Malamalama loloto i le SPC System i Wafer Manufacturing

1. Va'aiga lautele ole SPC System

O le SPC o se metotia e fa'aogaina ai fuainumera fa'afuainumera e mata'ituina ai ma fa'atonutonu gaioiga o gaosiga. O lana galuega autu o le suʻeina o faʻalavelave i le gaosiga o le gaosiga e ala i le aoina ma le suʻeina o faʻamaumauga moni, fesoasoani i inisinia e faia fetuunaiga ma filifiliga talafeagai. O le sini a le SPC o le faʻaitiitia lea o fesuiaiga i le gaosiga o le gaosiga, faʻamautinoaina o loʻo tumau pea le lelei o oloa ma faʻafeiloaʻi faʻamatalaga.

O lo'o fa'aogaina le SPC i le fa'agasologa o le etching e:

Mataʻituina tulaga taua o meafaigaluega (faʻataʻitaʻiga, fua o le etch, malosiaga RF, mamafa o potu, vevela, ma isi)

Iloilo fa'ailoga autu o le lelei o oloa (fa'ata'ita'iga, laina laina, loloto etch, talatala pito, ma isi)

E ala i le mata'ituina o nei ta'iala, e mafai ai e inisinia ona iloa faiga e fa'ailoa mai ai le fa'aleagaina o le fa'atinoga o meafaigaluega po'o le fe'ese'esea'i i le fa'agasologa o le gaosiga, ma fa'aiti'itia ai le tau o tupe.

2. Vaega Autu ole SPC System

O le SPC system e aofia ai le tele o modules autu:

Fa'asologa o Fa'amaumauga: Aoina mai fa'amatalaga fa'a-taimi mai masini ma fa'agasolo fa'agasolo (fa'ata'ita'iga, e ala i le FDC, EES system) ma fa'amaumau ta'iala taua ma taunu'uga gaosiga.

Fuafuaga o le Siata Pulea: Fa'aaoga siata fa'afuainumera (fa'ata'ita'iga, X-Bar siata, R siata, Cp/Cpk siata) e va'aia ai le mautu o le faagasologa ma fesoasoani e fuafua pe o pulea le faagasologa.

Faiga Fa'alogo: Fa'aoso fa'ailo pe a sili atu tapula'a mata'utia i tapula'a fa'atonutonu pe fa'aalia suiga o aga, e fa'aosofia ai le au inisinia e fa'atino.

Su'esu'ega ma Lipoti Module: Su'esu'e le mafua'aga o fa'aletonu e fa'avae i luga o siata a le SPC ma fa'atupuina pea lipoti fa'atinoga mo le fa'agasologa ma masini.

3. Fa'amatalaga Auiliili o Siata Pulea ile SPC

Fa'atonu siata o se tasi lea o meafaigaluega e masani ona fa'aaogaina i le SPC, e fesoasoani e iloa le eseesega i le va o le "feso'ota'iga masani" (fa'apogai i suiga fa'ale-natura) ma le "suiga fa'aletonu" (fa'apogai ona o le fa'aletonu o masini po'o le fa'agasologa o suiga). O siata fa'atonutonu masani e aofia ai:

X-Bar ma R Siata: Fa'aaoga e mata'ituina ai le uiga ma le va i totonu o fa'aputuga o gaosiga e mata'ituina pe mautu le faagasologa.

Fa'ailoga Cp ma Cpk: Fa'aaogā e fua ai le agava'a fa'agaioiga, fa'atusa, pe mafai e le fa'agasologa o galuega fa'atino ona fa'amalie i taimi uma mana'oga fa'apitoa. O le Cp e fuaina le gafatia gafatia, a'o le Cpk e manatu i le fa'asesega o le nofoaga autu mai le fa'atonuga tapula'a.

Mo se fa'ata'ita'iga, i le fa'agasologa o le etching, e mafai ona e mata'itūina fa'amaufa'ailoga e pei o le fua o le etch ma le talatala o luga. Afai o le fua o le etch o se vaega o meafaigaluega e sili atu i le tapulaa faʻatonutonu, e mafai ona e faʻaogaina siata faʻatonutonu e iloa ai pe o se suiga faʻanatura poʻo se faʻaaliga o mea faigaluega le lelei.

4. Fa'aaogāina ole SPC ile Etching Equipment

I le faagasologa o le etching, e taua tele le puleaina o mea faigaluega, ma e fesoasoani le SPC e faʻaleleia le faʻamautuina o le faagasologa i auala nei:

Meafaigaluega Tulaga Mata'ituina: Faiga e pei o le FDC e aoina fa'amaumauga i taimi tonu i luga o fa'amaufa'ailoga autu o meafaigaluega etching (fa'ata'ita'iga, eletise RF, tafe kesi) ma tu'ufa'atasia nei fa'amaumauga ma siata fa'atonutonu a le SPC e su'e ai fa'afitauli o mea faigaluega. Mo se faʻataʻitaʻiga, afai e te vaʻaia o le mana RF i luga o se siata faʻatonutonu o loʻo faasolosolo malie ona alu ese mai le tau faʻatulagaina, e mafai ona e faia vave gaioiga mo le fetuunaiga poʻo le tausiga e aloese ai mai le aʻafiaga o le lelei o oloa.

