12 Inisi Safaira Wafer mo le Gaosiga o Semiconductor Maualuga

12 Inisi Sapphire Wafer mo le Gaosiga o Semiconductor Maualuga Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O le sapphire wafer e 12 inisi ua mamanuina e faʻafetaui ai le manaʻoga faʻatupulaʻia mo le gaosiga o semiconductor ma optoelectronic e tele vaega, maualuga le throughput. A o faʻaauau pea ona faʻalauteleina fausaga o masini ma agai atu laina gaosiga i ni faʻatulagaga wafer tetele, o mea fai sapphire e matua tele lava le lautele e ofoina atu ni faʻamanuiaga manino i le gaosiga, faʻaleleia atili o le fua, ma le puleaina o tau.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Fa'atomuaga o le safaira wafer e 12 inisi

O a matou wafer safaira e 12 inisi le lapo'a, lea e gaosia mai le Al₂O₃ e tasi le tioata e mama atoatoa, e tu'ufa'atasia ai le malosi fa'amekanika sili ona lelei, mautu i le vevela, ma le lelei o le fogāeleele. E ala i le fa'aleleia atili o le tuputupu a'e o le tioata ma le sa'o o le fa'agasologa o le wafer, e tu'uina atu ai e nei mea le fa'atinoga fa'atuatuaina mo LED fa'apitoa, GaN, ma fa'aoga fa'apitoa o semiconductor.

Uiga o Meafaitino

Ua lauiloa le safaira (single-crystal aluminum oxide, Al₂O₃) i ona uiga fa'aletino ma fa'akemikolo mata'ina. O le safaira wafers e 12 inisi e mautofi i fa'amanuiaga uma o le safaira a'o maua ai se lautele tele o le laualuga e mafai ona fa'aaogaina.

O uiga autū o meafaitino e aofia ai:

Ma'a'a tele ma tete'e atu i le ofuina
Tulaga mautu lelei i le vevela ma le maualuga o le tulaga e liusuavai ai
Tete'e sili atu i vaila'au fa'akemikolo i 'asi ma alkalis
Maualuga le manino opitika mai le UV i le IR wavelengths
Uiga lelei o le puipuiga o le eletise

O nei uiga e talafeagai ai wafers safaira e 12 inisi mo siosiomaga fa'agasologa faigata ma faiga gaosiga o semiconductor e maualuga le vevela.

Faiga o le Gaosiga

O le gaosiga o ni maa safaira e 12 inisi le lautele e manaʻomia ai le tuputupu aʻe o le tioata ma tekinolosi faʻagasologa saʻo atoatoa. O le faiga masani o le gaosiga e aofia ai:

Tuputupu Aʻe o le Crystal Tasi
O tioata safaira mama maualuga e totoina e faʻaaoga ai metotia faʻaonaponei e pei o le KY poʻo isi tekinolosi tuputupu aʻe tioata tetele, e faʻamautinoa ai le tutusa o le faʻatulagaina o tioata ma le maualalo o le atuatuvale i totonu.
Fa'atulagaina ma le Tipiina o le Kilisitala
O le fasi safaira ua fa'atulaga ma le sa'o ma tipi i ni fasi falaoa e 12 inisi le lautele e fa'aaoga ai masini tipi sa'o e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le eleele.
Lapo'a ma le Fa'apala
E fa'aaogaina faiga fa'apalapala e tele la'asaga ma le fa'amama fa'akemikolo (CMP) e ausia ai le ma'a'a lelei o le laualuga, lamolemole, ma tutusa lelei le mafiafia.
Fa'amamaina ma le Su'esu'ega
O apa safaira taitasi e 12 inisi le lapo'a e faia i ai le fa'amamāga mae'ae'a ma le siakiina ma le fa'aeteete, e aofia ai le lelei o le laualuga, TTV, 'aufana, fa'api'o, ma le auiliiliga o mea sese.

Talosaga

O papa safaira e 12 inisi e faʻaaogaina lautele i tekinolosi faʻaonaponei ma fou, e aofia ai:

O mea e fa'apipi'i ai le LED e malosi ma susulu tele
Masini eletise fa'avae-GaN ma masini RF
Mea e feavea'i ai masini semiconductor ma mea e fa'avevela ai le ea
Fa'amalama opitika ma vaega opitika e tele sona vaega
Afifiina fa'atekonolosi fa'atekonolosi maualuluga ma avefe'au fa'apitoa

O le lautele tele e mafai ai ona faʻateleina le gaosiga ma faʻaleleia atili ai le tau lelei o le gaosiga tele.

