O le faʻatupuina o se vaega faʻaopoopo o atomu silicon i luga o se substrate silicon wafer e tele ona lelei:
I faiga fa'agasologa o le CMOS silicon, o le epitaxial growth (EPI) i luga o le wafer substrate o se la'asaga taua tele lea o le faiga.
1, Fa'aleleia atili le tulaga lelei o le tioata
O mea sese ma mea leaga muamua o le substrate: I le taimi o le gaosiga, e ono iai ni mea sese ma ni mea leaga i le wafer substrate. O le tuputupu aʻe o le vaega epitaxial e mafai ona maua ai se vaega silicon monocrystalline maualuga le lelei ma ni mea sese ma ni mea leaga maualalo i luga o le substrate, lea e taua tele mo le gaosiga o masini mulimuli ane.
Fausaga tutusa o le tioata: O le tuputupu aʻe o le epitaxial e faʻamautinoa ai se fausaga tutusa o le tioata, e faʻaitiitia ai le aʻafiaga o tuaoi o fatu ma faʻaletonu i le mea o loʻo i totonu, ma faʻaleleia atili ai le tulaga lelei atoa o le tioata o le wafer.
2, faʻaleleia le faʻatinoga o le eletise.
Fa'aleleia atili o uiga o le masini: I le fa'atupula'ia o se vaega epitaxial i luga o le substrate, e mafai ona pulea lelei le fa'aputuga o le doping ma le ituaiga o le silicon, ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga eletise o le masini. Mo se fa'ata'ita'iga, e mafai ona fetu'una'i lelei le doping o le vaega epitaxial e pulea ai le voltage threshold o MOSFET ma isi fa'asologa eletise.
Fa'aitiitia o le tafe o le eletise: O se vaega epitaxial e maualuga le lelei e maualalo lona mafiafia o mea sese, lea e fesoasoani e fa'aitiitia ai le tafe o le eletise i masini, ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga ma le fa'atuatuaina o le masini.
3, faʻaleleia le faʻatinoga o le eletise.
Fa'aitiitia o le Tele o Vaega: I vaega laiti o le fa'agasologa (e pei o le 7nm, 5nm), o le tele o vaega o masini e fa'aauau pea ona fa'aitiitia, ma mana'omia ai mea e sili atu ona fa'aleleia ma maualuga le tulaga lelei. E mafai e le tekinolosi tuputupu a'e epitaxial ona fa'afetaui nei mana'oga, ma lagolagoina ai le gaosiga o matagaluega tu'ufa'atasi maualuga le fa'atinoga ma maualuga le mafiafia.
Fa'aleleia o le Breakdown Voltage: E mafai ona mamanuina vaega epitaxial i ni breakdown voltage maualuluga, lea e taua tele mo le gaosia o masini eletise ma maualuga. Mo se fa'ata'ita'iga, i masini eletise, e mafai e vaega epitaxial ona fa'aleleia atili le breakdown voltage o le masini, ma fa'ateleina ai le saogalemu o le fa'agaoioiga.
4、Felagolagomaʻi o Faʻagasologa ma Fausaga e Tele Vaega
Fausaga e Tele Vaega: O le tekinolosi tuputupu aʻe epitaxial e mafai ai ona tuputupu aʻe fausaga e tele vaega i luga o substrates, faatasi ai ma vaega eseese e eseese le maualuga ma ituaiga o doping. E matua aoga tele lenei mea mo le gaosia o masini CMOS faigata ma mafai ai ona tuufaatasia i le tolu-vaega.
Fegalegaleaiga: O le faagasologa o le tuputupu aʻe epitaxial e matuā fetaui lelei ma faagasologa gaosiga a le CMOS o loʻo iai nei, ma faigofie ai ona tuʻufaʻatasia i totonu o auala gaosiga o loʻo iai nei e aunoa ma le manaʻomia o ni suiga tetele i laina o faagasologa.
Aotelega: O le faʻaaogaina o le tuputupu aʻe epitaxial i faiga faʻagasologa silicon CMOS e faʻamoemoe muamua lava e faʻaleleia atili ai le tulaga lelei o le wafer crystal, faʻaleleia atili le faʻatinoga eletise o masini, lagolagoina nodes faʻagasologa faʻapitoa, ma faʻafetaui manaʻoga o le gaosiga o le high-performance ma le high-density integrated circuit. O le tekinolosi tuputupu aʻe epitaxial e mafai ai ona pulea saʻo le faʻapipiʻiina o meafaitino ma le fausaga, faʻaleleia atili ai le faʻatinoga atoa ma le faʻatuatuaina o masini.
Taimi na lafoina ai: Oke-16-2024