I le faagasologa o le atinaʻeina vave o le alamanuia semiconductor, o le tioata e tasi ua faʻapalapalaapameme silicone taua tele le matafaioi. Latou te avea o ni mea autu mo le gaosiga o masini eletise eseese. Mai matagaluega tu'ufa'atasi lavelave ma sa'o i masini fa'agasolo saoasaoa maualuga ma masini fa'alogo e tele galuega, o tioata e tasi ua fa'apupulaapameme silicone taua tele. O eseesega i la latou faatinoga ma faʻamatalaga auiliili e aʻafia ai le lelei ma le faatinoga o oloa mulimuli. O loʻo i lalo faʻamatalaga masani ma faʻatulagaga o wafer silicon tioata e tasi ua faʻapala:

Lapo'a: O le telē o le semiconductor single crystal silicon wafers e fuaina i lo latou lapo'a, ma e tele lava fa'amatalaga e maua mai ai. O lapo'a masani e aofia ai le 2 inisi (50.8mm), 3 inisi (76.2mm), 4 inisi (100mm), 5 inisi (125mm), 6 inisi (150mm), 8 inisi (200mm), 12 inisi (300mm), ma le 18 inisi (450mm). E eseese lapo'a e fetaui mo mana'oga eseese o gaosiga ma mana'oga o le faagasologa. Mo se fa'ata'ita'iga, o wafers laiti lapo'a e masani ona fa'aaogaina mo masini fa'apitoa ma laiti le lapo'a, a'o wafers tetele lapo'a e fa'aalia ai le maualuga o le lelei o le gaosiga ma le taugofie i le gaosiga o matagaluega tu'ufa'atasi tetele. O mana'oga o luga e fa'avasegaina o le tasi-itu ua fa'apupula (SSP) ma le lua-itu ua fa'apupula (DSP). O wafers e tasi-itu ua fa'aaogaina mo masini e mana'omia ai le maualuga o le lamolemole i le tasi itu, e pei o nisi masini fa'alogo. O wafers e lua-itu ua fa'apupula e masani ona fa'aaogaina mo matagaluega tu'ufa'atasi ma isi oloa e mana'omia ai le sa'o maualuga i luga uma e lua. Mana'oga o le Luga (Fa'auma): SSP fa'apupula itu e tasi / DSP fa'apupula itu e lua.

Ituaiga/Dopant: (1) Semiconductor ituaiga-N: A fa'aofiina ni atomu leaga i totonu o le semiconductor intrinsic, e suia ai lona conductivity. Mo se fa'ata'ita'iga, a fa'aopoopoina ni elemene pentavalent e pei o le nitrogen (N), phosphorus (P), arsenic (As), po'o le antimony (Sb), o latou electrons valence e fausia ai ni covalent bonds ma electrons valence o atoms silicon o lo'o siomia ai, ma tu'ua ai se electron fa'aopoopo e le noatia i se covalent bonds. O lenei mea e mafua ai se electron concentration e sili atu nai lo le hole concentration, ma fausia ai se semiconductor ituaiga-N, e ta'ua fo'i o se semiconductor ituaiga-elektroni. E taua tele semiconductors ituaiga-N i le gaosiga o masini e mana'omia ai electrons o ni aveta'avale autu, e pei o nisi masini eletise. (2) Semiconductor ituaiga-P: A fa'aofiina ni trivalent impurity elements e pei o le boron (B), gallium (Ga), po'o le indium (In) i totonu o le semiconductor silicon, o electrons valence o atomu leaga e fausia ai ni covalent bonds ma atoms silicon o lo'o siomia ai, ae e leai se tasi le valence electron ma e le mafai ona fausia se covalent bonds atoatoa. O lenei mea e mafua ai ona sili atu le maualuga o le pu nai lo le maualuga o le eletise, ma fausia ai se semiconductor ituaiga-P, e taʻua foʻi o se semiconductor ituaiga-pu. E taua tele le matafaioi a semiconductor ituaiga-P i le gaosiga o masini lea e avea ai pu ma avefeʻau autu o le totogi, e pei o diodes ma nisi transistors.

