I le gaosiga o le semiconductor, a'o photolithography ma etching o faiga e sili ona ta'ua soo, epitaxial po'o le manifinifi fa'apipi'i metotia e tutusa le taua. O lenei tusiga o loʻo faʻaalia ai le tele o auala masani e teu ai ata manifinifi o loʻo faʻaaogaina i le gaosiga o chip, e aofia aiMOCVD, manetron sputtering, maPECVD.
Aisea e Taua ai Fa'agasologa o Ata Tifaga Manifinifi i le Gaosiina o Chip?
O se faataʻitaʻiga, seʻi manatu i se falaoa mafolafola tuusaʻo. A'o ia lava, e ono tofo lemu. Ae ui i lea, e ala i le fufuluina o luga i sosi eseese-pei o se paʻu pi suamalie poʻo le sua suamalie suamalie-e mafai ona e suia atoa lona tofo. O nei mea e faʻaleleia ai le tofo e tutusa maata manifinifii faiga semiconductor, ae o le falaoa mafolafola lava e fai ma sui o lemea'ai.
I le gaosiga o kesi, o ata manifinifi e tele ni matafaioi fa'atino-fa'a'ese'esega, fa'agaoioiga, fa'agasolo, fa'amama malamalama, ma isi—ma o galuega ta'itasi e mana'omia ai se faiga fa'apitoa.
1. Uamea-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)
O le MOCVD o se auala sili ona maualuga ma saʻo e faʻaaogaina mo le faʻapipiʻiina o ata manifinifi semiconductor maualuga ma nanostructures. E iai sona sao taua i le fausiaina o masini e pei o LED, lasers, ma eletise eletise.
Vaega Autu o le MOCVD System:
- Faiga Fa'atauga Kesi
E nafa ma le faʻaofi saʻo o mea faʻafefe i totonu o le potu tali. E aofia ai le pulea o le tafe o:
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Kasa ave
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u'amea-organic precursors
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Kasa sua
O le faiga o lo'o fa'aalia ai alatoto e tele-auala mo le fesuia'i i le va o le tuputupu a'e ma le fa'amama.
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Potu Tali
Le fatu o le faiga lea e tupu ai le tuputupu a'e moni. O vaega e aofia ai:-
graphite susceptor (u'u mea'ai)
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Mea fa'avevela ma le vevela
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Uafu mata mo le mataituina i totonu
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O lima fa'apolotiki mo le otometi le la'uina ma le la'u 'ese'ese
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- Faiga Pulea Tuputupu
E aofia ai fa'atonuga fa'apolokalame ma se komepiuta talimalo. O nei mea e fa'amautinoa ai le mata'ituina ma le toe faia i le faagasologa o le teuina. -
Mata'ituina i totonu
Meafaigaluega e pei o pyrometers ma reflectometers fua:-
Ata mafiafia
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O le vevela o luga
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Pi'opi'o le palapala
O nei mea e mafai ai ona faʻaalia taimi moni ma fetuunaiga.
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- Faiga Togafitiga Usu
Togafitiga mea oona e fa'aaoga ai le fa'apalapala o le vevela po'o le fa'agata fa'ama'i e fa'amautinoa ai le saogalemu ma le tausisia o le si'osi'omaga.
Fa'asagaga Fa'aulu Tapuni-Va'ele'ele (CCS):
I totonu o fa'a'a'amea MOCVD tūsa'o, o le mamanu CCS e mafai ai ona tu'i tutusa kasa e ala i fa'asu'u fe'au i totonu o se fausaga ulu. Ole mea lea e fa'aitiitia ai fa'agaioiga vave ma fa'aleleia le fa'afefiloi tutusa.
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O lesusceptor graphite liliufesoasoani atili i le homogenize le vaega tuaoi o kasa, faʻaleleia le tutusa ata tifaga i luga o le wafer.
2. Sputtering Magnetron
Magnetron sputtering o se fa'aogaina o le ausa fa'aletino (PVD) fa'aoga lautele mo le teuina o ata manifinifi ma faʻaofuofu, aemaise lava i mea tau eletise, optics, ma ceramics.
