Malamalamaaga Loloto i le Faiga SPC i le Gaosiga o Wafer

1. Aotelega o le Faiga SPC

O le SPC o se metotia e faʻaaogaina ai metotia faʻamaufaʻailoga e mataʻituina ma pulea ai faiga o gaosiga. O lona galuega autu o le iloa lea o mea e le masani ai i le faiga o gaosiga e ala i le aoina ma le iloiloina o faʻamaumauga i le taimi moni, fesoasoani ai i inisinia e faia ni fetuunaiga ma ni faaiuga i le taimi atofaina. O le sini a le SPC o le faʻaitiitia lea o le eseesega i le faiga o gaosiga, ma ia mautinoa o loʻo tumau pea le lelei o le oloa ma ausia tulaga faʻatonuina.

E faʻaaogaina le SPC i le faagasologa o le etching e:

Mata'ituina tulaga taua o masini (e pei o le fua o le etching, le malosiaga RF, le mamafa o le chamber, le vevela, ma isi mea faapena)

Iloilo fa'ailoga autū o le lelei o oloa (e.g., lautele o laina, loloto o le eliina, mageso o pito, ma isi mea faapena)

O le mataʻituina o nei faʻatulagaga, e mafai ai e inisinia ona iloa aga masani e faʻaalia ai le faʻaitiitia o le faʻatinoga o masini poʻo ni eseesega i le faagasologa o le gaosiga, ma faʻaitiitia ai le fua o otaota.

2. Vaega Autu o le Faiga SPC

O le polokalama SPC e aofia ai ni vaega autū se tele:

Vaega o le Aoina o Fa'amatalaga: Aoina mai fa'amatalaga i le taimi moni mai masini ma le tafega o faiga (e pei o le FDC, EES systems) ma fa'amaumau ai fa'amaumauga taua ma taunu'uga o le gaosiga.

Module o le Siata Pulea: Fa'aaoga siata fa'atonutonu fa'amaufa'ailogaina (e pei o le siata X-Bar, siata R, siata Cp/Cpk) e fa'aalia ai le mautu o le fa'agasologa ma fesoasoani e fuafua pe o pulea lelei le fa'agasologa.

Faiga Fa'ailo: E fa'agaoioia fa'ailo pe a sili atu tapula'a taua i tapula'a fa'atonutonu pe fa'aalia suiga o aga, ma fa'amalosia ai inisinia e faia se gaioiga.

Vaega o Su'esu'ega ma Lipoti: Iloiloina le pogai autū o mea sese e fa'avae i luga o siata SPC ma faia soo lipoti o le fa'atinoga mo le fa'agasologa ma masini.

3. Fa'amatalaga Auiliili o Siata Fa'atonutonu i le SPC

O siata fa'atonutonu o se tasi lea o meafaigaluega e masani ona fa'aaogaina i le SPC, e fesoasoani e iloa ai le eseesega i le va o le "fesuia'iga masani" (e mafua mai i fesuia'iga masani o le fa'agasologa) ma le "fesuia'iga e le masani ai" (e mafua mai i le fa'aletonu o masini po'o le fa'aletonu o le fa'agasologa). O siata fa'atonutonu masani e aofia ai:

Siata X-Bar ma le R: Fa'aaogaina e mata'ituina ai le averesi ma le lautele i totonu o vaega gaosiga e matau ai pe mautu le fa'agasologa.

Fa'asinoupu Cp ma Cpk: E fa'aaogaina e fua ai le gafatia o le fa'agasologa, o lona uiga, pe mafai e le fa'agasologa ona ausia pea mana'oga o fa'amatalaga. E fua e le Cp le gafatia e ono mafai, a'o mafaufau le Cpk i le se ese o le ogatotonu o le fa'agasologa mai tapula'a o fa'amatalaga.

Mo se faʻataʻitaʻiga, i le faagasologa o le etching, e mafai ona e mataʻituina faʻamaumauga e pei o le fua faatatau o le etching ma le roughness o le fogaeleele. Afai e sili atu le fua faatatau o le etching o se masini i le tapulaʻa faʻatonutonu, e mafai ona e faʻaaogaina siata faʻatonutonu e iloa ai pe o se suiga masani lea pe o se faʻailoga o le faʻaletonu o le masini.

4. Fa'aaogāina o le SPC i Meafaigaluega e fai ai vali

I le faagasologa o le etching, e taua tele le puleaina o parakalafa o masini, ma e fesoasoani le SPC e faaleleia atili le mautu o le faagasologa i auala nei:

Mata'ituina o Tulaga o Meafaigaluega: O polokalama e pei o le FDC e aoina fa'amaumauga i le taimi moni i luga o fa'amaumauga autu o masini eli (e pei o le malosiaga RF, tafega o le kesi) ma tu'ufa'atasia nei fa'amaumauga ma siata fa'atonutonu SPC e iloa ai fa'afitauli e ono tula'i mai i masini. Mo se fa'ata'ita'iga, afai e te va'aia o le malosiaga RF i luga o se siata fa'atonutonu o lo'o faasolosolo malie ona se'e ese mai le tau fa'atulagaina, e mafai ona e faia se gaioiga vave mo le fetu'una'iga po'o le tausiga e 'alo 'ese ai mai le a'afia ai o le lelei o le oloa.

