O faʻamatalaga ma faʻamaufaʻailoga o faʻamaʻi faʻamaʻi tioata tioata tasi

I le faagasologa o le atinae o le semiconductor alamanuia, polesina tioata tasimasi fa'asilikonifaia se matafaioi taua. Latou te avea ma mea taua mo le gaosiga o masini microelectronic eseese. Mai le lavelave ma le sa'o o feso'ota'iga tu'ufa'atasiga i microprocessors televave ma masini fa'aogaina tele, fa'aiila tioata tasimasi fa'asilikonie taua. O le ese'esega o latou fa'atinoga ma fa'amatalaga e a'afia tonu ai le lelei ma le fa'atinoga o oloa fa'ai'u. O lo'o i lalo fa'amatalaga masani ma fa'amaufa'ailoga o fa'ama'i tioata tioata tasi e fa'aiila:

 

Diameter: O le tele o semiconductor tasi tioata kalia wafers e fuaina i lo latou lautele, ma e sau i le tele o faʻamatalaga. O lautele lautele e aofia ai le 2 inisi (50.8mm), 3 inisi (76.2mm), 4 inisi (100mm), 5 inisi (125mm), 6 inisi (150mm), 8 inisi (200mm), 12 inisi (300mm), ma le 18 inisi (450mm). 'ese'ese diameters e fetaui mo manaoga eseese gaosiga ma manaoga faagasologa. Mo se fa'ata'ita'iga, e masani ona fa'aogaina u'amea la'ititi la'ititi mo masini fa'apitoa, la'ititi-volume microelectronic, a'o fa'ameamea fa'alava tetele e fa'aalia ai le maualuga o le gaosiga o le gaosiga ma le tau lelei i le gaosiga fa'atasi tetele. O mea e manaʻomia i luga o loʻo faʻavasegaina o le tasi-itu polesi (SSP) ma le lua itu polesi (DSP). E fa'aogaina mea fa'ailo fa'apolopolo itu e tasi mo masini e mana'omia ai le mafolafola maualuga i le tasi itu, e pei o nisi masini. E masani ona fa'aogaina mea fa'ailo fa'apolopolo lua itu mo ta'amilosaga tu'ufa'atasi ma isi oloa e mana'omia ai le sa'o maualuga i luga o la'asaga e lua. Manaoga Fa'asaga (Fa'auma): SSP fa'alilolilo itu e tasi / DSP fa'alila lua itu.

 

Ituaiga/Dopant: (1) N-ituaiga Semiconductor: Pe a tuʻuina atu ni faʻamaʻi le mama i totonu o le semiconductor faʻapitoa, latou te suia lona faʻaogaina. Mo se faʻataʻitaʻiga, pe a faʻaopoopo elemene pentavalent e pei o le nitrogen (N), phosphorus (P), arsenic (As), poʻo le antimony (Sb), o latou valence electrons e fausia ai soʻo faʻatasi ma le valence electrons o atoms silicon siʻosiʻomaga, ma tuʻu ai se eletise faaopoopo e le o fusia e se fusi faʻatasi. O le mea lea e maua ai le faʻaogaina o le eletise e sili atu nai lo le faʻaogaina o le pu, e fausia ai se N-type semiconductor, e taʻua foi o se eletise-ituaiga semiconductor. N-ituaiga semiconductors e taua tele i le gaosiga o masini e manaʻomia ai eletise e fai ma ave faʻatonuga, e pei o nisi masini eletise. (2) P-type Semiconductor: Pe a tuʻuina atu elemene eleelea e pei o le boron (B), gallium (Ga), poʻo le indium (In) i totonu o le semiconductor silicon, o le valence electrons o atoms le mama e fausia ai fusi faʻatasi ma atoms silicon siʻosiʻomaga, ae latou te le itiiti ifo ma le tasi le valence electron ma e le mafai ona fausia se sootaga covalent atoatoa. O lenei mea e taʻitaʻia ai se puʻupuʻu e sili atu nai lo le faʻaogaina o le eletise, e fausia ai se semiconductor P-ituaiga, e lauiloa foi o se semiconductor ituaiga pu. P-ituaiga semiconductors o loʻo i ai se sao taua i le gaosiga o masini e fai ai pu e fai ma ave faʻatonuga autu, e pei o diodes ma nisi transistors.

