12 inisi SiC Substrate N Type Tele Tele Maualuga Fa'atinoga RF Fa'aoga
Fa'atulagaga fa'apitoa
| Fa'amatalaga o le 12 inisi o le Silicon Carbide (SiC) Substrate | |||||
| Vasega | Gaosiga o le ZeroMPD Vasega (Vasega Z) | Gaosiga Masani Vasega (Vasega P) | Vasega Fa'ata'ita'i (Vasega D) | ||
| Lapoa | 3 0 0 mm~1305mm | ||||
| Mafiafia | 4H-N | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | ||
| 4H-SI | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | |||
| Fa'asinomaga o le Wafer | Ese mai le itu: 4.0° agai i le <1120 >±0.5° mo le 4H-N, I luga o le itu: <0001>±0.5° mo le 4H-SI | ||||
| Mafiafia o le Micropipe | 4H-N | ≤0.4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
| 4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
| Tete'e | 4H-N | 0.015~0.024 Ω·cm | 0.015~0.028 Ω·cm | ||
| 4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
| Fa'asinomaga Laulau Muamua | {10-10} ±5.0° | ||||
| Umi Mafolafola Autū | 4H-N | Leai se totogi | |||
| 4H-SI | Notch | ||||
| Tuusaunoaga o le Pito | 3 milimita | ||||
| LTV/TTV/Aufana/Vau | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
| Fa'alavelave | Polani Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Māvaevae o Pito i le Malamalama Malosi Papa Hex e ala i le Malamalama Malosi Maualuga Vaega Polytype e ala i le Malamalama Malosi Maualuga Fa'aaofia o le Carbon Va'aia Maosi o le Silikon i le Malamalama Malosi | Leai se tasi Eria fa'aputu ≤0.05% Leai se tasi Eria fa'aputu ≤0.05% Leai se tasi | Umi fa'aputu ≤ 20 mm, umi e tasi ≤2 mm Eria fa'aputu ≤0.1% Eria fa'aputu ≤3% Eria fa'aputu ≤3% Umi fa'aputu ≤1 × lautele o le wafer | |||
| Fa'amamago Pito e ala i le Malamalama Malosi Maualuga | E leai se mea e fa'atagaina ≥0.2mm le lautele ma le loloto | 7 fa'atagaina, ≤1 mm ta'itasi | |||
| (TSD) Fa'ase'eina o le fa'asolo o le sikulima | ≤500 cm-2 | Leai se totogi | |||
| (BPD) Sese o le fa'avae o le vaalele | ≤1000 cm-2 | Leai se totogi | |||
| Fa'aleagaina o le Silikon i luga e ala i le Malamalama Malosi Maualuga | Leai se tasi | ||||
| Afifiina | Kaseti Wafer e tele pe Pusa Wafer e tasi | ||||
| Fa'amatalaga: | |||||
| 1 E fa'atatau tapula'a o fa'aletonu i le fogā'ele'ele atoa o le apa vagana ai le vaega e le aofia ai pito. 2E tatau ona siaki ia maosi i foliga o Si. 3 O faʻamaumauga o le sele o le tino e naʻo mai ni wafer ua vaneina i le KOH. | |||||
Vaega Autū
1. Tele le Tele o le Lelei: O le 12-inisi SiC substrate (12-inisi silicon carbide substrate) e ofoina atu ai se vaega tele o le wafer e tasi, e mafai ai ona gaosia ni chips se tele i le wafer taʻitasi, ma faʻaitiitia ai tau o gaosiga ma faʻateleina ai le seleselega.
2. Meafaitino Maualuga le Fa'atinoga: O le tete'e maualuga o le Silicon carbide i le vevela ma le malosi maualuga o le fanua e malepe ai e avea ai le substrate 12-inisi ma mea e fetaui lelei mo fa'aoga maualuga-voltage ma maualuga-frequency, e pei o EV inverters ma faiga fa'atumu vave.
3. Fegalegaleai ma le Fa'agasologa: E ui i le maualuga o le ma'a'a ma lu'itau o le fa'agasologa o le SiC, o le 12-inisi le lapo'a o le SiC e maua ai ni fa'aletonu maualalo i luga e ala i metotia fa'aleleia atili o le tipiina ma le fa'apulusaina, ma fa'aleleia atili ai le gafatia o le masini.
4. Pulega Sili o le Vevela: Faatasi ai ma le sili atu o le conductivity o le vevela nai lo mea e faʻavae i le silicon, o le substrate e 12-inisi e faʻafetaui lelei ai le faʻasalalauina o le vevela i masini malolosi, ma faʻalauteleina ai le umi e ola ai le masini.
Talosaga Autu
1. Ta'avale Eletise: O le 12-inisi SiC substrate (12-inisi silicon carbide substrate) o se vaega autū o le isi tupulaga o faiga fa'aeletise e fa'agaoioia ai, e mafai ai ona fa'agaoioia ni inverters e maualuga le lelei e fa'aleleia atili ai le mamao ma fa'aitiitia ai le taimi e fa'atumu ai.
2. Nofoaga Autu 5G: O mea tetele SiC e lagolagoina masini RF maualuga-tele, e fa'afetaui ai mana'oga o nofoaga autu 5G mo le malosi maualuga ma le leiloa maualalo.
3. Sapalai Malosiaga Fa'apisinisi: I totonu o inverters o le la ma grids atamai, e mafai e le substrate 12-inisi ona tatalia voltage maualuluga a'o fa'aitiitia ai le leiloa o le malosi.
4. Mea Fa'aeletoronika a Tagata Fa'atau: O masini fa'atumu vave ma sapalai eletise mo nofoaga autu o fa'amaumauga i le lumana'i e ono fa'aogaina ni mea fa'apipi'i SiC e 12-inisi e ausia ai le la'ititi ma le lelei maualuga.
Auaunaga a le XKH
Matou te fa'apitoa i auaunaga fa'agasologa fa'apitoa mo substrates SiC 12-inisi (12-inisi silicon carbide substrates), e aofia ai:
1. Tipiina ma Fa'apupulaina: Fa'agasologa o le fa'apipi'iina e maualalo le fa'aleagaina, maualuga le lamolemole e fa'atatau i mana'oga o tagata fa'atau, ma fa'amautinoa ai le mautu o le fa'atinoga o le masini.
2. Lagolago i le Tuputupu A'e o le Epitaxial: Auaunaga epitaxial wafer maualuga le tulaga lelei e fa'avavevave ai le gaosiga o chip.
3. Fa'ata'ita'iga Fa'apitoa mo Vaega Laiti: Lagolagoina le fa'amaoniga o Su'esu'ega ma Atina'e (R&D) mo fa'alapotopotoga su'esu'e ma pisinisi tetele, ma fa'apu'upu'u ai ta'amilosaga o atina'e.
4. Fautuaga Fa'apitoa: Fofo mai le amataga e o'o atu i le i'uga mai le filifilia o meafaitino e o'o atu i le fa'aleleia atili o le fa'agasologa, e fesoasoani ai i tagata fa'atau e fa'ato'ilalo lu'itau o le fa'agasologa o le SiC.
Pe mo le gaosiga tele pe mo le fa'apitoa fa'apitoa, o a matou tautua SiC substrate 12-inisi e fetaui ma mana'oga o lau galuega faatino, ma fa'amalosia ai le alualu i luma fa'atekonolosi.









