Paipa Ogaumu Fa'alava Silicon Carbide (SiC)

Fa'amatalaga Pupuu:

O le Silicon Carbide (SiC) Horizontal Furnace Tube e avea ma potu autu o le faagasologa ma le tuaoi o le mamafa mo tali atu i le vevela maualuga o le kesi ma togafitiga vevela e faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductor, gaosiga o le photovoltaic, ma le gaosiga o meafaitino faʻapitoa.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Tulaga o Oloa ma le Tau o le Fa'atauina

O lenei paipa ua mamanuina i se fausaga SiC e tasi le fasi, ua gaosia i ni fa'aopoopoga fa'atasi ai ma se vaega puipui CVD-SiC mafiafia, e maua ai le fa'avevela lelei tele, itiiti le fa'aleagaina, malosi le fa'amaoni fa'amekanika, ma le tete'e atu i vaila'au fa'akemikolo.
O lona mamanu e fa'amautinoa ai le tutusa lelei o le vevela, fa'alauteleina o vaitaimi e fa'aaoga ai, ma le mautu o le fa'agaoioiga mo se taimi umi.

Fa'amanuiaga Autū

Fa'aleleia atili le tumau o le vevela o le masini, le mama, ma le aoga atoa o le masini (OEE).
Fa'aitiitia ai le taimi e le fa'amamā ai ma fa'aumiumi ai ta'amilosaga o le suiina, ma fa'aitiitia ai le tau atoa o le umiaina (TCO).
E maua ai se potu e umi lona ola e mafai ona taulimaina ai vaila'au fa'a'okesaita e tele i le vevela maualuga ma le chlorine ma le lamatiaga la'ititi.

Siosiomaga Fa'atatau & Fa'amalama Fa'agasologa

Kasa tali atuokesene (O₂) ma isi fa'afefiloi fa'a'okesene
Kasa feavea'i/puipui: naitorosene (N₂) ma kasa e matuā mama lava e le gaoioi
Ituaiga e fetaui: kasa e iai le chlorine (e pulea e le fua le fa'aputuga ma le taimi e nofo ai)

Faiga Masani: fa'ama'a'aina mago/susu, fa'amafanafana, fa'asalalauina, fa'aputuga LPCVD/CVD, fa'agaoioia o luga, fa'apasivaina o le photovoltaic, tuputupu a'e o le ata manifinifi, fa'akalaponi, fa'a'aisa, ma isi mea.

Tuutuuga o Galuega

Vevela: vevela o le potu e oo atu i le 1250 °C (fa'ataga le 10–15% o le saogalemu e fuafua i le mamanu o le masini fa'avevela ma le ΔT)
Mamafa: mai le mamafa maualalo/LPCVD tulaga o le vacuum i le mamafa e lata i le ea lelei (fa'amatalaga mulimuli mo fa'atauga ta'itasi)

Meafaitino & Fa'atulagaga Fa'avae

Tino SiC Monolithic (Fa'aopoopoga Gaosiga)

β-SiC maualuga le mafiafia po'o le SiC tele-vaega, fausia o se vaega e tasi—leai ni so'oga po'o ni su'iga ua fa'apipi'i e ono tafe pe mafua ai ni vaega o le atuatuvale.
O le maualuga o le fa'avevela e mafai ai ona vave tali atu i le vevela ma lelei ai le tutusa o le vevela axial/radial.
O le fua fa'atatau mautu o le fa'alauteleina o le vevela (CTE) e fa'amautinoa ai le mautu o le fua ma fa'amaufa'ailoga fa'atuatuaina i le vevela maualuga.

Ufiufi Galuega CVD SiC

Ua fa'aputuina i totonu lava, matuā mama (mea leaga o luga/ufi < 5 ppm) e taofia ai le fa'atupuina o ni fasi mea ma le fa'asa'olotoina o ion u'amea.
E matuā lelei le lē gaoioi o vaila'au e tete'e atu ai i kasa fa'a'o'ona ma kasa e iai le chlorine, e puipuia ai le osofa'ia o puipui po'o le toe fa'aputuina.
Filifiliga mafiafia faapitoa mo sone e paleni ai le tete'e atu i le 'ele ma le tali atu i le vevela.

Fa'amanuiaga Tu'ufa'atasiO le tino malosi o le SiC e maua ai le malosi o le fausaga ma le tafe atu o le vevela, ae o le vaega CVD e faʻamautinoa ai le mama ma le teteʻe atu i le ele mo le faʻatuatuaina maualuga ma le gaosiga.

