Masini Fa'apipi'i Silikon ua Ufiufi i le U'amea Ti/Cu (Titanium/Kopa)

Ata Fa'apitoa o le Ti/Cu Metal-Coated Silicon Wafer (Titanium/Copper)

Fa'amatalaga Pupuu:

O la matouWafer silicon ua ufiufi i le u'amea Ti/Cuo lo'o i ai se silicon maualuga le lelei (pe filifili tioata/quartz) ua ufiufi i sevaega pipii o le titaniumma sevaega fa'aeletise kopafa'aaogāinafa'asolosolo masani o le magnetron. O le vaega Ti e fa'aleleia atili ai le pipii ma le mautu o le faagasologa, ae o le vaega pito i luga o le Cu e ofoina atu se foliga e maualalo le tete'e, e tutusa lelei mo le feso'ota'iga eletise ma le microfabrication i lalo.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Masini Ufi Silikon Ufiufi i le U'amea Ti/Cu (Titanium/Kopa)6

Aotelega

Ua mamanuina mo suʻesuʻega ma faʻaoga faʻataʻitaʻi, o nei wafers e maua i le tele o lapopoʻa ma le tele o vaega o le resistivity, faʻatasi ai ma le fetuʻunaʻiga fetuʻunaʻi mo le mafiafia, ituaiga o substrate, ma le faʻatulagaga o le ufiufi.

Vaega Autū

Pipii malosi ma le fa'atuatuaina: O le vaega e fusifusia ai le Ti e faʻaleleia atili ai le pipii atu o le ata tifaga i le Si/SiO₂ ma faʻaleleia atili ai le malosi o le taulimaina
Ogaumu maualuga o le conductivity: O le ufiufi Cu e maua ai le faʻatinoga eletise sili ona lelei mo fesoʻotaʻiga ma fausaga faʻataʻitaʻi
Lautele le tele o fa'atulagaga fa'apitoa: tele o le wafer, resistivity, orientation, mafiafia o le substrate, ma le mafiafia o le ata tifaga e maua pe a talosagaina
Mea fa'avae ua sauni mo le fa'agasologa: e fetaui ma galuega masani a le fale suʻesuʻe ma le fale gaosi (lithography, electroplating build-up, metrology, ma isi mea faapena)
O lo'o maua le fa'asologa o meafaitino: e ese mai i le Ti/Cu, matou te ofoina atu fo'i ni apa u'amea ua ufiufi i le Au, Pt, Al, Ni, Ag

Fausaga Masani ma le Tuufaatasiga

Faaputuga: Mea fa'apipi'i + vaega fa'apipi'i Ti + vaega ufiufi Cu
Faiga masani: Fa'aoso o le Magnetron
Faiga fa'aopoopo: Fa'amamago fa'avevela / Fa'apalapala eletise (mo mana'oga mo le Cu mafiafia)

Uiga Fa'amekanika o le Tioata Kuata

Mea	Filifiliga
Tele o le uamea	2", 4", 6", 8"; 10×10 mm; lapopo'a tipi fa'apitoa
Ituaiga o le fa'atinoina o amioga	Ituaiga-P / Ituaiga-N / Tete'e maualuga i totonu (Un)
Fa'asinomaga	<100>, <111>, ma isi.
Tete'e	<0.0015 Ω·cm; 1–10 Ω·cm; >1000–10000 Ω·cm
Mafiafia (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; fa'apitoa
Meafaitino o le substrate	Silikoni; kuata e filifili, tioata BF33, ma isi.
Mafiafia o le ata tifaga	10 nm / 50 nm / 100 nm / 150 nm / 300 nm / 500 nm / 1 µm (e mafai ona fetu'una'i)
Filifiliga o ata tifaga u'amea	Ti/Cu; ma Au, Pt, Al, Ni, Ag avanoa

Masini Ufi Silikon Ufiufi i le U'amea Ti/Cu (Titanium/Kopa)4

Talosaga

Feso'ota'iga Ohmic & substrates conductivemo suʻesuʻega ma atinaʻe o masini ma suʻega eletise
Vaega fatu mo le fa'apipi'iina i le eletise(RDL, fausaga MEMS, faaputuputuga mafiafia o le Cu)
Sol-gel ma mea e fa'atupu ai le tuputupu a'e o nanomaterialsmo suʻesuʻega nano ma ata manifinifi
Maikroskopi ma fua fa'atatau o luga(Sauniuniga ma le fuaina o faʻataʻitaʻiga SEM/AFM/SPM)
O luga o meaola/kemikoloe pei o fausaga o le totoina o sela, porotini/DNA microarrays, ma substrates reflectometry

FAQ (Ti/Cu uamea fa'a'u'u fa'asala Silicon Wafers)

Q1: Aiseā e faʻaaogaina ai le vaega Ti i lalo o le ufiufi Cu?
A: E galue le Titanium o sevaega pipii (fa'apipi'i), fa'aleleia atili ai le fa'apipi'iina o le 'apamemea i le mea fa'avae ma fa'aleleia atili ai le mautu o le va'aiga, lea e fesoasoani e fa'aitiitia ai le ma'e'e po'o le vavae'eseina i le taimi o le taulimaina ma le fa'agasologaina.

Q2: O le ā le faatulagaga masani o le mafiafia o le Ti/Cu?
A: O tuufaatasiga masani e aofia aiTi: sefulu o nm (e pei o le 10–50 nm)maCu: 50–300 nmmo ata tifaga ua fe'avea'i. O vaega Cu mafiafia (µm-level) e masani ona ausia e ala ifa'apipi'iina i le eletise i luga o se vaega fatu Cu ua fa'apupulaina, e fuafua i lau talosaga.

Q3: E mafai ona e ufiufi itu uma e lua o le apa?
Ioe.Ufiufi itu e tasi pe itu e luae maua pe a talosagaina. Fa'amolemole fa'ailoa mai ou mana'oga pe a e faia lau oka.

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E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.