O le ā le Wafer Chipping ma e faʻapefea ona foia?

O le tipiina o le wafer o se faiga taua tele i le gaosiga o semiconductor ma e iai sona aafiaga tuusaʻo i le lelei ma le faʻatinoga o le chip mulimuli. I le gaosiga moni,fa'apalapala o le wafer—ae maise lavafasi pito i lumamafasi i tua—o se fa'aletonu masani ma matuia e fa'atapula'aina ai le lelei o le gaosiga ma le fua. O le tipiina o fasi mea e le gata ina a'afia ai le foliga vaaia o fasi mea ae mafai fo'i ona mafua ai le fa'aleagaina tumau o la latou fa'atinoga eletise ma le fa'atuatuaina fa'amekanika.

Fa'amatalaga ma Ituaiga o le Wafer Chipping

O le fa'apalapala o le wafer e fa'atatau i aimāvaevae pe gaui foʻi mea i pito o fasi mea i le taimi o le tipiina. E masani ona vaevaeina i nifasi pito i lumamafasi i tua:

• Fa'apala'au i lumae tupu i luga o le fogāeleele galue o le chip o loʻo i ai mamanu o le matagaluega. Afai e faʻalautele atu le chip i totonu o le vaega o le matagaluega, e mafai ona matua faʻaleagaina ai le faʻatinoga o le eletise ma le faʻatuatuaina i se taimi umi.

• Fa'apalapala i tuae masani ona tupu pe a uma ona manifinifi le wafer, lea e aliaʻe ai ni gau i le eleele poʻo se vaega ua faaleagaina i le pito i tua.

Mai se vaaiga fa'atulagaina,O le gau o le itu pito i luma e masani ona mafua mai i gau i le epitaxial poʻo le luga o le fatafata, a'oE mafua mai le tipiina o le itu i tua mai vaega ua faaleagaina na fausia i le taimi o le manifinifi o le wafer ma le aveeseina o mea o le substrate.

E mafai ona vaevaeina le fasi pito i luma i ni ituaiga se tolu:

1. Fa'apala muamua– e masani ona tupu i le taimi a'o le'i tipiina pe a fa'apipi'i se lau fou, e iloagofie i le fa'aleagaina le pito e le masani ai.

2. Fa'asolo fa'asolosolo (fa'ata'amilosaga)– e aliali mai pea lava pea ma e le aunoa i taimi o galuega tipi faifai pea.

3. Fa'apalapala e le masani ai– mafua mai i le solo ese o le lau, le saoasaoa o le fafaga le talafeagai, loloto tele o le tipiina, se'e ese o le apa, po'o le fa'aleagaina o le foliga.

Mafua'aga Autū o le Fa'apalapala o le Wafer

1. Mafua'aga o le Fa'aleagaina Muamua

• Le lava le sa'o o le fa'apipi'iina o le lau

• E le'i fa'asa'oina lelei le lau i se foliga lapotopoto atoatoa

• Le atoatoa o le fa'aalia o le fatu taimane

Afai e fa'apipi'i le lau i se tulaga fa'api'o teisi, e ono lē tutusa le malosi o le tipiina. O se lau fou e le'i fa'apipi'iina lelei o le a lē lelei lona fa'aputuga, ma i'u ai ina see ese le ala tipi. Afai e lē o fa'aalia atoatoa fatu taimane i le taimi o le tipiina muamua, e lē mafai ona fausia ni avanoa e ono malepe ai, ma fa'ateleina ai le ono malepe.

2. Mafua'aga o le Fa'apalapala Fa'avaitaimi

• Fa'aleagaina o le lau ona o le a'afiaga o le fogāeleele

• O lo'o aliali mai ni fasi taimane tetele

• Pipii o fasi mea ese (resin, otaota uʻamea, ma isi mea faapena)

A'o tipiina, e mafai ona tupu ni tama'i notches ona o le pa'i atu o le malepelepe. O fatu taimane tetele e aliali mai e fa'apotopoto ai le mamafa i le lotoifale, ae o toega po'o mea leaga mai fafo i luga o le lau e mafai ona fa'alavelaveina ai le mautu o le tipiina.

3. Mafua'aga o le Fa'aleagaina o le Sipi

• O le alu ese o le lau mai le le paleni lelei i le saoasaoa maualuga

• Le sa'o le fua fafaga pe tele naua le loloto o le tipiina

• Fa'aletonu po'o le fa'aleagaina o le uamea i le taimi o le tipiina

O nei mea e mafua ai ona lē mautu le malosi o le tipiina ma alu ese mai le ala atofaina o le tipiina, ma mafua ai ona gau le pito.

4. Mafua'aga o le Malepelepe o le Itu i Tua

O le tipiina o le itu i tua e mafua mai lava i lefa'aputuga o le atuatuvale i le taimi o le manifinifi o le wafer ma le fe'avea'i o le wafer.

A o fa'amamago, e fausia se vaega ua fa'aleagaina i le itu i tua, e fa'alavelaveina ai le fausaga o le tioata ma fa'atupuina ai le mamafa i totonu. A o tipiina, o le fa'asa'olotoina o le mamafa e mafua ai ona amata ni māvaevae laiti, lea e faasolosolo malie ona sosolo atu i ni māvaevae tetele i tua. A o fa'aitiitia le mafiafia o le apa, e fa'avaivaia lona tete'e atu i le mamafa, ma fa'ateleina ai le pi'o—ma fa'ateleina ai le ono malepelepe o le itu i tua.

