SiC Ceramic Fork Arm / End Effector – Fa'aogaina lelei ma le sa'o mo le gaosiga o Semiconductor

SiC Ceramic Fork Arm / End Effector – Fa'aleleia atili o le taulimaina o le sa'o mo le gaosiga o Semiconductor Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O le SiC Ceramic Fork Arm, e masani ona ta'ua o le Ceramic End Effector, o se vaega e maualuga le fa'atinoga ma le sa'o o le taulimaina ua atia'e fa'apitoa mo le felauaiga o le wafer, fa'atulagaina, ma le tu'uina i totonu o pisinisi fa'atekonolosi maualuga, aemaise lava i totonu o le semiconductor ma le gaosiga o le photovoltaic. O lenei vaega ua gaosia i le fa'aaogaina o le silicon carbide ceramics mama maualuga, o lo'o tu'ufa'atasia ai le malosi fa'amekanika tulaga ese, le fa'alauteleina o le vevela e matua maualalo lava, ma le tete'e sili atu i le te'i vevela ma le 'ele.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Aotelega o le Oloa

E le pei o masini fa'atino masani e faia mai le alumini, u'amea e le pala, po'o le kuata fo'i, o masini fa'atino seramika SiC e ofoina atu le fa'atinoga e le mafaatusalia i totonu o potu e leai ni mea e fa'aogaina ai, potu mama, ma siosiomaga faigata o le fa'agasologa, ma avea ai ma vaega taua o le isi tupulaga o roboti e taulimaina ai le wafer. Fa'atasi ai ma le fa'atupula'ia o le mana'oga mo le gaosiga e aunoa ma le fa'aleagaina ma le fa'amalosia o le fa'aogaina o chipmaking, o le fa'aaogaina o masini fa'atino seramika ua vave ona avea ma tulaga fa'atonuina o le alamanuia.

Mataupu Faavae o le Gaosiga

O le fausiaina oFa'a'au'au Fa'ai'u Keramika SiCe aofia ai se faasologa o faiga e maualuga le sa'o ma le mama e fa'amautinoa ai le fa'atinoga ma le tumau. E lua faiga autu e masani ona fa'aaogaina:

Silicon Carbide Fa'apipi'i-Fesoasoani (RB-SiC)

I lenei faiga, o se preform e faia mai le pauta silicon carbide ma le binder e fa'asusuina i le silicon ua liusuavai i le vevela maualuga (~1500°C), lea e tali atu ma le carbon o totoe e fausia ai se SiC-Si composite mafiafia ma ma'a'a. O lenei metotia e ofoina atu ai le pulea lelei o le tele o fua ma e taugofie mo le gaosiga tele.

Silicon Carbide Sintered e leai se mamafa (SSiC)

E gaosia le SSiC e ala i le fa'asusuina o le pauta SiC e matua'i lelei lava ma mama i le vevela e matua'i maualuga lava (>2000°C) e aunoa ma le fa'aaogaina o ni fa'aopoopoga po'o se vaega e fusifusia ai. O lenei mea e maua ai se oloa e toetoe lava 100% le mafiafia ma le maualuga o meatotino fa'ainisinia ma le vevela e maua i mea SiC. E fetaui lelei mo fa'aoga taulima wafer e matua'i taua tele.

Fa'agasologa pe a uma

Masini CNC Sa'o: Ausia le maualuga o le lamolemole ma le tutusa.
Fa'auma o le Luga: O le fa'apulusaina o taimane e fa'aitiitia ai le ma'a'a o le fogā'ele'ele i le <0.02 µm.
Su'esu'egaO le optical interferometry, CMM, ma suʻega e lē faʻaleagaina e faʻaaogaina e faʻamaonia ai vaega taʻitasi.

O nei laasaga e faʻamautinoa ai leO le mea e fa'atino ai le pito i tua o le SiCe tu'uina atu ai le sa'o lelei o le tu'uina o le wafer, lelei tele le planarity, ma le la'ititi o le gaosiga o ni fasi mea.

Vaega Autū ma Fa'amanuiaga

Vaega	Fa'amatalaga
Faigata Maualuga Tele	Ma'a'a o Vickers > 2500 HV, e tete'e atu i le ofuina ma le masaesae.
Fa'alauteleina Maualalo o le Vevela	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, e mafai ai ona mautu le fua i le taamilosaga o le vevela.
Le gaoioi o vailaʻau	E tete'e i le HF, HCl, kasa plasma, ma isi mea e 'a'ai ai.
Tete'e Sili Ona Lelei i le Te'i Fa'avevela	Talafeagai mo le fa'avevela/fa'amālūlū vave i faiga e fa'amamā ai le ea ma le ogaumu.
Malosi ma le Mausali Maualuga	Lagolagoina lima uumi o tui e aunoa ma le pi'o.
Fa'aitiitia o le kasa	E lelei atoatoa mo siosiomaga e matuā maualuga le vacuum (UHV).
Sauni mo le Potu Mama Vasega 1 ISO	O le fa'agaoioiga e aunoa ma ni vaega e fa'amautinoa ai le tumau lelei o le wafer.

