Meafaigaluega Fa'amama Wafer mo le Fa'agasologaina o Wafers Sapphire/SiC/Si e 4 Inisi-12 Inisi

Fa'amatalaga Pupuu:

O le Wafer Thinning Meafaigaluega o se meafaigaluega taua tele i le gaosiga o semiconductor mo le faʻaitiitia o le mafiafia o le wafer e faʻaleleia atili ai le puleaina o le vevela, faʻatinoga eletise, ma le lelei o le afifiina. O lenei meafaigaluega e faʻaaogaina ai le oloina faʻamasini, faʻapalapala faʻamasini vailaʻau (CMP), ma tekinolosi eli mago/susu e ausia ai le puleaina saʻo o le mafiafia (±0.1 μm) ma le fetaui ma wafer e 4–12-inisi. O a matou polokalama e lagolagoina le faʻatulagaina o le C/A-plane ma ua faʻapitoa mo faʻaoga faʻapitoa e pei o le 3D ICs, masini eletise (IGBT/MOSFETs), ma masini MEMS.

E tuʻuina atu e le XKH ni fofo atoatoa, e aofia ai meafaigaluega faʻapitoa (faʻagasologa o le wafer 2–12-inisi), faʻaleleia atili o le faʻagasologa (mafiafia o mea sese <100/cm²), ma aʻoaʻoga faʻapitoa.


Fa'aaliga

Mataupu Faavae o le Galuega

O le faagasologa o le fa'amamago o le wafer e fa'atinoina i ni vaega se tolu:
Olo Fa'ama'a'a: O se uili taimane (tele o le oneone 200–500 μm) e aveese ai le 50–150 μm o meafaitino i le 3000–5000 rpm e fa'aitiitia vave ai le mafiafia.
Olo Lelei: O se uili e sili atu ona lelei (tele o le oneone 1–50 μm) e fa'aitiitia ai le mafiafia i le 20–50 μm i le <1 μm/s e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le eleele i lalo.
Fa'apupulaina (CMP): E aveese e le slurry fa'akemikolo-fa'amekanika mea leaga o totoe, ma maua ai le Ra <0.1 nm.

Meafaitino Fetaui

Silikoni (Si): Tulaga masani mo wafers CMOS, fa'amama i le 25 μm mo le fa'aputuga 3D.
Silicon Carbide (SiC): Mana'omia ni uili taimane fa'apitoa (80% le malosi o taimane) mo le mautu o le vevela.
Safaira (Al₂O₃): Fa'a'ese'ese i le 50 μm mo fa'aoga UV LED.

Vaega Autu o le Faiga

​1. Faiga olo​​
​​Dual-Axis Grinder: E tu'ufa'atasia ai le oloina mafiafia/lelei i totonu o le fa'avae e tasi, e fa'aitiitia ai le taimi o le ta'amilosaga e 40%.
​​Aerostatic Spindle: 0–6000 rpm le saoasaoa ma le <0.5 μm radial runout.

2. Faiga Taulimaina o le Wafer
​​Vacuum Chuck: >50 N le malosi e taofi ai ma le ±0.1 μm le sa'o o le tulaga.
​​Aao Fa'a-Robot: E feavea'i ai ni apameme e 4–12-inisi le lautele i le saoasaoa o le 100 mm/s.

​​3. Faiga Pulea
​​Fa'afeso'ota'iga Fa'alava Laser: Mata'ituina o le mafiafia i le taimi moni (resolution 0.01 μm).
​​AI-Driven Feedforward: Vavalo le ofuina o uili ma fetu'una'i otometi lava tulaga fa'atonutonu.

​​4. Fa'amālūlūina ma le Fa'amamāina
​​Fa'amamāina o le Ultrasonic: Ave'ese vaega ninii e >0.5 μm ma le 99.9% le lelei.
​​Vai Fa'amamāina: E fa'amālūlūina le apa i le <5°C nai lo le siosiomaga.

