O le a le tele o mea e te iloa e uiga i le SiC single crystal growth process?

Silicon carbide (SiC), o se ituaiga o mea lautele gap gap semiconductor mea, o loʻo faʻateleina le taua i le faʻaaogaina o le faasaienisi ma tekinolosi faʻaonaponei. Silicon carbide o loʻo i ai le faʻamautu lelei o le vevela, maualuga le faʻapalepale eletise eletise, faʻatonuga faʻapitoa ma isi mea faʻapitoa faʻapitoa ma mea faʻapitoa, ma e faʻaaogaina lautele i masini optoelectronic ma masini la. Ona o le faʻateleina o le manaʻoga mo masini faʻaeletonika sili atu ona lelei ma mautu, o le faʻaogaina o le tuputupu aʻe tekinolosi o le silicon carbide ua avea ma nofoaga vevela.

O le a le tele o lou iloa e uiga i le tuputupu aʻe o le SiC?

I aso nei o le a tatou talanoaina auala autu e tolu mo le tuputupu aʻe o tioata taʻitasi carbide silicon: felauaiga ausa faaletino (PVT), epitaxy vaega vai (LPE), ma le vevela vevela vevela vevela (HT-CVD).

Metotia Fa'aliliu Ausa Fa'aletino (PVT)
Ole auala e fa'afeiloa'i ai le ausa fa'aletino o se tasi lea o fa'agaioiga tuputupu a'e carbide silicon. O le tuputupu aʻe o le carbide silicon tioata tasi e faʻalagolago tele i le faʻaogaina o le paʻu sic ma le toe faʻaleleia i luga o fatu tioata i lalo o tulaga maualuga o le vevela. I totonu o se graphite tapuni tapuni, e vevela le paʻu o le carbide silicon i le maualuga o le vevela, e ala i le puleaina o le vevela gradient, o le ausa carbide silicon condenses i luga o le mata o le tioata fatu, ma faasolosolo malie ona tupu se tioata tasi lapoa tele.
O le tele o le monocrystalline SiC o loʻo matou tuʻuina atu nei e faia i lenei auala o le tuputupu aʻe. O le auala autu foi lea i le alamanuia.

Epitaxy vaega sua (LPE)
Silicon carbide tioata e saunia e le vaega vai epitaxy e ala i se faagasologa tuputupu aʻe tioata i le fesoʻotaʻiga malo-vai. I lenei metotia, o le paʻu o le silicon carbide e faʻafefeteina i totonu o le silicon-carbon solution i le maualuga o le vevela, ona faʻaitiitia ai lea o le vevela ina ia faʻafefe ai le carbide silicon mai le fofo ma tupu i luga o tioata fatu. O le aoga autu o le auala LPE o le mafai lea ona maua tioata maualuga i le maualalo o le vevela o le tuputupu ae, o le tau e maualalo, ma e talafeagai mo le gaosiga tele.

Maualuluga o le vevela o le ausa ausa (HT-CVD)
E ala i le faʻaofiina o le kesi o loʻo i ai le silikoni ma le carbon i totonu o le potu tali i le maualuga o le vevela, o le tioata tioata tasi o le silicon carbide o loʻo teuina saʻo i luga o le tioata fatu e ala i vailaʻau. O le lelei o lenei metotia e mafai ona faʻatonutonu saʻo le fua o le tafe ma le tali atu o tulaga o le kesi, ina ia maua ai se tioata carbide silicon ma le mama maualuga ma nai faaletonu. O le HT-CVD process e mafai ona maua ai tioata silicon carbide ma mea sili ona lelei, lea e sili ona taua mo talosaga e manaʻomia ai mea sili ona maualuga.

O le faagasologa o le tuputupu aʻe o le silicon carbide o le maatulimanu o lona faʻaogaina ma le atinaʻeina. E ala i le faʻaauauina o tekinolosi faʻafouina ma le faʻaleleia atili, o nei auala tuputupu aʻe e tolu o loʻo taʻalo a latou matafaioi e faʻafetaui ai manaʻoga o taimi eseese, faʻamautinoa le tulaga taua o le silicon carbide. Faatasi ai ma le faʻalolotoina o suʻesuʻega ma tekinolosi alualu i luma, o le faʻatupulaia o le faʻagasologa o mea carbide silicon o le a faʻaauau pea ona faʻaleleia, ma o le a faʻaleleia atili le faʻatinoina o masini eletise.
(fa'asalaina)


Taimi meli: Iuni-23-2024