O le ā le Uiga o le TTV, BOW, WARP, ma le TIR i Wafers?

A tatou su'esu'eina ni semiconductor silicon wafers po'o ni substrates e faia i isi meafaitino, e masani ona tatou fetaia'i ma ni fa'ailoga fa'apitoa e pei o le: TTV, BOW, WARP, ma atonu o le TIR, STIR, LTV, fa'atasi ai ma isi. O a ni fa'ailoga o lo'o fa'atusalia e nei mea?

TTV — Suiga o le Mafiafia Atoa
AUFANA — Aufana
VAEVAE — Vae
TIR — Faitauga Aofa'i ua Fa'ailoa Mai
STIR — Faitauga Fa'ailoa Aofa'i o le Nofoaga
LTV — Suiga o le Mafiafia i le Lotoifale

1. Suiga o le Mafiafia Atoa — TTV

O le eseesega i le va o le mafiafia maualuga ma le mafiafia maualalo o le wafer e faʻatatau i le vaʻaiga faʻasino pe a faʻamau le wafer ma fesoʻotaʻi vavalalata. E masani ona faʻaalia i micrometers (μm), e masani ona faʻaalia e pei o: ≤15 μm.

2. Aufana — AUFANA

O le eseesega i le va o le mamao aupito maualalo ma le mamao aupito maualuga mai le ogatotonu o le fogāeleele o le wafer i le vaalele fa'asino pe a iai le wafer i se tulaga saoloto (e le'i fa'amauina). E aofia ai tulaga o le concave (aufana leaga) ma le convex (aufana lelei). E masani ona fa'aalia i micrometers (μm), e masani ona fa'atusalia e pei o: ≤40 μm.

3. Fa'alava — Fa'alava

O le eseesega i le va o le mamao maualalo ma le mamao maualuga mai le fogāeleele o le wafer i le vaalele fa'asino (e masani lava o le fogāeleele i tua o le wafer) pe a iai le wafer i se tulaga saoloto (e le'i fa'amauina). E aofia ai tulaga fa'api'opi'o (negative warp) ma le fa'api'opi'o (positive warp). E masani ona fa'aalia i micrometers (μm), e masani ona fa'atusalia e pei o: ≤30 μm.

4. Faitauga Aofa'i ua Fa'ailoaina — TIR

A fa'amau le wafer ma felata'i lelei, e fa'aaoga ai se va'alele fa'asino e fa'aitiitia ai le aofa'i o vaeluaga o vaega uma i totonu o le eria lelei po'o se itulagi fa'apitonu'u fa'apitoa i luga o le fogā'ele'ele o le wafer, o le TIR o le eseesega i le va o le mamao maualuga ma le mamao maualalo mai le fogā'ele'ele o le wafer i lenei va'alele fa'asino.

Ua fa'avaeina i luga o le tomai loloto i fa'amatalaga o meafaitino semiconductor e pei o le TTV, BOW, WARP, ma le TIR, o le XKH e tu'uina atu auaunaga fa'apitoa mo le fa'agasologaina o wafer e fetaui ma tulaga fa'atonuina o pisinisi. Matou te tu'uina atu ma lagolagoina le tele o meafaitino maualuluga e aofia ai le safaira, silicon carbide (SiC), silicon wafers, SOI, ma le quartz, e fa'amautinoa ai le lamolemole lelei, tutusa le mafiafia, ma le lelei o le luga mo fa'aoga fa'apitoa i optoelectronics, masini eletise, ma MEMS. Fa'atuatuaina i matou e tu'uina atu fofo fa'atuatuaina o meafaitino ma le fa'amasini sa'o e fetaui ma ou mana'oga sili ona faigata o le mamanu.