Siakiina o le Tulaga Lelei o le Oloa: E mafai foi ona e fa'aofiina ni fa'ailoga taua o le tulaga lelei o oloa (e pei o le loloto o le etch, linewidth) i totonu o le SPC system e mata'ituina ai lo latou mautu. Afai e faasolosolo malie ona se'e ese nisi o fa'ailoga taua o oloa mai tulaga fa'amoemoeina, o le a tu'uina atu e le SPC se fa'ailo, e fa'ailoa mai ai e mana'omia ni fetu'una'iga o le fa'agasologa.

Tausiga Puipuia (PM): E mafai e le SPC ona fesoasoani e faʻaleleia atili le taʻamilosaga o le tausiga puipuia mo masini. I le iloiloina o faʻamaumauga umi i le faʻatinoga o masini ma taunuuga o le faagasologa, e mafai ona e fuafua le taimi sili ona lelei mo le tausiga o masini. Mo se faʻataʻitaʻiga, e ala i le mataʻituina o le malosi RF ma le umi o le ESC, e mafai ona e fuafua pe a manaʻomia le faʻamamaina pe sui vaega, faʻaitiitia ai le fua faatatau o le faʻaletonu o masini ma le taimi e le toe faʻaaogaina ai le gaosiga.

5. Fautuaga mo le Faʻaaogaina i Aso Taʻitasi mo le SPC System

A faʻaaogaina le polokalama SPC i galuega i aso faisoo, e mafai ona mulimulitaʻi laasaga nei:

Fa'amatala ia Fa'atulagaga o le Pulea o Mea Taua (KPI): Fa'ailoa mai fa'atulagaga e sili ona taua i le fa'agasologa o le gaosiga ma fa'aofi i le mata'ituina o le SPC. O nei fa'atulagaga e tatau ona feso'ota'i vavalalata ma le lelei o oloa ma le fa'atinoga o masini.

Seti Tapula'a Pulea ma Tapula'a Fa'ailoilo: E fa'atatau i fa'amaumauga fa'asolopito ma mana'oga o le fa'agasologa, seti tapula'a pulea talafeagai ma tapula'a fa'ailoilo mo fa'ailoga ta'itasi. O tapula'a pulea e masani ona seti i le ±3σ (tulaga fa'aletonu masani), ae o tapula'a fa'ailoilo e fa'atatau i tulaga fa'apitoa o le fa'agasologa ma masini.

Siakiina ma Iloiloga Fa'aauau: Iloilo soo siata fa'atonutonu a le SPC e iloilo ai aga masani ma suiga o fa'amaumauga. Afai e sili atu nisi o tapula'a i tapula'a fa'atonutonu, e mana'omia se gaioiga vave, e pei o le fetu'una'iina o tapula'a o masini po'o le faia o le tausiga o masini.

Taulimaina o Mea e Lē Masani ai ma le Su'esu'eina o le Mafua'aga Autu: A tupu se mea e lē masani ai, e fa'amaumauina e le faiga a le SPC fa'amatalaga auiliili e uiga i le fa'alavelave. E mana'omia ona e fo'ia ma iloilo le mafua'aga autu o le mea e lē masani ai e fa'atatau i nei fa'amatalaga. E masani ona mafai ona tu'ufa'atasia fa'amatalaga mai faiga FDC, faiga EES, ma isi mea, e iloilo ai pe mafua le fa'afitauli i le fa'aletonu o masini, le fa'aletonu o le faiga, po'o mea tau si'osi'omaga mai fafo.

Fa'aleleia Pea: Fa'aaoga fa'amaumauga fa'asolopito na fa'amaumauina e le faiga a le SPC, fa'ailoa mai ni vaivaiga i le faiga ma fautuaina ni fuafuaga fa'aleleia. Mo se fa'ata'ita'iga, i le faiga o le etching, iloilo le a'afiaga o le umi o le ESC ma auala fa'amama i ta'amilosaga tausiga o masini ma fa'aleleia pea tulaga fa'agaoioia o masini.

6. Fa'ata'ita'iga Fa'atino

O se faʻataʻitaʻiga faʻatino, faʻapea o oe o loʻo nafa ma le masini eliina o le E-MAX, ma o le cathode o le potu e oʻo i ai le faʻaleagaina vave, ma mafua ai ona faʻateleina le taua o le D0 (BARC defect). I le mataʻituina o le malosiaga RF ma le fua faatatau o le eliina e ala i le faiga SPC, e te matauina ai se aga masani e faasolosolo malie ona ese ai nei parakalafa mai o latou taua ua setiina. A maeʻa ona faʻagaoioia se faʻailo SPC, e te tuʻufaʻatasia faʻamatalaga mai le faiga FDC ma iloa ai o le faʻafitauli e mafua mai i le le mautu o le puleaina o le vevela i totonu o le potu. Ona e faʻatinoina lea o ni metotia fou o le faʻamamaina ma ni fuafuaga tausiga, ma iu ai ina faʻaitiitia le taua o le D0 mai le 4.3 i le 2.4, ma faʻaleleia atili ai le lelei o oloa.

7. I XINKEHUI e mafai ona e maua.

I XINKEHUI, e mafai ona e ausia le wafer atoatoa, pe o se wafer silicon pe o se wafer SiC. Matou te fa'apitoa i le tu'uina atu o wafer sili ona lelei mo alamanuia eseese, ma taula'i i le sa'o ma le fa'atinoga.