Tete'e: O le tete'e o se aofa'iga fa'aletino autū e fua ai le fa'atinoina o le eletise o le silicon wafers e tasi le tioata ua fa'apala. O lona taua e atagia ai le fa'atinoga o le fa'atinoina o le eletise. O le maualalo o le tete'e, o le lelei fo'i lea o le fa'atinoina o le silicon wafer; i se isi itu, o le maualuga o le tete'e, o le leaga fo'i lea o le fa'atinoina o le eletise. O le tete'e o le silicon wafers e fuafua e o latou meatotino totino, ma e iai fo'i se aafiaga tele o le vevela. I se tulaga lautele, o le tete'e o le silicon wafers e fa'ateleina i le vevela. I fa'aoga fa'atino, o masini microelectronic eseese e iai mana'oga eseese o le tete'e mo le silicon wafers. Mo se fa'ata'ita'iga, o wafers e fa'aaogaina i le gaosiga o le integrated circuit e mana'omia le pulea sa'o o le tete'e ina ia mautinoa le mautu ma le fa'atuatuaina o le fa'atinoga o le masini.

Fa'asinomaga: O le fa'asinomaga o le tioata o le wafer e fa'atusalia ai le fa'asinomaga o le tioata o le silicon lattice, e masani ona fa'amaoti mai e Miller indices e pei o le (100), (110), (111), ma isi. O fa'asinomaga eseese o tioata e iai uiga fa'aletino eseese, e pei o le mafiafia o laina, lea e fesuisuia'i e fa'atatau i le fa'asinomaga. O lenei eseesega e mafai ona a'afia ai le fa'atinoga o le wafer i la'asaga fa'agasologa mulimuli ma le fa'atinoga mulimuli o masini microelectronic. I le faiga o le gaosiga, o le filifilia o se silicon wafer ma le fa'asinomaga talafeagai mo mana'oga eseese o masini e mafai ona fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o le masini, fa'aleleia atili le lelei o le gaosiga, ma fa'aleleia atili ai le lelei o oloa.

Mafolafola/Notch: O le pito mafolafola (Flat) po'o le V-notch (Notch) i luga o le li'o o le silicon wafer e taua tele i le fa'atulagaina o le tioata ma o se fa'ailoga taua i le gaosiga ma le fa'agasologa o le wafer. O wafers o lautele eseese e fetaui ma tulaga fa'atonuina eseese mo le umi o le Flat po'o le Notch. O pito fa'atulagaina e vaevaeina i le mafolafola muamua ma le mafolafola lona lua. O le mafolafola muamua e fa'aaogaina tele e fuafua ai le fa'atulagaina autu o le tioata ma le fa'asinomaga o le fa'agasologa o le wafer, ae o le mafolafola lona lua e fesoasoani atili i le fa'atulagaina ma le fa'agasologa sa'o, ma fa'amautinoa ai le sa'o o le fa'agaioiga ma le tutusa o le wafer i le laina gaosiga atoa.

Mafiafia: O le mafiafia o se wafer e masani ona fa'amaoti mai i micrometers (μm), ma o le mafiafia masani e i le va o le 100μm ma le 1000μm. O wafers o mafiafia eseese e talafeagai mo ituaiga eseese o masini microelectronic. O wafers manifinifi (e pei o le 100μm – 300μm) e masani ona fa'aaogaina mo le gaosiga o chips e mana'omia ai le pulea lelei o le mafiafia, fa'aitiitia le tele ma le mamafa o le chip ma fa'ateleina le mafiafia o le tu'ufa'atasia. O wafers mafiafia (e pei o le 500μm – 1000μm) e fa'aaogaina lautele i masini e mana'omia ai le malosi fa'amekanika maualuga, e pei o masini semiconductor eletise, e fa'amautinoa ai le mautu i le taimi o le fa'agaioiga.

Ma'a'a o le Luga: O le ma'a'a o le luga o se tasi o fa'ailoga autū mo le iloiloina o le lelei o le wafer, auā e a'afia sa'o ai le pipi'i i le va o le wafer ma mea manifinifi ua fa'aputuina, fa'apea fo'i ma le fa'atinoga eletise o le masini. E masani ona fa'aalia o le ma'a'a o le root mean square (RMS) (i le nm). O le ma'a'a maualalo o le luga o lona uiga e sili atu le lamolemole o le luga o le wafer, lea e fesoasoani e fa'aitiitia ai mea e pei o le fa'asalalauina o eletise ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga ma le fa'atuatuaina o le masini. I faiga fa'atekonolosi fa'atekonolosi fa'atekonolosi, o lo'o fa'ateleina le faigata o mana'oga mo le ma'a'a o le luga, aemaise lava mo le gaosiga o matagaluega tu'ufa'atasi maualuga, lea e tatau ai ona pulea le ma'a'a o le luga i ni nai nanometa pe maualalo ifo fo'i.

