Silicon Wafers vs. Glass Wafers: O le a le mea o loʻo tatou faʻamamaina moni? Mai mea e fa'ameamea e o'o atu i Fofo Fa'amama Fa'avae

E ui lava e tutusa uma le silicon ma tioata wafers le sini masani o le "faʻamamaina," o luʻitau ma faiga faʻaletonu latou te feagai i le faʻamamaina e matua ese lava. O lenei eseesega e afua mai i mea totino faʻapitoa ma faʻamatalaga manaʻoga o le silikoni ma tioata, faʻapea foʻi ma le "filosofia" maʻoti o le faʻamamaina e faʻauluina e a latou talosaga mulimuli.

Muamua, seʻi o tatou faʻamalamalama: O le a tonu lava le mea o loʻo tatou faʻamamaina? O a mea leaga o lo'o a'afia ai?

E mafai ona fa'avasega mea fa'aleagaina i ni vaega se fa:

1. Mea Fa'aleaga

   • Pefu, vaega u'amea, vaega fa'a-natura, mea fa'afefete (mai le CMP process), ma isi.

   • O nei mea leaga e mafai ona mafua ai le faaletonu o mamanu, e pei o pupuu poʻo taʻavale taʻavale.

2. Mea Fa'aletino

   • E aofia ai toega photoresist, resin additives, suauu paʻu o le tagata, solvent toega, ma isi.

   • O mea fa'aletino e mafai ona fai ni matapulepule e fa'alavelaveina ai le fa'apipi'iina po'o le fa'apipi'iina o ion ma fa'aitiitia ai le pipii o isi ata manifinifi.

3. Fa'aleaga Ion uamea

   • O le uʻamea, kopa, sodium, potassium, calcium, ma isi, e masani lava ona sau mai meafaigaluega, vailaʻau, ma faʻafesoʻotaʻi tagata.

   • I semiconductor, uamea uamea o "fasioti" mea leaga, faʻaalia le maualuga o le malosi i totonu o le fusi faʻasaina, lea e faʻateleina ai le tafe, faʻapuʻupuʻu le ola o le avetaʻavale, ma faʻaleagaina ai mea eletise. I le tioata, e ono afaina ai le lelei ma le pipii o ata manifinifi mulimuli ane.

4. Fa'amea ole Oxide

   • Mo u'amea masi fa'asikosi: Ose vaega manifinifi o le silicon dioxide (Native Oxide) e masani ona fa'atupu i luga o le ea. O le mafiafia ma le tutusa o lenei oxide layer e faigata ona pulea, ma e tatau ona aveese atoa i le taimi o le fausiaina o fausaga autu e pei o oxides faitotoa.

   • Mo ipu tioata: O tioata lava ia o se fausaga feso'ota'iga silica, o lea e leai se fa'afitauli o le "ave'esea o se vaega o le oxide masani." Ae ui i lea, atonu na suia le pito i luga ona o le faʻaleagaina, ma e manaʻomia ona aveese lenei vaega.

I. Sini Autu: O le Eseesega i le Va o le Fa'aeletise Fa'atinoga ma le Fa'aatoatoaina Fa'aletino

• Silicon Wafers

  • O le sini autu o le faʻamamāina o le faʻamautinoaina o le eletise. O faʻamatalaga e masani ona aofia ai le mamafa ma le lapopoʻa (faʻataʻitaʻiga, vaega ≥0.1μm e tatau ona aveese lelei), faʻaogaina o uʻamea uʻamea (faʻataʻitaʻiga, Fe, Cu e tatau ona pulea i le ≤10¹⁰ atoms / cm² poʻo lalo ifo), ma le maualuga o mea o totoe. E o'o lava i le fa'aleagaina o mea laititi e mafai ona o'o atu ai i pupuu ta'amilosaga, tafega o le vai, po'o le fa'aletonu ole faitoto'a oxide fa'amaoni.

• ipu ipu tioata

  • I le avea ai ma substrates, o manaoga autu o le atoatoa faaletino ma le mautu kemisi. O faʻamatalaga faʻapitoa e taulaʻi i vaega macro-level e pei o le leai o ni maosiosia, stains e le mafai ona aveese, ma le tausia o le muai talatala luga ma geometry. O le sini fa'amama e fa'amuamua lava le fa'amautinoaina o le mama va'aia ma le pipii lelei mo fa'agasologa mulimuli mai e pei o le ufiufi.

II. Natura Mea: O le eseesega autu i le va o Crystalline ma Amorphous

• Silicon

  • O le silikoni o se mea tioata tioata, ma o lona pito e masani lava ona tupu aʻe se mea e le tutusa le silicon dioxide (SiO₂) oxide layer. Ole vaega ole oxide lea e iai se lamatiaga ile fa'aogaina ole eletise ma e tatau ona aveese lelei ma tutusa.

• tioata

  • O tioata o se feso'ota'iga silica amorphous. O le tele o mea e tutusa lelei i le tuufaatasiga o le silicon oxide layer o le silicon, o lona uiga e mafai ona vave togitogiina e le hydrofluoric acid (HF) ma e faigofie foi i le malosi o le alkali, e mafua ai le faateleina o le gaogao poʻo le deformation. O lenei eseesega taua e fa'ailoa mai ai e mafai ona fa'amama le fa'amama masi fa'ama'i silicon e fa'amalieina le malamalama, fa'amama fa'atonutonu e aveese ai mea fa'aleagaina, a'o fa'amama ipu tioata e tatau ona faia ma le fa'aeteete tele e 'alofia ai le fa'aleagaina o mea fa'avae.

