Masini Fa'aputu Quartz Fa'afefiloi Mama Maualuga mo Semiconductor, Fa'aoga Optika Photonics 2″4″6″8″12″
Ata Auiliili
Aotelega o le Tioata Kuata
O quartz wafers e fai ma ivitū o le tele o masini faʻaonaponei e faʻatautaia ai le lalolagi numera i aso nei. Mai le faʻatautaia i lau telefonipoto i le ivitū o nofoaga autu o le 5G, e tuʻuina atu e le quartz le mautu, mama, ma le saʻo e manaʻomia i mea faʻaeletoronika maualuga ma photonics. Pe o le lagolagoina o circuitry fetuutuunai, faʻatagaina MEMS sensors, poʻo le faʻavaeina o le faʻavae mo le quantum computing, o uiga tulaga ese o le quartz e avea ai ma mea taua i pisinisi uma.
"Fused Silica" po'o le "Fused Quartz" o le vaega amorphous o le quartz (SiO2). Pe a fa'atusatusa i le tioata borosilicate, e leai ni mea fa'aopoopo i le fused silica; o le mea lea e iai i lona tulaga mama, SiO2. O le fused silica e sili atu le maualuga o le fesiitaiga i le infrared ma le ultraviolet spectrum pe a fa'atusatusa i le tioata masani. O le fused silica e gaosia e ala i le fa'amalūlūina ma le toe fa'ama'a'aina o le ultrapure SiO2. O le fused silica fa'apitoa i le isi itu e faia mai vaila'au fa'asolosolo e tele ai le silicon e pei o le SiCl4 lea e fa'asu'iina ona fa'a'oksizenina lea i le ea H2 + O2. O le pefu SiO2 na fausia i lenei tulaga e fa'apipi'i i le silica i luga o se substrate. O poloka silica ua fused e tipiina i ni wafers ona fa'apupula lea o wafers.
Vaega Autū ma Penefiti o le Quartz Glass Wafer
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Mama Maualuga Tele (≥99.99% SiO2)
E fetaui lelei mo faiga semiconductor ma photonics e matua mama tele lea e tatau ai ona faʻaitiitia le faʻaleagaina o meafaitino. -
Lautele o le Fa'agaioiga o le Vevela
E faatumauina le tulaga lelei o le fausaga mai le vevela o le cryogenic e oo atu i le sili atu i le 1100°C e aunoa ma le pi'o pe faaleagaina. -
Fa'asalalauga UV ma IR Sili Ona Lelei
E tu'uina atu le manino lelei o le va'aiga mai le ultraviolet loloto (DUV) e o'o atu i le near-infrared (NIR), e lagolagoina ai fa'aoga fa'apitoa o le va'aiga. -
Fa'alauteleina o le Vevela Maualalo
Fa'aleleia le mautu o le fua i lalo o le fesuisuia'iga o le vevela, fa'aitiitia ai le atuatuvale ma fa'aleleia le fa'atuatuaina o le fa'agasologa. -
Tete'e Sili Atu i Vailaau Fa'akemikolo
E lē gaoioi i le tele o 'āsi, alkali, ma vaila'au fa'amama—e fetaui lelei ai mo siosiomaga e malolosi fa'akemikolo. -
Fetuutuuna'i o le Fa'auma o le Laupapa
E maua i ni fa'auma lamolemole tele, i le itu e tasi pe i itu e lua, e fetaui ma mana'oga o le photonics ma le MEMS.