Sini Autū o le Fa'atinoga

Vevela fa'aauau pea ona fa'aaoga:≤ 1250 °C
Mea leaga o le substrate tele:< 300 ppm
Mea leaga o luga o le CVD-SiC:< 5 ppm
Fa'apalepale o fua: OD ±0.3–0.5 mm; coaxiality ≤ 0.3 mm/m (e maua ni fa'amau fa'apitoa)
Ma'a'a o le puipui i totonu: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (fa'apala pe fa'auma e lata i le fa'ata e filifili)
Fua faatatau o le tafe o le helium: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Onosa'i i le vevela ma le te'i: e sao mai le toe fa'asolosolo o le vevela/malulu e aunoa ma le māvaevae po'o le fe'avea'i
Fa'apotopotoga o le potu mama: Vasega ISO 5–6 fa'atasi ai ma tulaga fa'amaonia o toega o le vaega/u'amea-ion

Fa'atulagaga ma Filifiliga

Fa'afanua: OD 50–400 mm (tele atu e ala i le iloiloga) ma le fausaga umi e tasi le vaega; mafiafia o le puipui ua fa'alelei mo le malosi fa'amekanika, mamafa, ma le tafega o le vevela.
Fuafuaga fa'ai'u: flanges, gutu o le logo, bayonet, mama fa'atulaga, alavai O-ring, ma pu pamu fa'apitoa po'o pu fa'apipi'i mamafa.
Uafu fa'atino: auala e fafaga ai le thermocouple, nofoa tioata va'ai, auala e ulufale ai le kesi—o nei mea uma ua mamanuina mo le fa'agaoioiga i le vevela maualuga ma le le tafe.
Fuafuaga ufiufi: puipui i totonu (e masani ona faia), puipui i fafo, po'o le ufiufi atoa; puipuiga fa'apitoa po'o le mafiafia fa'avasegaina mo vaega e tele ai le a'afiaga.
Togafitiga ma le mamā o le fogāeleele: tele ituaiga o le ma'a'a, fa'amamāina o le ultrasonic/DI, ma faiga fa'apitoa mo le tao/fa'amago.
Mea Fa'aopoopo: u'amea e fai i le karapite/seramika/u'amea, fa'amaufa'ailoga, mea e su'e ai, lima e taulimaina ai, ma moega e teu ai mea.

Fa'atusatusaga o le Fa'atinoga

Meti	Paipa SiC	Paipa Kuata	Paipa Alumina	Paipa kalafi
Fa'avevela o le eletise	Maualuga, tutusa	Maualalo	Maualalo	Maualuga
Malosiaga/totoe i le vevela maualuga	Sili ona lelei	Fetaui	Lelei	Lelei (e maaleale i le oxidation)
Te'i vevela	Sili ona lelei	Vaivai	Feololo	Sili ona lelei
Mamā / ion u'amea	Sili ona lelei (maualalo)	Feololo	Feololo	Mativa
Okisitini ma le kemisi o le Cl	Sili ona lelei	Fetaui	Lelei	Le lelei (fa'a'okesa)
Tau vs. umi o le tautua	Ola feololo / umi	Maualalo / pu'upu'u	Feololo / feololo	Feololo / fa'atapula'aina i le siosiomaga

Fesili e Masani Ona Fesiligia (FAQ)

F1. Aiseā e filifili ai se tino SiC monolithic ua lolomiina 3D?
A. E aveese ai so'oga ma u'amea e mafai ona tafe pe fa'apipi'i ai le mamafa, ma lagolagoina ai foliga faigata ma le sa'o tutusa o fua.

F2. E tete'e atu ea le SiC i kasa e iai le chlorine?
A. Ioe. E matuā lē gaoioi le CVD-SiC i totonu o tapula'a o le vevela ma le mamafa ua fa'amaoti mai. Mo nofoaga e tele aafiaga, e fautuaina le fa'apipi'iina o ni ufiufi mafiafia i se nofoaga ma ni faiga malolosi e fa'amamā ai/fa'amamā ai otaota.

F3. E faapefea ona sili atu lona lelei nai lo paipa kuata?
A. E umi atu le ola tautua a le SiC, sili atu le tutusa o le vevela, maualalo le pisia o vaega/u'amea-ion, ma fa'aleleia atili le TCO—aemaise lava i tala atu o le ~900 °C po'o le ea fa'a'okesaita/fa'a-chlorinated.

F4. E mafai e le paipa ona tatalia le fa'ateleina vave o le vevela?
A. Ioe, pe afai e tausisia taiala maualuga o le ΔT ma le fua faatatau o le saoasaoa. O le faapipiiina o se tino SiC maualuga-κ ma se vaega manifinifi o le CVD e lagolagoina ai suiga vave o le vevela.

F5. O afea e manaʻomia ai le sui?
A. Toe sui le paipa pe afai e te iloa ni māvaevae i le flange po'o le pito, ni lua po'o ni fevaevaea'iga o le ufiufi, fa'ateleina o le saoasaoa o le tafe, tele o le fe'avea'i o le vevela, po'o le fa'atupuina o ni fasi mea e le masani ai.

Faatatau ia tatou

E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.