 

Resistivity: Resistivity o se aofaʻi faʻaletino autu e fuaina ai le eletise eletise o faʻamalama tioata tioata tasi. O lona tau e atagia mai ai le fa'atinoina o le meafaitino. O le maualalo o le resistivity, o le sili atu lea o le conductivity o le wafer silicon; i se isi itu, o le maualuga o le resistivity, o le mativa le conductivity. O le fa'asa'o o fa'ama'i fa'ama'i silicon e fa'atatau i a latou mea fa'aletino, ma e iai fo'i se a'afiaga o le vevela. E masani lava, o le resistivity o wafers silicon e faateleina i le vevela. I fa'atinoga fa'atino, o masini microelectronic eseese e iai mana'oga fa'atete'e eseese mo wafers silicon. Mo se faʻataʻitaʻiga, o mea faʻapipiʻi faʻaaogaina i le gaosiga faʻatasi e manaʻomia le pulea saʻo o le resistivity e faʻamautinoa ai le mautu ma le faʻatuatuaina o masini.

 

Faʻatonuga: O le faʻataʻitaʻiga tioata o le wafer o loʻo faʻatusalia ai le faʻataʻitaʻiga tioata o le lattice silicon, e masani ona faʻamaonia e Miller faʻailoga e pei o (100), (110), (111), ma isi. O faʻasologa tioata eseese e iai mea faʻapitoa faʻapitoa, e pei o le laina laina, e eseese e faʻavae i luga o le faʻasologa. O lenei eseesega e mafai ona aʻafia ai le faʻatinoga o le wafer i laasaga o gaioiga mulimuli ane ma le faʻatinoga mulimuli o masini microelectronic. I le gaosiga o le gaosiga, o le filifilia o se masini wafer ma le faʻatonuga talafeagai mo manaʻoga eseese o masini e mafai ona faʻamalieina le faʻatinoga o masini, faʻaleleia le gaosiga lelei, ma faʻaleleia le lelei o oloa.

 

 Fa'amatalaga fa'asinomaga tioata

Flat / Notch: O le pito mafolafola (Flat) poʻo le V-notch (Notch) i luga o le liʻo o le silicon wafer e taua tele i le faʻaogaina o le tioata ma o se faʻamatalaga taua i le gaosiga ma le gaosiga o le wafer. Wafers eseese diameters e fetaui ma tulaga eseese mo le umi o le Flat poʻo le Notch. O pito fa'aoga ua fa'avasegaina ile mafolafola muamua ma mafolafola lona lua. O le mafolafola muamua e masani ona faʻaaogaina e fuafua ai le faʻaogaina o le tioata ma le faʻaogaina o faʻamatalaga o le wafer, ae o le lua mafolafola e fesoasoani atili i le faʻaogaina saʻo ma le gaioiga, faʻamautinoa le saʻo ma le faʻaogaina o le wafer i le laina gaosiga.

 u'amea masi

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Mafiafia: O le mafiafia o le wafer e masani ona faʻamaonia i micrometers (μm), faʻatasi ai ma le mafiafia masani i le va o le 100μm ma le 1000μm. Wafers o mafiafia eseese e talafeagai mo ituaiga eseese o masini microelectronic. O faʻamaʻi manifinifi (faʻataʻitaʻiga, 100μm - 300μm) e masani ona faʻaaogaina mo le gaosiga o chip e manaʻomia ai le pulea lelei o le mafiafia, faʻaitiitia le tele ma le mamafa o le pu ma faʻateleina le tuʻufaʻatasia. O faʻamaʻi mafiafia (faʻataʻitaʻiga, 500μm - 1000μm) e faʻaaogaina lautele i masini e manaʻomia ai le malosi faʻainisinia maualuga, e pei o masini semiconductor eletise, e faʻamautinoa ai le mautu i le taimi o le gaioiga.

 

Fa'asao i luga ole la'au: O le gaogao mata o se tasi lea o mea taua mo le iloiloina o le lelei o le wafer, aua e afaina ai le pipii i le va o le wafer ma isi mea e teu ai ata manifinifi, faapea foi ma le eletise o le masini. E masani ona fa'aalia o le a'a o lona sikuea (RMS) talatala (i le nm). O le talatala pito i lalo o lona uiga e sili atu le lamolemole o le papa mafolafola, lea e fesoasoani e faʻaitiitia ai mea faʻapitoa e pei o le faʻasalalauina o le eletise ma faʻaleleia le faʻaogaina o masini ma le faʻamaoni. I le fa'agasologa o le gaosiga o le semiconductor, o lo'o fa'atupula'ia tulaga mana'omia o luga o le eleele, aemaise lava mo le gaosiga o feso'ota'iga tu'ufa'atasi maualuga, lea e tatau ona fa'atonutonuina le ga'a o luga i ni nai nanometers po'o lalo ifo.

