12 inisi SiC Substrate N Type Tele Tele Maualuga Fa'atinoga RF Fa'aoga

Fa'amatalaga Pupuu:

O le 12-inisi SiC substrate o loʻo faʻatusalia ai se alualu i luma mataʻina i tekinolosi o meafaitino semiconductor, e ofoina atu ai ni faʻamanuiaga faʻafouina mo eletise eletise ma faʻaoga maualuga-taimi. I le avea ai ma le silicon carbide wafer format sili ona tele i le alamanuia, o le 12-inisi SiC substrate e mafai ai ona faʻasaoina le tele o le fua faʻatatau aʻo faʻatumauina pea le lelei o meafaitino o uiga lautele o le bandgap ma meatotino faʻavevela tulaga ese. Pe a faʻatusatusa i SiC wafers masani e 6-inisi pe laiti, o le 12-inisi platform e maua ai le silia ma le 300% le tele o le eria e mafai ona faʻaaogaina i le wafer, e faʻateleina ai le fua o le die ma faʻaitiitia ai tau o gaosiga mo masini eletise. O lenei suiga o le tele e atagia ai le alualu i luma faʻasolopito o silicon wafers, lea e aumaia ai e le faʻateleina o le lautele o le lautele ni faʻaititia taua o tau ma faʻaleleia atili ai le faʻatinoga. O le sili atu o le thermal conductivity o le 12-inisi SiC substrate (toetoe lava 3× o le silicon) ma le maualuga o le malosi o le critical breakdown field e matua taua ai mo le isi tupulaga 800V electric vehicle systems, lea e mafai ai ona sili atu le laʻititi ma lelei modules eletise. I le 5G infrastructure, o le maualuga o le electron saturation velocity o meafaitino e mafai ai e masini RF ona faʻagaoioia i taʻamilosaga maualuga ma le maualalo o gau. O le fetaui lelei o le substrate ma masini gaosi silicon ua suia e faafaigofieina ai foi le faigofie ona faaaogaina e fabs o loʻo iai nei, e ui lava e manaʻomia le taulimaina faapitoa ona o le malosi tele o le SiC (9.5 Mohs). A o faateleina le tele o gaosiga, o le substrate SiC e 12-inisi ua faamoemoe e avea ma tulaga faatonuina o le alamanuia mo talosaga maualuga-malosiaga, ma faʻaleleia atili ai le fou i luga o taavale, malosiaga faʻafouina, ma faiga faʻaliliuina o le eletise faʻapisinisi.


Fa'aaliga

Fa'atulagaga fa'apitoa

Fa'amatalaga o le 12 inisi o le Silicon Carbide (SiC) Substrate
Vasega Gaosiga o le ZeroMPD
Vasega (Vasega Z)
Gaosiga Masani
Vasega (Vasega P)
Vasega Fa'ata'ita'i
(Vasega D)
Lapoa 3 0 0 mm~1305mm
Mafiafia 4H-N 750μm±15 μm 750μm±25 μm
  4H-SI 750μm±15 μm 750μm±25 μm
Fa'asinomaga o le Wafer Ese mai le itu: 4.0° agai i le <1120 >±0.5° mo le 4H-N, I luga o le itu: <0001>±0.5° mo le 4H-SI
Mafiafia o le Micropipe 4H-N ≤0.4cm-2 ≤4cm-2 ≤25cm-2
  4H-SI ≤5cm-2 ≤10cm-2 ≤25cm-2
Tete'e 4H-N 0.015~0.024 Ω·cm 0.015~0.028 Ω·cm
  4H-SI ≥1E10 Ω·cm ≥1E5 Ω·cm
Fa'asinomaga Laulau Muamua {10-10} ±5.0°
Umi Mafolafola Autū 4H-N Leai se totogi
  4H-SI Notch
Tuusaunoaga o le Pito 3 milimita
LTV/TTV/Aufana/Vau ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
Fa'alavelave Polani Ra≤1 nm
  CMP Ra≤0.2 nm Ra≤0.5 nm
Māvaevae o Pito i le Malamalama Malosi
Papa Hex e ala i le Malamalama Malosi Maualuga
Vaega Polytype e ala i le Malamalama Malosi Maualuga
Fa'aaofia o le Carbon Va'aia
Maosi o le Silikon i le Malamalama Malosi
Leai se tasi
Eria fa'aputu ≤0.05%
Leai se tasi
Eria fa'aputu ≤0.05%
Leai se tasi
Umi fa'aputu ≤ 20 mm, umi e tasi ≤2 mm
Eria fa'aputu ≤0.1%
Eria fa'aputu ≤3%
Eria fa'aputu ≤3%
Umi fa'aputu ≤1 × lautele o le wafer
Fa'amamago Pito e ala i le Malamalama Malosi Maualuga E leai se mea e fa'atagaina ≥0.2mm le lautele ma le loloto 7 fa'atagaina, ≤1 mm ta'itasi
(TSD) Fa'ase'eina o le fa'asolo o le sikulima ≤500 cm-2 Leai se totogi
(BPD) Sese o le fa'avae o le vaalele ≤1000 cm-2 Leai se totogi
Fa'aleagaina o le Silikon i luga e ala i le Malamalama Malosi Maualuga Leai se tasi
Afifiina Kaseti Wafer e tele pe Pusa Wafer e tasi
Fa'amatalaga:
1 E fa'atatau tapula'a o fa'aletonu i le fogā'ele'ele atoa o le apa vagana ai le vaega e le aofia ai pito.
2E tatau ona siaki ia maosi i foliga o Si.
3 O faʻamaumauga o le sele o le tino e naʻo mai ni wafer ua vaneina i le KOH.