Fesuiaiga o le Mafiafi Atoa (TTV): O le fesuia'iga o le mafiafia atoa e fa'atatau i le eseesega i le va o le mafiafia maualuga ma le mafiafia maualalo e fuaina i le tele o vaega i luga o le fogā'ele'ele o le wafer, e masani ona fa'aalia i le μm. O le TTV maualuga e ono o'o atu ai i ni fa'aletonu i faiga e pei o le photolithography ma le etching, e a'afia ai le tutusa o le fa'atinoga ma le fua o le masini. O le mea lea, o le puleaina o le TTV i le taimi o le gaosiga o le wafer o se la'asaga taua i le fa'amautinoaina o le lelei o le oloa. Mo le gaosiga o masini microelectronic e maualuga le sa'o, e masani ona mana'omia le TTV i totonu o ni nai micrometers.

Aufana: O le aufana e faasino i le eseesega i le va o le fogāeleele o le apa ma le vaalele mafolafola lelei atoatoa, e masani ona fuaina i le μm. O apa e tele naua le punou e ono malepe pe aafia i le mamafa e le tutusa i le taimi o le faagasologa mulimuli ane, ma aafia ai le lelei o le gaosiga ma le lelei o oloa. Aemaise lava i faagasologa e manaomia ai le maualuga o le mafolafola, e pei o le photolithography, e tatau ona pulea le punou i totonu o se vaega faapitoa e faamautinoa ai le sa'o ma le tutusa o le mamanu photolithographic.

Warp: O le warp e faʻaalia ai le eseesega i le va o le fogāeleele o le wafer ma le foliga lapotopoto lelei, e fuaina foʻi i le μm. E tutusa ma le bow, o le warp o se faʻailoga taua o le lamolemole o le wafer. O le tele o le warp e le gata ina aʻafia ai le saʻo o le tuʻuina o le wafer i masini faʻagasolo ae mafai foʻi ona mafua ai ni faʻafitauli i le taimi o le faʻagasologa o le afifiina o le chip, e pei o le le lelei o le pipii i le va o le chip ma le mea e afifi ai, lea e aʻafia ai le faʻatuatuaina o le masini. I le gaosiga o semiconductor maualuga, o manaʻoga o le warp ua faʻateleina le faigata e faʻafetaui ai manaʻoga o gaosiga ma faʻagasologa faʻapitoa o chip.

Fa'atulagaga o le Pito: O le fa'atulagaga o le pito o se wafer e taua tele mo ana fa'agasologa ma le taulimaina mulimuli ane. E masani ona fa'amaoti mai e le Edge Exclusion Zone (EEZ), lea e fa'amatalaina ai le mamao mai le pito o le wafer lea e le fa'atagaina ai se fa'agasologa. O se fa'atulagaga o le pito ua mamanuina lelei ma le pulea sa'o o le EEZ e fesoasoani e 'alofia ai fa'aletonu o le pito, le tele o le atuatuvale, ma isi fa'afitauli i le taimi o le fa'agasologa, fa'aleleia atili ai le tulaga lelei atoa ma le fua o le wafer. I nisi o faiga gaosiga fa'apitoa, e mana'omia le sa'o o le fa'atulagaga o le pito i lalo ifo o le micron.

Faitauga o Mea Fa'aputu: O le aofa'i ma le tele o le tufatufaina o mea fa'aputu i luga o le fogāeletise e matua a'afia ai le fa'atinoga o masini eletise laiti. O mea fa'aputu e tele naua pe tetele e ono i'u ai i le fa'aletonu o masini, e pei o le pupu'u o le eletise po'o le tafe, ma fa'aitiitia ai le tele o oloa. O le mea lea, o le aofa'i o mea fa'aputu e masani ona fuaina e ala i le faitauina o mea fa'aputu i le vaega ta'itasi, e pei o le aofa'i o mea fa'aputu e sili atu i le 0.3μm. O le pulea lelei o le aofa'i o mea fa'aputu i le taimi o le gaosiga o mea fa'aputu o se fua taua mo le fa'amautinoaina o le lelei o oloa. O tekinolosi fa'amama fa'aonaponei ma se siosiomaga gaosi mama e fa'aaogaina e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o mea fa'aputu i luga o le fogāeletise.

Gaosiga e feso'ota'i

Wafer Silikoni Kilisitala Tasi Si Substrate Ituaiga N/P Wafer Silikoni Karbida Filifilia

FZ CZ Si wafer o lo'o iai i le faleoloa 12inisi Silicon wafer Prime po'o le Test