Fa'amanuiaga Autū

​1. Sa'o Maualuga Tele: TTV (Fesuia'iga o le Mafiafia Atoa) <0.5 μm, WTW (Fesuia'iga o le Mafiafia i Totonu o le Wafer) <1 μm.

​​2. Tuufaatasia o Faiga e Tele: Tuufaatasia le oloina, CMP, ma le plasma etching i totonu o le masini e tasi.

3. Fegalegaleaiga o Meafaitino:
​​Silicon: Fa'aitiitia le mafiafia mai le 775 μm i le 25 μm.
​​SiC: Ausia le <2 μm TTV mo talosaga RF.
​​Wafers Fa'aopoopo: Wafers InP fa'aopoopo i le Phosphorus ma le <5% resistivity drift.

4. Smart Automation: O le feso'ota'iga MES e fa'aitiitia ai mea sese a tagata i le 70%.

​​5. Fa'aaogāina Lelei o le Malosiaga: 30% fa'aitiitia le fa'aaogāina o le eletise e ala i le toe fa'afo'isia o le taofi.

Fa'aoga Autu

1. Afifiina Fa'atekonolosi
• IC 3D: O le fa'aitiitia o le wafer e mafai ai ona fa'aputu fa'atulagaina o chips logic/memory (e pei o HBM stacks), ma ausia ai le 10× bandwidth maualuga atu ma le 50% fa'aitiitia le fa'aaogaina o le eletise pe a fa'atusatusa i fofo 2.5D. E lagolagoina e le masini le hybrid bonding ma le TSV (Through-Silicon Via) integration, e taua tele mo AI/ML processors e mana'omia le <10 μm interconnect pitch. Mo se fa'ata'ita'iga, o wafers 12-inisi ua fa'aitiitia i le 25 μm e mafai ai ona fa'aputu 8+ vaega a'o fa'atumauina pea le <1.5% warpage, e taua tele mo masini LiDAR i ta'avale.

• Afifiina e ala i le Fan-Out: I le fa'aitiitia o le mafiafia o le wafer i le 30 μm, e fa'apu'upu'uina ai le umi o feso'ota'iga i le 50%, e fa'aitiitia ai le tuai o le fa'ailo (<0.2 ps/mm) ma fa'ataga ai ni chiplets manifinifi e 0.4 mm mo SoC feavea'i. O le faiga e fa'aaogaina ai algorithms olo e tauia e le atuatuvale e puipuia ai le warpage (pulea o le TTV>50 μm), ma fa'amautinoa ai le fa'atuatuaina i fa'aoga RF maualuga.

2. Eletise Malosiaga
• IGBT Modules: O le fa'amamago i le 50 μm e fa'aitiitia ai le tete'e atu i le vevela i le <0.5°C/W, ma mafai ai e 1200V SiC MOSFET ona fa'agaoioia i le vevela o le junction e 200°C. O a matou masini e fa'aaogaina le oloina o le tele o vaega (coarse: 46 μm grit → fine: 4 μm grit) e fa'aumatia ai le fa'aleagaina o le eleele i lalo, ma ausia ai le >10,000 ta'amilosaga o le fa'atuatuaina o le ta'amilosaga vevela. E taua tele lenei mea mo EV inverters, lea e fa'aleleia ai e le 10 μm-m-mafiafia SiC wafers le saoasaoa o le fesuia'iga i le 30%.
• Masini Fa'aeletise GaN-on-SiC: O le fa'aitiitia o le fa'amama o le Wafer i le 80 μm e fa'aleleia atili ai le fe'avea'i o le eletise (μ > 2000 cm²/V·s) mo le 650V GaN HEMTs, ma fa'aitiitia ai le gau o le fa'aosofiaga e 18%. O le faiga e fa'aogaina ai le tipiina e fesoasoani i le laser e puipuia ai le māvaevae i le taimi o le fa'amama, ma maua ai le <5 μm edge chipping mo RF power amplifiers.