Vaega Autū

1. Tele le Tele o le Lelei: O le 12-inisi SiC substrate (12-inisi silicon carbide substrate) e ofoina atu ai se vaega tele o le wafer e tasi, e mafai ai ona gaosia ni chips se tele i le wafer taʻitasi, ma faʻaitiitia ai tau o gaosiga ma faʻateleina ai le seleselega.
2. Meafaitino Maualuga le Fa'atinoga: O le tete'e maualuga o le Silicon carbide i le vevela ma le malosi maualuga o le fanua e malepe ai e avea ai le substrate 12-inisi ma mea e fetaui lelei mo fa'aoga maualuga-voltage ma maualuga-frequency, e pei o EV inverters ma faiga fa'atumu vave.
3. Fegalegaleai ma le Fa'agasologa: E ui i le maualuga o le ma'a'a ma lu'itau o le fa'agasologa o le SiC, o le 12-inisi le lapo'a o le SiC e maua ai ni fa'aletonu maualalo i luga e ala i metotia fa'aleleia atili o le tipiina ma le fa'apulusaina, ma fa'aleleia atili ai le gafatia o le masini.
4. Pulega Sili o le Vevela: Faatasi ai ma le sili atu o le conductivity o le vevela nai lo mea e faʻavae i le silicon, o le substrate e 12-inisi e faʻafetaui lelei ai le faʻasalalauina o le vevela i masini malolosi, ma faʻalauteleina ai le umi e ola ai le masini.

Talosaga Autu

1. Ta'avale Eletise: O le 12-inisi SiC substrate (12-inisi silicon carbide substrate) o se vaega autū o le isi tupulaga o faiga fa'aeletise e fa'agaoioia ai, e mafai ai ona fa'agaoioia ni inverters e maualuga le lelei e fa'aleleia atili ai le mamao ma fa'aitiitia ai le taimi e fa'atumu ai.

2. Nofoaga Autu 5G: O mea tetele SiC e lagolagoina masini RF maualuga-tele, e fa'afetaui ai mana'oga o nofoaga autu 5G mo le malosi maualuga ma le leiloa maualalo.

3. Sapalai Malosiaga Fa'apisinisi: I totonu o inverters o le la ma grids atamai, e mafai e le substrate 12-inisi ona tatalia voltage maualuluga a'o fa'aitiitia ai le leiloa o le malosi.

4. Mea Fa'aeletoronika a Tagata Fa'atau: O masini fa'atumu vave ma sapalai eletise mo nofoaga autu o fa'amaumauga i le lumana'i e ono fa'aogaina ni mea fa'apipi'i SiC e 12-inisi e ausia ai le la'ititi ma le lelei maualuga.

Auaunaga a le XKH

Matou te fa'apitoa i auaunaga fa'agasologa fa'apitoa mo substrates SiC 12-inisi (12-inisi silicon carbide substrates), e aofia ai:
1. Tipiina ma Fa'apupulaina: Fa'agasologa o le fa'apipi'iina e maualalo le fa'aleagaina, maualuga le lamolemole e fa'atatau i mana'oga o tagata fa'atau, ma fa'amautinoa ai le mautu o le fa'atinoga o le masini.
2. Lagolago i le Tuputupu A'e o le Epitaxial: Auaunaga epitaxial wafer maualuga le tulaga lelei e fa'avavevave ai le gaosiga o chip.
3. Fa'ata'ita'iga Fa'apitoa mo Vaega Laiti: Lagolagoina le fa'amaoniga o Su'esu'ega ma Atina'e (R&D) mo fa'alapotopotoga su'esu'e ma pisinisi tetele, ma fa'apu'upu'u ai ta'amilosaga o atina'e.
4. Fautuaga Fa'apitoa: Fofo mai le amataga e o'o atu i le i'uga mai le filifilia o meafaitino e o'o atu i le fa'aleleia atili o le fa'agasologa, e fesoasoani ai i tagata fa'atau e fa'ato'ilalo lu'itau o le fa'agasologa o le SiC.
Pe mo le gaosiga tele pe mo le fa'apitoa fa'apitoa, o a matou tautua SiC substrate 12-inisi e fetaui ma mana'oga o lau galuega faatino, ma fa'amalosia ai le alualu i luma fa'atekonolosi.

12 inisi SiC substrate 4
12 inisi SiC substrate 5
12 inisi SiC substrate 6

  • Muamua:
  • Sosoo ai:

  • Tusi lau savali iinei ma lafo mai ia i matou