A'afiaga o le Fa'aputuina o Fa'aputuga i Fa'aputuga ma Fuafuaga e Tete'e Atu ai

Aafiaga i le Fa'atinoga o le Chip

E matuā fa'aitiitia ai le tipiina o fasipepamalosi fa'amekanikaE oo lava i ni māvaevae laiti i autafa e ono faaauau pea ona sosolo i le taimi o afifiina pe faaaogaina moni, ma iu ai ina malepe ai le vaega o le masini ma faaletonu ai le eletise. Afai e osofaʻia e le vaega o le masini le vaega pito i luma o le masini, e ono afaina ai le faatinoga o le eletise ma le faatuatuaina o le masini i se taimi umi.

Fofo Aoga mo le Fa'apala'au o le Wafer

1. Fa'aleleia atili o le Fa'asologa o Faiga

E tatau ona fetu'una'i le saoasaoa o le tipiina, le saoasaoa o le fafaga, ma le loloto o le tipiina e fa'atatau i le eria o le apa, ituaiga o meafaitino, mafiafia, ma le alualu i luma o le tipiina e fa'aitiitia ai le mamafa o le mamafa.
I le tu'ufa'atasiava'aiga masini ma le mata'ituina fa'avae i luga o le AI, e mafai ona iloa le tulaga moni o le lau ma le amioga o le pa'ū ma e mafai ona fetu'una'i fa'asologa o le fa'agasologa mo le puleaina sa'o.

2. Tausiga ma le Pulega o Meafaigaluega

E taua tele le tausiga faifai pea o le masini tipi ina ia mautinoa ai:

• Sa'o lelei o le spindle

• Mausali o le faiga o felauaiga

• Lelei o le faiga fa'amālūlūina

E tatau ona fa'atino se faiga e mata'ituina ai le umi atoa o le fa'aaogaina o le lau o le fa'aaogaina e fa'amautinoa ai ua sui lau ua matuā leaga le fa'aaogaina a'o le'i malepe ona o le pa'ū o le lelei o le fa'aaogaina.

3. Filifiliga ma le Fa'aleleia o le Lau

O meatotino o le lau e pei otele o le fatu taimane, ma'a'a o le fusi, ma le mafiafia o le fatue iai sona aafiaga malosi i amioga o le chipping:

• O fatu taimane tetele e fa'ateleina ai le ta'ei o le itu pito i luma.

• O saito laiti e fa'aitiitia ai le gau ae fa'aitiitia ai le lelei o le tipiina.

• O le maualalo o le mafiafia o fatu e fa'aitiitia ai le gau o le meafaigaluega ae fa'apu'upu'u ai le umi e ola ai.

• O mea e vaivai ona pipii e fa'aitiitia ai le gau ae fa'avavevave ai le ofuina.

Mo masini e faʻavae i le silicon,O le tele o le fatu taimane o le mea sili lea ona tauaO le filifilia o lau e sili ona lelei e laʻititi le tele o saito ma le pulea lelei o le lapoʻa o saito e taofia ai le gau o le itu pito i luma ae faʻatonutonuina pea le tau.

4. Fuafuaga e Pulea ai le Malepelepe o le Itu i Tua

O fuafuaga autū e aofia ai:

• Fa'aleleia atili o le saoasaoa o le spindle

• Filifilia o mea fa'amama taimane manifinifi

• Fa'aaogaina o mea e pipii malu ma le maualalo o le malosi o le asphalt

• Ia mautinoa le sa'o o le fa'apipi'iina o le lau ma le mautu o le gatete o le spindle

O le tele naua o le saoasaoa o le viliina e maualuga tele pe maualalo foi e faʻateleina ai le lamatiaga o le gau o le itu i tua. O le faʻapiʻo o le lau poʻo le gatete o le spindle e mafai ona mafua ai le gau o le itu i tua i se vaega tele. Mo wafers manifinifi tele,togafitiga pe a uma ona faia e pei o le CMP (Chemical Mechanical Polishing), dry etching, ma le wet chemical etchingfesoasoani e aveese vaega o mea ua faaleagaina, faasaoloto le atuatuvale i totonu, faaitiitia le fepi'opi'o, ma faamalosia atili ai le malosi o le chip.

5. Tekonolosi Fa'atekonolosi Fa'atekonolosi

O auala fou o le tipiina e le fesoʻotaʻi ma le faʻaitiitia o le mamafa e ofoina atu ai nisi faʻaleleia atili:

• Ta'i tipi i le laserfa'aitiitia ai le feso'ota'iga fa'amekanika ma fa'aitiitia ai le malepe e ala i le fa'agasologa e maualuga le malosi.

• Ta'i tipi vaie fa'aaogāina le vai maualuga le mamafa ua palu fa'atasi ma micro-abrasives, e fa'aitiitia tele ai le atuatuvale i le vevela ma le fa'amasini.

Fa'amalosia o le Puleaina o le Tulaga Lelei ma le Su'esu'ega

E tatau ona fa'atuina se faiga fa'atonutonu lelei ma le fa'amaoni i le fa'asologa atoa o gaosiga—mai le siakiina o mea mata e o'o atu i le fa'amaoniga o oloa mulimuli. Meafaigaluega siakiina sa'o e pei omaikolosikope opitika ma maikolosikope eletise su'esu'e (SEM)e tatau ona fa'aaoga e iloilo mae'ae'a ai apa manifinifi pe a uma ona tipiina, e mafai ai ona iloa vave ma fa'asa'oina ni fa'aletonu o le masaesae.

Faaiuga

O le fa'aleagaina o le Wafer o se fa'aletonu lavelave ma tele ona itu e aofia aifa'asologa o le faagasologa, tulaga o masini, meatotino o lau, mamafa o le wafer, ma le pulega leleiE na'o le fa'aleleia atili fa'atulagaina i nei vaega uma e mafai ai ona pulea lelei le fa'aleagaina o le chipping—ma fa'aleleia atili aifua o le gaosiga, faʻatuatuaina o le chip, ma le faʻatinoga atoa o le masini.