Fa'agasologa o le Gaosiga o le Quartz Glass Wafer
O fagu kuata ua fa'apipi'iina e gaosia e ala i se faasologa o la'asaga fa'atonutonuina ma sa'o:
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Filifiliga o Mea Mata
Filifiliga o le kuata masani e maualuga le mama po'o punaoa SiO₂ fa'apitoa. -
Fa'a'ele'ele ma le Fa'afefiloi
E fa'a'asuaina le kuata i le ~2000°C i totonu o ogaumu eletise i lalo o se ea fa'atonutonuina e aveese ai mea e aofia ai ma pupuni. -
Fausiaina o Poloka
E fa'amālūlūina le silica ua liusuavai i ni poloka malo po'o ni ingot. -
Tipiina o le Wafer
E fa'aaogaina ili taimane po'o ili uaea sa'o e tipi ai polo i ni fasi falaoa manifinifi. -
Lapo'a ma le Fa'apala
Ua fa'amafolafola ma fa'apulusaina itu uma e lua ina ia fetaui ma fa'amatalaga sa'o o le va'ai, mafiafia, ma le talatala. -
Fa'amamaina ma le Su'esu'ega
E fa'amamāina uamea manifinifi i potu mama o le ISO Vasega 100/1000 ma faia se su'esu'ega mae'ae'a mo ni fa'aletonu ma le tausisia o fua.
Meatotino o le Quartz Glass wafer
| fa'amatalaga | iunite | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Lapoa / tele (po'o le sikuea) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Fa'apalepale (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Mafiafia | mm | 0.10 pe sili atu | 0.30 pe sili atu | 0.40 pe sili atu | 0.50 pe sili atu | 0.50 pe sili atu |
| Mafolafola autū e fa'asino i ai | mm | 32.5 | 57.5 | Fa'aitiitiga o le afa | Fa'aitiitiga o le afa | Fa'aitiitiga o le afa |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Aufana | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Fa'alava | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Fa'ata'amilomilo o le Pito | mm | E tausisia le tulaga faatonuina a le SEMI M1.2 / taga'i i le IEC62276 | ||||
| Ituaiga o le Laueleele | Itu e Tasi ua Fa'apupula / Itu e Lua ua Fa'apupula | |||||
| Itu ua fa'apupula Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Tulaga Fa'atonuina o le Itu i Tua | μm | lautele 0.2-0.7 pe fa'apitoa | ||||
Kuata vs. Isi Mea Manino
| Meatotino | Tioata Kuata | Tioata Borosilicate | Safaira | Tioata Masani |
|---|---|---|---|---|
| Vevela Fa'agaoioiga Maualuga | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Fa'asalalauga UV | Sili Ona Lelei (JGS1) | Mativa | Lelei | Matuā mativa lava |
| Tete'e atu i vaila'au fa'akemikolo | Sili ona lelei | Feololo | Sili ona lelei | Mativa |
| Mama | Maualuga tele | Maualalo i le feololo | Maualuga | Maualalo |
| Fa'alauteleina o le Vevela | Maualalo tele | Feololo | Maualalo | Maualuga |
| Tau | Feololo i le maualuga | Maualalo | Maualuga | Maualalo tele |
Fesili e Masani Ona Fesiligia e uiga i le Quartz Glass Wafer
Q1: O le a le eseesega i le va o le fused quartz ma le fused silica?
E ui o ituaiga uma ia e lua o le SiO₂ e leai se foliga, o le fused quartz e masani ona afua mai i punaoa masani o le quartz, ae o le fused silica e gaosia fa'apitoa. E tutusa lelei a la'ua galuega, ae o le fused silica atonu e sili atu le mama ma le tutusa.
Q2: E mafai ona fa'aaogaina ni apa quartz ua fa'afefiloi i ni siosiomaga e tele ai le ea e fa'asu'i ai le ea?
Ioe. Ona o le maualalo o latou uiga e aveese ai kasa mai fafo ma le maualuga o le tete'e atu i le vevela, o fused quartz wafers e sili ona lelei mo faiga e aveese ai le ea ma galuega tau vaalele.
Q3: E talafeagai ea nei wafers mo fa'aoga laser loloto-UV?
Ioe lava. O le fused quartz e maualuga lona transmittance e oo atu i le ~185 nm, ma avea ai ma mea lelei mo DUV optics, lithography masks, ma excimer laser systems.
Q4: E te lagolagoina le gaosiga o le wafer fa'apitoa?
Ioe. Matou te ofoina atu le fa'apitoa atoatoa e aofia ai le lautele, mafiafia, lelei o le laualuga, mafolafola/notches, ma mamanu laser, e fa'atatau i ou mana'oga fa'apitoa.
Faatatau ia tatou
E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.