Mata'itū Tulaga Aupito Lelei: E mafai fo'i ona e fa'aulu i totonu o le SPC fa'asologa o mea lelei (fa'ata'ita'iga, etch loloto, linewidth) i totonu ole SPC system e mata'ituina ai lo latou mautu. Afai o nisi faʻailoga taua o oloa e faasolosolo malie ona alu ese mai le tau faʻatatau, o le a tuʻuina atu e le SPC se faʻailo, e faʻaalia ai e manaʻomia ni fetuunaiga.

Puipuiga Puipuia (PM): E mafai e le SPC ona fesoasoani i le faʻamalieina o le taamilosaga o le tausiga o mea faigaluega. E ala i le suʻesuʻeina o faʻamaumauga umi i luga o le faʻatinoga o meafaigaluega ma taunuuga o le faagasologa, e mafai ona e fuafuaina le taimi sili ona lelei mo le tausiga o meafaigaluega. Mo se faʻataʻitaʻiga, e ala i le mataʻituina o le malosi o le RF ma le ESC olaola, e mafai ona e fuafua pe o afea e manaʻomia ai le faʻamamaina poʻo le sui vaega, faʻaitiitia le faʻaletonu o meafaigaluega ma le gaosiga o taimi.

5. Fautuaga Fa'aaoga i Aso Ta'itasi mo le SPC System

A faʻaaogaina le SPC faiga i galuega i aso taʻitasi, o laasaga nei e mafai ona mulimulitaʻia:

Fa'amatala Fa'atonu Fa'atonu (KPI): Fa'ailoa pito sili ona taua i le fa'agasologa o le gaosiga ma fa'aaofia i latou ile mata'ituina ole SPC. O nei fa'amaufa'ailoga e tatau ona feso'ota'i vavalalata ma le lelei o oloa ma le fa'atinoga o meafaigaluega.

Seti tapula'a Pule ma tapula'a: Fa'avae i fa'amaumauga fa'asolopito ma fa'agasologa o mana'oga, seti tapula'a fa'atonutonu talafeagai ma tapula'a fa'ailo mo ta'iala ta'itasi. O tapula'a fa'atonutonu e masani ona fa'atulaga ile ± 3σ (tulaga masani), a'o tapula'a fa'ailo e fa'avae i tulaga fa'apitoa o le faagasologa ma meafaigaluega.

Mata'ituina ma Su'esu'ega Fa'aauau: Toe iloilo i taimi uma siata fa'atonutonu a le SPC e fa'avasega ai fa'amaumauga ma suiga. Afai e sili atu nisi fa'amaufa'ailoga i tapula'a fa'atonutonu, e mana'omia vave fa'agaioiga, e pei o le fetu'una'iga o ta'iala o meafaigaluega po'o le fa'atinoina o le tausiga o masini.

Taulimaina Fa'aletonu ma Su'esu'ega Mafua'aga: A tupu se fa'alavelave, e fa'amauina e le SPC fa'amatalaga auiliili e uiga i le mea na tupu. E te manaʻomia le faʻafitauli ma auʻiliʻili le mafuaʻaga o le faʻalavelave faʻavae i luga o lenei faʻamatalaga. E masani ona mafai ona tuʻufaʻatasia faʻamaumauga mai faiga FDC, faiga EES, ma isi, e iloilo pe o le mataupu e mafua ona o le faaletonu o meafaigaluega, faʻagasologa o suiga, poʻo mea tau le siosiomaga i fafo.

Fa'aleleia Fa'aauau: Fa'aaogā fa'amaumauga fa'asolopito na fa'amaumauina e le SPC system, fa'ailoa vaega vaivai i le fa'agasologa ma fa'atulaga fuafuaga fa'aleleia. Mo se faʻataʻitaʻiga, i le faʻagasologa o le etching, auʻiliʻili le aʻafiaga o le ola o le ESC ma auala faʻamama i taʻamilosaga o le tausiga o meafaigaluega ma faʻaauau pea le faʻaogaina o mea faigaluega.

6. Tulaga Fa'atino Fa'atino

O se fa'ata'ita'iga fa'atino, fa'apea o oe e nafa ma mea faigaluega etching E-MAX, ma o le potu cathode o lo'o o'o i le vave ofuina, ma mafua ai le si'itia o le D0 (BARC defect) tau. E ala i le mataʻituina o le malosiaga RF ma le fua faʻatatau e ala i le SPC system, e te vaʻaia ai se tulaga e faʻasolosolo malie ai nei taʻiala mai o latou tulaga faʻatulagaina. A maeʻa le faʻailoga SPC, e te tuʻufaʻatasia faʻamaumauga mai le FDC ma faʻamautinoa o le mataupu e mafua mai i le le mautonu le pulea o le vevela i totonu o le potu. Ona e faʻatinoina lea o auala fou faʻamamaina ma taʻiala faʻaleleia, mulimuli ane faʻaitiitia le tau D0 mai le 4.3 i le 2.4, faʻaleleia atili ai le lelei o oloa.

7.In XINKEHUI e mafai ona e maua.

I le XINKEHUI, e mafai ona e ausia le fa'ama'i mama atoatoa, pe o se fa'ama'i silicon po'o se fa'ama'i SiC. Matou te faʻapitoa i le tuʻuina atu o wafers sili ona lelei mo pisinisi eseese, e taulaʻi i le saʻo ma le faʻatinoga.