4H-N/6H-N SiC Wafer Su'esu'ega gaosiga Dummy grade Dia150mm Silicon carbide substrate

Fa'amatalaga Pupuu:

E mafai ona matou tuʻuina atu le substrate thin film superconducting high vest, magnetic thin film ma le ferroelectric thin film substrate, semiconductor crystal, optical crystal, laser crystal materials, i le taimi lava e tasi e tuʻuina atu ai le faʻatulagaina, tipiina o le crystal, oloina, faʻapulusaina ma isi auaunaga faʻagasologa. O a matou substrates SiC e sau mai le Tankeblue Factory i Saina.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Fa'amatalaga o le substrate silicon carbide (SiC) e 6 inisi le lautele

Vasega	Leai se MPD	Gaosiga	Vasega o Suesuega	Vasega Fa'ata'ita'i
Lapoa	150.0mm±0.25mm
Mafiafia	4H-N	350um±25um
	4H-SI	500um±25um
Fa'asinomaga o le Wafer	I luga o le axis:<0001>±0.5°mo le 4H-SI Ese le itu: 4.0° agai i le<1120>±0.5° mo le 4H-N
Fale Mafolafola Muamua	{10-10}±5.0°
Umi Mafolafola Autū	47.5mm±2.5mm
Fa'ate'aina o pito	3mm
TTV/Aufana/Vau	≤15um/≤40um/≤60um
Mafiafia o le Micropipe	≤1cm-2	≤5cm-2	≤15cm-2	≤50cm-2
Tete'e 4H-N 4H-SI	0.015~0.028Ω!cm
	≥1E5Ω!cm
Fa'alavelave	Polani Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm
#Mavaevae ona o le malamalama malosi	Leai se tasi		1 fa'atagaina, ≤2mm	Umi fa'aputu ≤10mm, umi e tasi ≤2mm
*Ipu Hex e ala i le malamalama malosi	Eria fa'aputu ≤1%		Eria fa'aputu ≤ 2%	Eria fa'aputu ≤ 5%
*Eria o le Polytype e ala i le malamalama malosi	Leai se tasi		Eria fa'aputu ≤ 2%	Eria fa'aputu ≤ 5%
*&Maosi i le malamalama malosi	3 valu i le 1 x lautele o le wafer e fa'aopoopo i le umi		5 valu i le 1 x le lautele o le wafer e fa'aopoopo i le umi	5 valu i le 1 x le lautele o le wafer e fa'aputu ai le umi
Sipi pito	Leai se tasi		3 fa'atagaina, ≤0.5mm ta'itasi	5 fa'atagaina, ≤1mm ta'itasi
Fa'aleagaina e le malamalama malosi	Leai se tasi

Fa'atauga ma Auaunaga i Tagata Fa'atau

Fa'atauina o Meafaitino

O le matagaluega e faʻatau meafaitino e nafa ma le aoina mai o meafaitino mata uma e manaʻomia e gaosia ai lau oloa. E maua i taimi uma le mafai ona suʻeina atoatoa o oloa ma meafaitino uma, e aofia ai le auʻiliʻiliga o vailaʻau ma mea faʻaletino.

Tulaga lelei

I le taimi o le gaosiga po'o le masini ma le mae'a ai o au oloa, e aofia ai le matagaluega e pulea lelei le lelei i le fa'amautinoaina o meafaitino uma ma fa'atagaga e fetaui pe sili atu i lau fa'amatalaga.

Auaunaga

Matou te mitamita i le i ai o le aufaigaluega inisinia fa'atau oloa e silia ma le 5 tausaga o latou poto masani i le pisinisi semiconductor. Ua a'oa'oina i latou e tali fesili fa'apitoa fa'apea fo'i ma le tu'uina atu o tau talafeagai mo ou mana'oga.

Matou te i ou tafatafa i soo se taimi e iai sau faʻafitauli, ma foia i totonu o le 10 itula.