Manatu Autu mo Sauniuniga Crystal Tasi Sili Silicon Carbide Maualuga Maualuga

O auala autu mo sauniuniga tioata tasi silicon e aofia ai: Felauaiga Ausa Faaletino (PVT), Fa'atupuina Fofo Fa'ato'aga (TSSG), ma le Su'esu'eina o Ausa Fa'agata Maualuga (HT-CVD). Faatasi ai ma nei mea, o le auala PVT e faʻaaogaina lautele i gaosiga o fale gaosi oloa ona o ana meafaigaluega faigofie, faigofie o le pulea, ma le maualalo o meafaigaluega ma tau faʻagaioiga.

Fa'amatalaga Fa'atekinisi Autu mo le Fa'atupulaia ole PVT ole Silicon Carbide Crystals

Pe a faʻatupuina tioata silicon carbide e faʻaaoga ai le Physical Vapor Transport (PVT), o mea faʻapitoa nei e tatau ona mafaufauina:

1. Mama o mea faʻapipiʻi i totonu o le Growth Chamber: O mea le mama i totonu o vaega graphite e tatau ona i lalo ole 5 × 10⁻⁶, ae o mea le mama i totonu o le insulation lagona e tatau ona i lalo ole 10 × 10⁻⁶. O elemene e pei ole B ma le Al e tatau ona teuina i lalo ole 0.1×10⁻⁶.
2. Fa'asa'o le Filifiliga o le Polarity Crystal Seed: O su'esu'ega fa'apitoa e fa'aalia ai o foliga C (0001) e talafeagai mo le fa'atupuina o tioata 4H-SiC, ae o le Si (0001) e fa'aaogaina mo le fa'atupuina o tioata 6H-SiC.
3. Fa'aaogāina o Va'aiga Fa'ato'aga Fa'ato'aga: O tioata fa'ato'aga fatu e mafai ona suia le fa'atusa o le tuputupu a'e tioata, fa'aitiitia ai fa'aletonu i le tioata.
4. Fa'agasologa o Fa'amauga Fa'aa'oa'o Fa'atosina fatu.
5. Fa'atumauina le Mausalī o le Va'aiga Fa'atupu Fa'atula'i tioata I le Ta'amilosaga o le Tuputupu ae.

Tekinolosi Autu mo Silicon Carbide Crystal Growth

1. Tekinolosi Doping mo Silicon Carbide Powder
   O le faʻapipiʻiina o le paʻu carbide silicon ma se aofaiga talafeagai o le Ce e mafai ona faʻamautuina le tuputupu aʻe o tioata taʻitasi 4H-SiC. O fa'ai'uga fa'ata'ita'iga e fa'aalia ai o le Ce doping e mafai ona:

• Faʻateleina le tuputupu aʻe o tioata silicon carbide.
• Pulea le faʻatonuga o le tuputupu aʻe tioata, ia sili atu le toniga ma masani.
• Taofi le faʻavaeina o mea le mama, faʻaitiitia faʻaletonu ma faʻafaigofie le gaosiga o tioata tasi-maalili ma maualuga maualuga.
• Taofi le pala i tua o le tioata ma faʻaleleia le gaosiga o le tioata tasi.

• Axial ma Radial Temperature Gradient Pulea Tekonolosi
  Ole fa'alili ole vevela ole axial e matua a'afia ai ituaiga fa'atupu tioata ma le lelei. Ole fa'alili ole vevela la'ititi e mafai ona ta'ita'iina ai le fa'atupuina o le polycrystalline ma fa'aitiitia ai le fua ole tuputupu a'e. O fa'aliliga lelei o le vevela o le axial ma le radial e faafaigofie ai le tuputupu ae vave o le tioata SiC a'o tumau pea le tulaga lelei o le tioata.
• Fa'atekonolosi Fa'atonuga o le Va'alele Basal (BPD).
  O faaletonu ole BPD e masani lava ona tulai mai pe a sili atu le mamafa o le sele i totonu o le tioata e sili atu i le mamafa o le sele o le SiC, fa'agaoioia faiga fa'ase'e. Talu ai o BPDs e faʻatatau i le faʻasologa o le tuputupu aʻe tioata, latou te faʻavaeina i le taimi o le tuputupu aʻe tioata ma le malulu.
• Vapor Phase Composition Ratio Fetuunaiga Tekonolosi
  O le faʻateleina o le carbon-to-silicon ratio i le siʻosiʻomaga o le tuputupu aʻe o se fua faʻatatau e faʻamautu ai le tuputupu aʻe o le tioata tasi. O le maualuga maualuga o le carbon-to-silicon ratio e fa'aitiitia ai le la'a la'a tele, fa'asao fa'amatalaga o le tuputupu a'e tioata o fatu, ma taofia ai le fa'atupuina o polytype.
• Fa'atekonolosi Fa'atonuga Fa'aletonu
  O le fa'alavelave i le tuputupu a'e tioata e mafai ona fa'aoso ai le punou o va'alele tioata, e o'o atu ai i le le lelei o le tioata po'o le ta'e. O le fa'apopoleina maualuga e fa'ateleina ai fo'i le malepelepe o le va'alele, lea e mafai ona a'afia ai le tulaga lelei o le epitaxial layer ma le fa'atinoga o masini.

