Faiga Fa'atulagaina o le Wafer mo le Fuaina o le Fa'atulagaina o le Crystal
Fa'atomuaga o Meafaigaluega
O meafaigaluega e fa'atulagaina ai le wafer o masini sa'o ia e fa'avae i luga o mataupu fa'avae o le X-ray diffraction (XRD), e fa'aaogaina tele i le gaosiga o semiconductor, mea opitika, seramika, ma isi alamanuia o mea tioata.
O nei meafaigaluega e fuafua ai le fa'atulagaina o le crystal lattice ma ta'ita'ia ai le sa'o o le tipiina po'o le fa'apulusaina o faiga. O vaega autū e aofia ai:
- Fuaina sa'o maualuga:E mafai ona fo'ia ni va'aiga tioata ma ni fa'ai'uga tulimanu e o'o atu i le 0.001°.
- Fetuutuuna'iga tele o fa'ata'ita'iga:E lagolagoina ni wafers e oo atu i le 450 mm le lautele ma le mamafa e oo atu i le 30 kg, e talafeagai mo mea e pei o le silicon carbide (SiC), safaira, ma le silicon (Si).
- Fuafuaga fa'apitoa:O galuega faatino e mafai ona fa'alauteleina e aofia ai le au'ili'iliga o le pi'o e lūlūina ai, le fa'afanua o mea sese i luga o le 3D, ma masini e fa'aputu ai mo le fa'agasologa o le tele o fa'ata'ita'iga.
Fa'atulagaga Fa'atekinolosi Autū
| Vaega o le Parakalafa | Tulaga Fa'atauaina/Fa'atulagaga Masani |
| Punaoa o le X-ray | Cu-Kα (0.4×1 mm le vaega taula'i), 30 kV voltage fa'avavevave, 0–5 mA le tafe o le paipa e mafai ona fetu'una'i |
| Lautele o le Angular | θ: -10° i le +50°; 2θ: -10° i le +100° |
| Sa'o | Fa'ai'uga o le tulimanu fa'asaga: 0.001°, iloa o mea sese i luga: ±30 arcseconds (pi'o lūlū) |
| Saosaoa o le Su'esu'eina | E fa'amae'a e le su'esu'ega a le Omega le fa'atulagaina atoa o le lattice i le 5 sekone; E tusa ma le 1 minute le umi o le su'esu'ega a le Theta. |
| Vaega Fa'ata'ita'i | V-groove, pneumatic suction, multi-angle rotation, fetaui ma wafers 2–8-inisi |
| Galuega Fa'alautele | Su'esu'ega o le pi'o lūlū, fa'afanua 3D, masini fa'aputu, iloa o fa'aletonu opitika (maosi, GBs) |
Mataupu Faavae o le Galuega
1. Fa'avae o le X-ray Diffraction
- E fegalegaleai ave-X ma nuclei atomika ma eletise i totonu o le crystal lattice, ma fa'atupuina ai mamanu diffraction. O le Tulafono a Bragg (nλ = 2d sinθ) e pulea ai le sootaga i le va o diffraction angles (θ) ma le lattice spacing (d).
E pu'eina e masini su'e nei mamanu, ona su'esu'eina lea e toe fausia ai le fausaga fa'ama'i tioata.
2. Tekonolosi Siakiina a Omega
- E feliuliuaʻi pea lava pea le tioata i se laina mautu aʻo faʻamalamalamaina e ave o X-ray.
- E aoina e masini su'e fa'ailoilo o le diffraction i luga o le tele o va'alele tioata, ma mafai ai ona fuafua atoatoa le fa'atulagaga o le lattice i le 5 sekone.
3. Su'esu'ega o le Pi'o Luelue
- O le tulimanu tumau o le tioata ma tulimanu eseese o le X-ray e fua ai le lautele o le tumutumu (FWHM), iloilo ai fa'aletonu o le lattice ma le strain.
4. Pulea Fa'aautomatika
- O feso'ota'iga PLC ma le touchscreen e mafai ai ona setiina muamua tulimanu tipi, fa'amatalaga i le taimi moni, ma le tu'ufa'atasia ma masini tipi mo le puleaina fa'atapula'a.
Fa'amanuiaga ma Vaega
1. Sa'o ma Lelei
- Sa'o le tulimanu ±0.001°, iugafono o le iloa o fa'aletonu <30 arcseconds.
- E 200x le saoasaoa o le su'esu'ega Omega nai lo su'esu'ega Theta masani.
2. Fa'a'ese'esega ma le Fa'ateleina
- E mafai ona fa'alauteleina mo fa'aoga fa'apitoa (e pei o, SiC wafers, turbine blades).
- E feso'ota'i ma polokalama MES mo le mata'ituina o le gaosiga i le taimi moni.
3. Fegalegaleaiga ma le Mausali
- E fa'aogaina ai fa'ata'ita'iga e le tutusa foliga (e pei o polo safaira ua gau).
- O le mamanu e fa'amālūlūina i le ea e fa'aitiitia ai le mana'omia o tausiga.
4. Fa'agaioiga Atamai
- Fa'atulagaina i le kiliki e tasi ma le fa'agasologa o galuega e tele.
- Fa'atulagaina otometi ma tioata fa'asino e fa'aitiitia ai mea sese a tagata.
Talosaga
1. Gaosiga o Semiconductor
- Fa'atulagaga o le tipiina o le wafer: Fuafuaina ai fa'atulagaga o le wafer Si, SiC, GaN mo le fa'aleleia atili o le lelei o le tipiina.
- Fa'afanua o mea sese: Fa'ailoa mai ai ni maosi po'o ni se'e o le fogā'ele'ele e fa'aleleia atili ai le maua mai o ni fasi pepa.
2. Meafaitino Va'ai
- O tioata e lē laina sa'o (e pei o le LBO, BBO) mo masini laser.
- Fa'ailoga o le luga fa'asino i le safaira mo mea fa'avae LED.
3. Omea ma Mea Fa'apipi'i
- Iloiloina le tulaga o le fatu i le Si3N4 ma le ZrO2 mo faʻaoga i le vevela maualuga.
4. Suesuega ma le Puleaina o le Tulaga Lelei
- Iunivesite/fale su'esu'e mo le atina'eina o meafaitino fou (e pei o, 'au'aunaga e maualuga le entropy).
- QC fa'apisinisi e fa'amautinoa ai le tutusa o le tele o vaega.
Auaunaga a le XKH
E ofoina atu e le XKH le lagolago fa'apitoa atoatoa mo meafaigaluega e fa'atulagaina ai le wafer, e aofia ai le fa'apipi'iina, fa'aleleia atili o fa'asologa o le fa'agasologa, su'esu'ega o le pi'o o le lūlūina, ma le fa'afanua o mea sese i luga o le 3D. O fofo fa'apitoa (e pei o le tekonolosi o le fa'aputuina o ingot) e tu'uina atu e fa'aleleia atili ai le lelei o le gaosiga o mea semiconductor ma mea opitika e silia ma le 30%. O se 'au tuuto e fa'atinoina a'oa'oga i luga o le nofoaga, a'o le lagolago mamao 24/7 ma le vave suia o vaega fa'asao e fa'amautinoa ai le fa'atuatuaina o meafaigaluega.
