O le Silicon Carbide Ceramic Chuck mo le SiC sapphire Si GAAs Wafer

Fa'amatalaga Pupuu:

O le Silicon Carbide Ceramic Chuck o se fa'avae maualuga le fa'atinoga ua mamanuina mo le siakiina o semiconductor, gaosiga o wafer, ma fa'aoga fa'apipi'i. Fausia i mea seramika fa'aonaponei—e aofia ai le sintered SiC (SSiC), reaction-bonded SiC (RSiC), silicon nitride, ma le alumini nitride—e ofoina atu le maualuga o le malosi, maualalo le fa'alauteleina o le vevela, tete'e lelei i le ofuina, ma le umi o le ola tautua.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Aotelega o le Silicon Carbide (SiC) Ceramic Chuck

O leChuck Seramika Silicon Carbideo se fa'avae maualuga le fa'atinoga ua mamanuina mo le siakiina o semiconductor, gaosiga o wafer, ma fa'aoga fa'apipi'i. Fausia i mea seramika fa'aonaponei—e aofia aiSiC fa'asolo (SSiC), SiC e pipii fa'atasi ma le tali (RSiC), silicon nitride, maalumini nitride—e ofoina atumaualuga le ma'a'a, maualalo le fa'alauteleina o le vevela, tete'e lelei i le ofuina, ma umi le ola tautua.

Faatasi ai ma le inisinia sa'o ma le fa'apulusaina fa'aonaponei, e tu'uina atu e le chuck le avanoale lamolemole e pei o le micron, foliga e pei o le fa'ata, ma le mautu o le fua i se taimi umi, ma avea ai ma fofo sili ona lelei mo faiga taua o semiconductor.

Fa'amanuiaga Autu

Maualuga le Sa'o
Pulea le lamolemole i totonu0.3–0.5 μm, ma fa'amautinoa ai le mautu o le wafer ma le sa'o lelei o le fa'agasologa.
Fa'a'a'a'a o le Fa'ata
AusiaRa 0.02 μmfa'aitiitia ai le ma'ale'ale o le fogā'ele'ele, fa'aitiitia ai le maosi o le apa ma le pisia—e fetaui lelei mo siosiomaga e matua'i mamā lava.
Mama tele
E sili atu le malosi ae mama nai lo le kuata po'o mea u'amea, e fa'aleleia atili ai le pulea o gaioiga, tali vave, ma le sa'o o le tulaga.
Malosi Maualuga
O le modulus a le Exceptional Young e faʻamautinoa ai le mautu o le fua i lalo o avega mamafa ma le faʻagaioiga maualuga i le saoasaoa.
Fa'alauteleina Maualalo o le Vevela
E fetaui lelei le CTE ma silicon wafers, e faʻaitiitia ai le atuatuvalega i le vevela ma faʻaleleia atili ai le faʻatuatuaina o le faagasologa.
Tete'e Mata'ina i le Ofu
O le ma'a'a tele e puipuia ai le lamolemole ma le sa'o e tusa lava pe fa'aaogaina i se taimi umi ma maualuga.

Faiga o le Gaosiga

Sauniuniga o Mea Mata
Pauta SiC mama maualuga ma le tele o fasi vaega e pulea lelei ma mea leaga e matua maualalo lava.
Fausiaina ma Fa'asu'iina
O metotia e pei osintering e aunoa ma se mamafa (SSiC) or fusifusia o le tali atu (RSiC)gaosia ni mea fa'a-seramika mafiafia ma tutusa.
Masini Sa'o
O le oloina o le CNC, teuteuina o le laser, ma le masini sa'o atoatoa e ausia ai le ±0.01 mm le faapalepale ma le ≤3 μm parallelism.
Togafitiga o luga
O le oloina ma le fa'apulusina i le tele o vaega i le Ra 0.02 μm; o vali fa'aopoopo e maua mo le tete'e atu i le 'ele po'o uiga fa'apitoa e tete'e atu ai i le fe'ese'esea'iga.
Su'esu'ega ma le Puleaina o le Tulaga Lelei
E fa'amaonia e interferometers ma roughness testers le tausisia o fa'atonuga o le semiconductor grade.

Fa'amatalaga Fa'apitoa

Fa'atulagaga	Taua	Iunite
Mafolafola	≤0.5	μm
Lapopo'a o le uamea	6'', 8'', 12'' (e maua pe a fa'apitoa)	—
Ituaiga o luga	Ituaiga pine / Ituaiga mama	—
Maualuga o le pine	0.05–0.2	mm
Lapo'a maualalo o le pine	ϕ0.2	mm
Vaeluaga la'ititi o pine	3	mm
Laʻititi le lautele o le mama faʻamaufaʻailoga	0.7	mm
Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele	Ra 0.02	μm
Fa'apalepale i le mafiafia	±0.01	mm
Fa'apalepale i le lautele	±0.01	mm
Fa'apalepale tutusa	≤3	μm

Talosaga Autu

Meafaigaluega e siaki ai le semiconductor wafer
Faiga o le gaosiga ma le fesiitaiga o le wafer
Meafaigaluega e fa'apipi'i ma afifi ai le wafer
Gaosiga o masini optoelektronika fa'atekonolosi
Meafaigaluega sa'o e mana'omia ai ni luga e matua mafolafola ma mama tele

Fesili ma Tali – Chuck Seramika Silicon Carbide

Q1: E fa'apefea ona fa'atusatusa chucks seramika SiC ma chucks kuata po'o u'amea?
A1: E mama, e malō, ma e latalata le CTE o SiC i silicon wafers, e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le vevela. E ofoina atu fo'i le tete'e sili atu i le ofuina ma le umi o le ola.

Q2: O le ā le lamolemole e mafai ona ausia?
A2: Pulea i totonu0.3–0.5 μm, fa'afetaia'ia ai mana'oga faigata o le gaosiga o semiconductor.

Q3: E valu ea e le fogāeleele ni fasi falaoa?
A3: Leai—fa'apupulaina fa'ata eRa 0.02 μm, ma fa'amautinoa ai le taulimaina e aunoa ma le valu ma le fa'aitiitia o le gaosiga o ni fasi mea laiti.

Q4: O a lapopo'a o le wafer e lagolagoina?
A4: Tele masani o6'', 8'', ma le 12'', faatasi ai ma le avanoa e mafai ona fetu'una'i ai.

Q5: E fa'apefea le tete'e atu i le vevela?
A5: E tu'uina atu e keramika SiC le fa'atinoga sili ona lelei i le vevela maualuga ma le la'ititi o le fa'aleagaina i lalo o le ta'amilosaga fa'avevela.

Faatatau ia tatou

E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.