina ai le lelei o le gaosiga ma le fa'atupuina o oloa.
Taimi meli: Sep-08-2025