6-inisi SiC wafer su'ega ata

Auala e Faʻaitiitia ai le Faʻalavelave i Crystals:

• Fetuuna'i le fa'asoaina o le fanua vevela ma fa'agasologa fa'agasologa ina ia mafai ai ona fa'alatalata le fa'atutusa o le fa'atupuina o tioata ta'itasi SiC.
• Fa'alelei le fa'atutuina o fa'aputuga ina ia fa'ataga fua le fa'atupu tioata fa'atasi ma ni fa'alavelave laiti.
• Suia auala fa'apipi'i tioata fatu e fa'aitiitia ai le fa'alauteleina o le vevela e le fetaui i le va o le tioata fatu ma le kalafi. O se faiga masani o le tu'u lea o se va 2 mm i le va o le tioata fatu ma le graphite o lo'o umia.
• Fa'alelei fa'agasologa o le fa'ama'i e ala i le fa'atinoina o le fa'a'avevela o le ogaumu, fetu'utu'una'i le vevela ma le umi e fa'amatu'u atoa ai le fa'alavelave i totonu.

Fua'iga i le lumana'i ile Silicon Carbide Crystal Growth Technology

A'o va'ava'ai atu i luma, o le a fa'atupuina le tulaga maualuga SiC fa'aonaponei tioata e tasi i fa'atonuga nei:

1. Tuputupua Tele
   O le ta'amilosaga o tioata ta'itasi carbide silicon na tupu mai i nai millimita i le 6-inisi, 8-inisi, ma e o'o lava i lapopo'a 12-inisi. O tioata SiC lapopoa tetele e faʻaleleia ai le gaosiga lelei, faʻaitiitia tau, ma faʻafetaui manaoga o masini maualuga.
2. Tulaga Maualuga Maualuga
   O tioata taʻitasi SiC maualuga maualuga e manaʻomia mo masini maualuga. E ui ina tele le alualu i luma ua faia, o faaletonu e pei o micropipes, ma'i, ma le mama o loʻo i ai pea, e aʻafia ai le faʻaogaina o masini ma le faʻamaoni.
3. Fa'aitiitiga o tau
   O le tau maualuga o sauniuniga tioata SiC e faʻatapulaʻaina lona faʻaogaina i nisi vaega. O le fa'asilisiliina o fa'agasologa o le tuputupu a'e, fa'aleleia le lelei o le gaosiga, ma le fa'aitiitia o tau o meafaitino e mafai ona fesoasoani e fa'aititia ai tupe fa'aalu.
4. Tuputupu A'e Atamai
   Faatasi ai ma le alualu i luma i AI ma faʻamatalaga tetele, SiC tioata tuputupu aʻe tekinolosi o le a faʻateleina le faʻaaogaina o fofo atamai. O le mata'ituina ma le fa'atonutonuina o le taimi moni e fa'aoga ai masini ma masini fa'autometi o le a fa'aleleia atili ai le mautu ma le fa'atonutonuina. E le gata i lea, e mafai e faʻamatalaga tetele o faʻamaumauga ona faʻamalieina tulaga tuputupu aʻe, faʻaleleia le lelei tioata ma le gaosiga lelei.

O le silicon carbide e tasi le tekonolosi sauniuniga sauniuni o se mea autu e taulaʻi i suʻesuʻega mea semiconductor. A o agaʻi i luma tekinolosi, o le a faʻaauau pea ona faʻaleleia auala o le tuputupu aʻe tioata SiC, e tuʻuina atu ai se faʻavae mautu mo faʻaoga i le maualuga o le vevela, maualuga, ma le maualuga o le malosi.