Galuega Fa'avae:
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Mea Fa'atatau
O mea e fa'apogai ai e teu—metala, oxide, nitride, ma isi—e fa'amauina i luga o se cathode. -
Potu Vacuum
O le fa'agasologa e faia i lalo ole vacuum maualuga e 'alofia ai le fa'aleagaina. -
Tupulaga Plasma
O se kasa inert, e masani lava argon, ua fa'a'ona e fai ai le plasma. -
Fa'aaogāga Māneta
O se malae mageta e fa'agata ai eletise i tafatafa o le faʻamoemoe e faʻaleleia ai le faʻaogaina o le ionization. -
Fa'agasologa o le Sputtering
E osofa'ia e le ion le taula'iga, fa'ate'a'ese ai atomi e feoa'i i totonu o le potu ma teu i luga o le mea'ai.
Tulaga lelei o le Magnetron Sputtering:
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Fa'atosina Ata Atai vaega tetele.
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Avanoa e teu ai fa'aputuga lavelave, e aofia ai uʻamea ma keramika.
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Parameter Fa'agasologa Fa'alogomo le pulea saʻo o le mafiafia, tuʻufaʻatasia, ma microstructure.
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Lelei Ata Atafaʻatasi ma le faʻapipiʻi malosi ma le malosi faʻainisinia.
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Malaga Lautele Fegalegaleai, mai metala i oxides ma nitride.
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Fa'agaioiga Maualalo-Sua, talafeagai mo substrates maaleale vevela.
3. Fa'ate'aina ausa Vailaau Fa'aluma ole Plasma (PECVD)
O le PECVD o loʻo faʻaaogaina lautele mo le teuina o ata manifinifi e pei o le silicon nitride (SiNx), silicon dioxide (SiO₂), ma le silicon amorphous.
Fa'avae:
I se faiga PECVD, o kasa muamua e tu'uina atu i totonu o se potu vacuum lea ale susulu o le plasmae gaosia e fa'aaoga ai:
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RF fiafia
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DC maualuga voltage
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Microwave po'o fa'apogai puna
O le plasma e fa'aagaoioia le ga'o-vaega, fa'atupuina ituaiga fa'afoliga e teu i luga o le mea'ai e fai ai se ata manifinifi.
Laasaga o le Teuteuga:
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Fuaina o le Plasma
Fa'afiafiaina i fanua fa'aeletise, kasa muamua e fa'a'onono e fa'atupu ai fa'amalosi fa'amalosi ma ion. -
Tali ma Felauaiga
O nei meaola e o'o i fa'agaioiga lona lua a'o latou aga'i atu i le mea'ai. -
Fa'asagaga i luga
A oʻo atu i le mea'ai, latou te faʻafefe, tali, ma fai se ata tifaga. O nisi mea fa'aola e tu'u mai e pei o kasa.
Fa'amanuiaga ole PECVD:
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Tulaga leleii le tuufaatasiga o ata tifaga ma le mafiafia.
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Pili Malosie tusa lava pe maualalo le vevela o le teuina.
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Tulaga Maualuga Maualuga, e fa'atatau mo le gaosiga fa'apisinisi.
4. Fa'ata'ita'iga Fa'ailoga Ata Ata Manifinifi
O le malamalama i mea totino o ata manifinifi e taua tele mo le pulea lelei. O metotia masani e aofia ai:
(1) X-ray Diffraction (XRD)
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Faamoemoega: Iloilo fausaga tioata, lattice tumau, ma orientation.
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Mataupu Faavae: Fa'avae i luga o le Tulafono a Bragg, fuaina pe fa'afefea ona feeseesea'i ave o le X i se mea tioata.
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Talosaga: Fa'ata'otoga, su'esu'ega vaega, fua fa'atatau, ma su'esu'ega ata manifinifi.
(2) Va'aiga Electron Microscopy (SEM)
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Faamoemoega: Mata'ituina le fa'avasegaina o le tino ma le fausaga laiti.
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Mataupu Faavae: Fa'aaoga se ave fa'aeletonika e su'e ai le fa'ata'ita'iga i luga. O fa'ailo na maua (fa'ata'ita'iga, eletise lona lua ma fa'asalalau i tua) e fa'aalia ai fa'amatalaga o luga.
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Talosaga: Fa'asaienisi meafaitino, nanotech, biology, ma su'esu'ega toilalo.
(3) Atomic Force Microscopy (AFM)
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Faamoemoega: Ata i luga ole iuga o le atomic po o le nanometer.
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Mataupu Faavae: E su'esu'e e se su'esu'e ma'ai luga a'o fa'aauau pea le malosi o fegalegaleaiga; fa'asaga tu'usa'o e fa'atupuina ai se fa'afanua 3D.
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Talosaga: Su'esu'ega o le nanostructure, fuaina o le eleele, su'esu'ega biomolecular.
Taimi meli: Iuni-25-2025