III. Fa'atusatusaga o Fofo Fa'amamaina

Faʻavae i luga o sini taʻua ma uiga faʻapitoa, o vaifofo faʻamamaina mo le silikoni ma tioata tioata e eseese:

• Faiga Fa'amama ipu tioata

  • I le taimi nei, o le tele o fale gaosi tioata e faʻaogaina faiga faʻamama e faʻavae i luga o uiga faʻapitoa o tioata, faʻalagolago muamua i mea vaivai faʻamamaina alkaline.

  • Uiga o Sui Fa'amama:O nei vaila'au fa'amama fa'apitoa e masani ona vaivai le alkaline, fa'atasi ai ma le pH ile 8-9. E masani ona iai ni surfactants (fa'ata'ita'iga, alkyl polyoxyethylene ether), u'amea chelating agents (eg, HEDP), ma fesoasoani fa'amama fa'aola, ua fuafuaina e fa'amumū ma fa'apala mea fa'aletino e pei o suau'u ma tamatamailima, a'o fa'aitiitia le pala ile mata tioata.

  • Fa'agasologa Fa'agasologa:O le faʻagasologa masani o le faʻamamaina e aofia ai le faʻaaogaina o se faʻatonuga faʻapitoa o vailaʻau faʻamamaina vaivai i le vevela e amata mai le vevela o le potu i le 60 ° C, faʻatasi ma le faʻamamaina o le ultrasonic. A mae'a ona fa'amamā, e tele ni la'asaga fufulu mama ma fa'agogo lemu (fa'ata'ita'iga, si'isi'i fa'agesegese po'o fa'amago ausa IPA). O lenei faiga e fetaui lelei ma mea e manaʻomia mo le mama tioata ma le mama lautele.

• Fa'amama ole Fa'amama ole Silicon Wafer

  • Mo le gaosiga o le semiconductor, e masani lava ona fa'amama le RCA fa'amama fa'ameamea, o se auala sili ona lelei fa'amama e mafai ona fa'aogaina fa'aleaogaina ituaiga uma o mea leaga, fa'amautinoa o lo'o fa'amalieina mana'oga eletise mo masini semiconductor.

IV. Pe a fetaui le tioata ma tulaga maualuga "mama".

Pe a fa'aogaina ipu fa'ama'i tioata i talosaga e mana'omia ai le faitau aofa'i o vaega ma'ale'ale fa'ameamea (fa'ata'ita'iga, e fai ma sui i faiga semiconductor po'o mo luga ole fa'aputuina o ata manifinifi sili ona lelei), e ono le toe lava le fa'amama fa'atosina. I lenei tulaga, e mafai ona faʻaogaina mataupu faʻamama semiconductor, faʻalauiloaina se fuafuaga faʻamamaina RCA faʻaleleia.

O le 'autu o lenei ta'iala o le fa'afefeteina ma fa'amalieina tulaga fa'ata'ita'iga fa'asologa o le RCA e fa'aoga ai le natura ma'ale'ale o tioata:

• Ave'esea oona Fa'aletino:E mafai ona fa'aogaina vaifofo SPM po'o vai osone vaivai e fa'apala ai mea fa'aleagaina e ala i le malosi fa'ama'i.

• Ave'esea o vaega:Ole vaifofo ole SC1 e sili ona fa'afefeteina e fa'aaogaina ile vevela maualalo ma taimi fa'apu'upu'u ole togafitiga e fa'aoga ai lona fa'ato'aga fa'aeletise ma a'afiaga micro-etching e aveese ai vaega, ae fa'aitiitia ai le pala ile tioata.

• Ave'esea ion uamea:O se vaifofo fa'afefete SC2 po'o ni vaifofo fa'afefete fa'afefete fa'afefeteina/dilute nitric acid e fa'aaogaina e aveese ai mea fa'aleagaina e ala ile chelation.

• Fa'asa ma'oti:O le DHF (di-ammonium fluoride) e tatau ona matua 'alofia e puipuia ai le pala o le mea tioata.

I le faagasologa atoa o suiga, o le tuʻufaʻatasia o tekinolosi megasonic e matua faʻaleleia atili ai le faʻaogaina o le faʻaogaina o nano-sized particles ma e sili atu ona agamalu i luga.

Fa'ai'uga

O faiga fa'amama mo le silicon ma tioata wafers o le taunuuga le maalofia o le faʻaaogaina o le inisinia e faʻavae i luga o latou manaʻoga mulimuli, mea totino, ma uiga faʻaletino ma kemisi. O le fa'amama wafer sili silisi e sailia le "mama fa'aatomika" mo le fa'aogaina o le eletise, a'o le fa'amama ipu tioata e taula'i i le ausiaina o 'ele'ele fa'aletino "atoatoa, e le fa'aleagaina". A'o fa'atuputeleina le fa'aogaina o ipu tioata i fa'aoga semiconductor, o a latou faiga fa'amama e mautinoa lava e tupu a'e i tua atu o le fa'amama fa'amama vaivai masani, fa'atupuina atili fa'amamaina, fa'apitoa fofo e pei o le RCA ua fa'aleleia ina ia ausia tulaga mama maualuga.