 

Aofa'i Mafiafia Fesuia'iga (TTV): Aofa'i mafiafia fesuiaiga e faasino i le eseesega i le va o le mafiafia aupito maualuga ma le laʻititi laʻititi fuaina i le tele o vaega i luga o le laumei, e masani ona faʻaalia i le μm. O le maualuga o le TTV e mafai ona o'o atu ai i se'ese'esega i faiga e pei o le photolithography ma le etching, e a'afia ai le fa'atinoina o masini ma le fua mai. O le mea lea, o le puleaina o le TTV i le taimi o le gaosiga o wafer o se laasaga taua i le faʻamautinoaina o le lelei o oloa. Mo le gaosiga o masini microelectronic maualuga, e masani ona manaʻomia le TTV i totonu o ni nai micrometers.

 

Aufana: O le aufana e faasino i le eseesega i le va o le mafolafola ma le vaalele mafolafola lelei, e masani ona fua i le μm. Wafers e soona punou e mafai ona gau pe o'o i le fa'alavelave le tutusa i le faagasologa mulimuli ane, e afaina ai le lelei o le gaosiga ma le lelei o oloa. Aemaise lava i faiga e manaʻomia ai le maualuga maualuga, e pei o le photolithography, o le punou e tatau ona pulea i totonu o se vaega faʻapitoa e faʻamautinoa ai le saʻo ma le tutusa o le ata o ata.

 

Warp: Warp o loʻo faʻaalia ai le vaʻaiga i le va o le wafer surface ma le foliga lelei spherical, e fuaina foi i le μm. E tutusa ma le aufana, o le warp o se faailoga taua o le mafolafola mafolafola. O le tele o warp e le gata e afaina ai le saʻo o le tuʻuina o le wafer i le gaosiga o mea faigaluega ae e mafai foi ona mafua ai faʻafitauli i le faagasologa o le afifiina o chip, e pei o le le lelei o le soʻotaga i le va o le pu ma mea faʻapipiʻi, lea e afaina ai le faʻamaoni o le masini. I le gaosiga o le semiconductor maualuga, ua sili atu le faʻamalosia o manaʻoga e faʻafetaui ai manaʻoga o le gaosiga o le gaosiga ma le faʻapipiʻiina.

 

Fa'amatalaga Fa'apito: O le fa'ailoga pito o se mea fa'asusu e taua tele mo lona fa'agaioiga ma le tagofiaina. E masani ona faʻamaonia e le Edge Exclusion Zone (EEZ), lea e faʻamalamalamaina le mamao mai le pito o le wafer lea e leai se gaioiga e faʻatagaina. O le fa'atulagaina lelei o fa'amatalaga pito ma le fa'atonuga sa'o o le EEZ e fesoasoani e 'alofia ai fa'aletonu pito, fa'alavelave fa'alavelave, ma isi fa'afitauli a'o fa'agaioiina, fa'aleleia atili le tulaga lelei atoa ma le fua mai. I nisi fa'agasologa o gaosiga, e mana'omia le sa'o lelei o fa'amatalaga pito i lalo ole la'asaga ole micron.

 

Faitauga Fa'akomepi: Ole numera ma le lapopo'a o le tufatufaina atu o fasi mea'ai i luga o le fa'ato'aga e matua'i a'afia ai le fa'atinoga o masini microelectronic. Ole tele po'o le lapopo'a o mea'ai e ono i'u ai i le fa'aletonu o masini, e pei o le ta'avale pupuu po'o le lepa, fa'aitiitia ai fua o oloa. O le mea lea, e masani ona fuaina le numera o fasimea e ala i le faitauina o fasimea i le iunite, e pei o le numera o vaega e sili atu nai lo le 0.3μm. O le fa'atonutonuina mataalia o le aofa'i o mea'ai i le taimi o le gaosiga o wafer ose fua taua lea mo le fa'amautinoaina o le lelei o oloa. Fa'atekonolosi fa'amama fa'amama ma se si'osi'omaga mama e fa'aaogaina e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o vaega i luga ole la'au wafer.
Tablel Dimensional Uiga o2 inisi ma 3 inisi Polished tasi Crystal Silicon Wafers
Siata2 Uiga Uiga o le 100 mm ma le 125 mm Faila Tasi tioata Silicon Wafers
Siata3 Uiga Uiga o le 1 50 mm Faila Tasi Crystal Silicon Wafers ma lona lua
Siata 4 Uiga Uiga o le 100 mm ma le 125 mm Faila Faila Silisiko Sikosi Faila Tasi e leai se lua mafolafola.
'T'able5 Uiga Uiga o le 150 mm ma le 200 mm Fa'aliga Tasi tioata Silicon Wafers e aunoa ma se lua mafolafola.

 

 

Gaosi fa'atatau

Tasi Crystal Silicon Wafer Si Substrate Type N/P Filifiliga Silicon Carbide Wafer

 

 2 4 6 8 inisi silikoni wafer

 

FZ CZ Si wafer i fa'asoa 12inch Silicon wafer Prime po'o Su'ega
8 12 inisi silikoni wafer


Taimi meli: Apr-18-2025