Fa'amanuiaga o le 12 Inisi Sapphire Wafers

Eria tele e mafai ona fa'aaogaina mo le maualuga o le gaosiga o masini i le wafer ta'itasi
Fa'aleleia atili le tutusa ma le tutusa o le fa'agasologa
Fa'aitiitia le tau o masini ta'itasi i le gaosiga tele
Malosiaga fa'amekanika sili ona lelei mo le taulimaina o le tele o mea
Fa'amatalaga fa'apitoa mo fa'aoga eseese

Filifiliga Fa'apitoa

Matou te ofoina atu ni fetuutuuna'iga fetuutuunai mo ni safaira wafers e 12 inisi, e aofia ai:

Fa'atulagaga o le tioata (C-plane, A-plane, R-plane, ma isi)
Onosa'i i le mafiafia ma le lautele
Fa'apala'au i le itu e tasi pe itu e lua
Fa'asologa o le pito ma le mamanu o le chamfer
Mana'oga mo le ma'ale'ale ma le lamolemole o le fogā'ele'ele

Fa'atulagaga	Fa'amatalaga	Fa'amatalaga
Lapoa o le Wafer	12 inisi (300 mm)	Wafer masani tele le lautele
Meafaitino	Safaira Kilisitala Tasi (Al₂O₃)	Maualuga le mama, vasega eletise/optika
Fa'asinomaga o le Kilisitala	Va'alele C (0001), Va'alele A (11-20), Va'alele R (1-102)	Fa'asinomaga filifiliga e maua
Mafiafia	430–500 μm	E maua le mafiafia fa'apitoa pe a talosagaina
Fa'apalepale i le mafiafia	±10 μm	Onosa'i malosi mo masini fa'aonaponei
Fesuiaiga o le Mafiafia Atoa (TTV)	≤10 μm	Fa'amautinoa le tutusa o le fa'agasologa i luga o le wafer
Aufana	≤50 μm	Fuaina i luga o le apa atoa
Fa'alava	≤50 μm	Fuaina i luga o le apa atoa
Fa'auma o le Laupapa	Fa'apala'au itu e tasi (SSP) / Fa'apala'au itu e lua (DSP)	O le fogāeleele maualuga le tulaga lelei
Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele (Ra)	≤0.5 nm (fa'apupula)	O le lamolemole o le tulaga fa'a-atomika mo le tuputupu a'e o le epitaxial
Fa'amatalaga o le Pito	Pito fa'ata'amilomilo / pito lapotopoto	Ina ia puipuia ai le malepe i le taimi e taulimaina ai
Sa'o le Fa'asino	±0.5°	Fa'amautinoa le tuputupu a'e lelei o le vaega epitaxial
Mafiafia o le Fa'aletonu	<10 senitimita⁻²	Fuaina e ala i le asiasiga opitika
Mafolafola	≤2 μm / 100 mm	Fa'amautinoa le tutusa o le lithography ma le tuputupu a'e o le epitaxial
Mamā	Vasega 100 – Vasega 1000	E fetaui ma le potu mama
Fesiitaiga opitika	>85% (UV–IR)	Fa'alagolago i le wavelength ma le mafiafia

Fesili Masani e Masani Ona Fesiligia e uiga i le Wafer Safaira 12 Inisi

Q1: O le a le mafiafia masani o se apa safaira e 12 inisi le lautele?
A: O le mafiafia masani e amata mai le 430 μm i le 500 μm. E mafai foi ona gaosia mafiafia fa'apitoa e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau.

Q2: O a fa'atulagaga tioata e maua mo wafer safaira e 12 inisi?
A: Matou te ofoina atu fa'atulagaga C-plane (0001), A-plane (11-20), ma le R-plane (1-102). E mafai ona fa'apitoa isi fa'atulagaga e fa'atatau i mana'oga fa'apitoa o masini.

Q3: O le a le eseesega o le mafiafia atoa (TTV) o le wafer?
A: O a matou wafer safaira e 12 inisi e masani ona i ai le TTV ≤10 μm, e faʻamautinoa ai le tutusa i luga o le wafer atoa mo le gaosiga maualuga o masini.

Faatatau ia tatou

E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.