Talosaga

O le SiC Ceramic Fork Arm / End Effector e faʻaaogaina lautele i pisinisi e manaʻomia ai le saʻo atoatoa, mama, ma le teteʻe atu i vailaʻau faʻakemikolo. O faʻataʻitaʻiga autu o le faʻaaogaina e aofia ai:

Gaosiga o Semiconductor

La'uina/la'ueseina o le uamea i totonu o le fa'aputuga (CVD, PVD), etching (RIE, DRIE), ma faiga fa'amamā.
Fela'ua'iga o masini fa'arobotika i le va o FOUP, kaseti, ma meafaigaluega fa'agasologa.
Taulimaina o le vevela maualuga i le taimi o le fa'agasologa fa'avevela po'o le fa'amafanafana.

Gaosiga o le Sela Photovoltaic

Fela'ua'iga maaleale o apa silicon vaivai po'o mea e fa'aaogaina ai le la i laina otometi.

Alamanuia o le Fa'aaliga o le Laupapa Mafolafola (FPD)

Fesiita'iga o paneta tioata tetele po'o mea fa'apipi'i i totonu o siosiomaga gaosiga o le OLED/LCD.

Semiconductor tu'ufa'atasi / MEMS

Fa'aaogaina i laina gaosiga o GaN, SiC, ma MEMS lea e taua tele ai le puleaina o mea fa'aleagaina ma le sa'o o le tulaga.

O lona matafaioi i le fa'atinoina o galuega e matuā tāua tele i le fa'amautinoaina o le leai o ni fa'aletonu ma le mautu o le taulimaina i taimi o galuega fa'atino ma'ale'ale.

Tomai Fa'apitoa

Matou te ofoina atu le tele o fetuunaiga e fetaui ma manaoga eseese o meafaigaluega ma faagasologa:

Fuafuaga o le tui: Fa'atulagaga e lua mata, tele tamatamailima, po'o le vaeluaina o tulaga.
Fetaui'a'iga o le Tele o le WaferMai le 2” i le 12” wafers.
Feso'ota'iga Fa'apipi'i: E fetaui ma lima roboti OEM.
Fa'apalepale o le Mafiafia ma le Luga: E maua le lamolemole e tutusa ma le tulaga o le maikono ma le lapotopoto o pito.
Vaega e Tete'e ai i le Maseesee: E mafai ona fa'aogaina ni foliga vaaia po'o ni ufiufi e fa'amautinoa ai le mautu o le pipi'i fa'atasi.

Ta'itasimea e fa'agaoioi ai le pito seramikaua mamanuina faʻatasi ma tagata faʻatau e faʻamautinoa le fetaui lelei ma le laʻititi o suiga i meafaigaluega.

Fesili e Masani Ona Fesiligia (FAQ)

Q1: E faapefea ona sili atu le lelei o le SiC nai lo le kuata mo se fa'aoga end effector?
A1:E ui e masani ona fa'aaogaina le kuata ona o lona mama, ae e leai sona malosi fa'amekanika ma e faigofie ona gau pe a mamafa pe a te'i i le vevela. E ofoina atu e le SiC le malosi sili, tete'e atu i le ofuina, ma le mautu i le vevela, ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le taimi e le toe fa'aaogaina ai ma le fa'aleagaina o le wafer.

Q2: E fetaui ea lenei lima tui seramika ma masini fa'agaoioi wafer roboti uma?
A2:Ioe, o a matou keramika pito e fetaui ma le tele o faiga tetele o le taulimaina o le wafer ma e mafai ona fetuʻunaʻi i au faʻataʻitaʻiga roboti faʻapitoa faʻatasi ai ma ata faʻainisinia saʻo.

Q3: E mafai ona taulimaina ni wafers e 300 mm e aunoa ma le pi'o?
A3:Ioe lava. O le malosi tele o le SiC e mafai ai e lima manifinifi ma uumi o tui ona uuina ma le saogalemu ni uamea e 300 mm e aunoa ma le pa'u'ū pe feliuliua'i i le taimi o le gaioiga.

Q4: O le a le umi e masani ona i ai le umi e fa'aaoga ai se masini e fa'aaoga ai le SiC ceramic end effector?
A4:A faʻaaogā lelei, e mafai e le SiC end effector ona tumau mo le 5 i le 10 taimi e sili atu nai lo faʻataʻitaʻiga masani o le kuata poʻo le alumini, ona o lona teteʻe lelei tele i le vevela ma le faʻamasini.

Q5: E te ofoina atu ni sui po'o ni tautua fa'ata'ita'i vave?
A5:Ioe, matou te lagolagoina le gaosiga vave o faʻataʻitaʻiga ma ofoina atu tautua sui e faʻavae i luga o ata CAD poʻo vaega ua toe faʻafouina mai masini o loʻo iai nei.

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E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.