3. Optoelectronics
• GaN-on-SiC LEDs: O le 50 μm sapphire substrates e faʻaleleia atili ai le lelei o le faʻamamago o le malamalama (LEE) i le 85% (e faʻatusatusa i le 65% mo wafers 150 μm) e ala i le faʻaitiitia o le photon trapping. O le pulea maualalo tele o le TTV a a matou meafaigaluega (<0.3 μm) e faʻamautinoa ai le tutusa o le faʻasalalauina o le LED i wafers e 12-inisi, e taua tele mo faʻaaliga Micro-LED e manaʻomia ai le tutusa o le wavelength <100nm.
• Silicon Photonics: O le 25μm-m-mafiafia o le silicon wafers e mafai ai ona fa'aitiitia le 3 dB/cm o le fa'asalalauina o le eletise i totonu o waveguides, e taua mo le 1.6 Tbps optical transceivers. O le faiga e fa'apipi'i ai le CMP smoothing e fa'aitiitia ai le roughness o le fogaeleele i le Ra <0.1 nm, fa'aleleia atili ai le lelei o le coupling e 40%.

4. Sene MEMS
• Accelerometers: O wafers silicon e 25 μm e ausia le SNR >85 dB (e fa'atusatusa i le 75 dB mo wafers e 50 μm) e ala i le fa'ateleina o le maaleale o le fa'agasologa o le mamafa o le mea e fa'amaonia. O la matou faiga olo e lua-axis e tauia ai le fa'agasologa o le mamafa, ma fa'amautinoa ai le <0.5% o le maaleale o le fa'agasologa i luga atu o le -40°C i le 125°C. O fa'aoga e aofia ai le iloa o fa'alavelave tau ta'avale ma le siakiina o gaioiga AR/VR.

• Sensors o le Mamafa: O le fa'amamago i le 40 μm e mafai ai ona faia le 0–300 pa fua fa'atatau ma le <0.1% FS hysteresis. I le fa'aaogaina o le fa'apipi'i le tumau (mea e feavea'i ai tioata), o le faiga e 'alofia ai le gau o le wafer i le taimi o le etching i tua, ma ausia ai le <1 μm overpressure tolerance mo sensors IoT fa'apisinisi.

• Fa'atasiga Fa'atekinolosi: O a matou meafaigaluega fa'amamago wafer e tu'ufa'atasia ai le oloina fa'amekanika, CMP, ma le etching plasma e fa'afetaia'ia ai lu'itau eseese o meafaitino (Si, SiC, Sapphire). Mo se fa'ata'ita'iga, e mana'omia e le GaN-on-SiC le oloina fa'afefiloi (uili taimane + plasma) e paleni ai le malosi ma le fa'alauteleina o le vevela, ae o masini MEMS e mana'omia le roughness o luga e itiiti ifo i le 5 nm e ala i le fa'apulusaina o le CMP.

• Aafiaga o Alamanuia: I le fa'agaoioia o ni wafer manifinifi ma sili atu le lelei, o lenei tekinolosi e fa'atupuina ai ni fa'afouga i ni AI chips, 5G mmWave modules, ma mea fa'aeletoronika fetu'una'i, fa'atasi ai ma le TTV tolerances <0.1 μm mo fa'aaliga gaugau ma le <0.5 μm mo masini fa'alogo LiDAR i ta'avale.

Auaunaga a le XKH

1. Fofo Fa'apitoa
​​Fa'atulagaga e mafai ona fa'alauteleina: O mamanu o potu e 4–12-inisi ma le uta/la'u ese otometi.
Lagolago i le Fa'aaogaina o Mea Fa'aopoopo: O fua fa'apitoa mo tioata fa'aopoopo Er/Yb ma wafers InP/GaAs.

​​2. Lagolago Mai le Iʻuga e oʻo i le Iʻuga
​​Atina'eina o Fa'agasologa: Fa'ata'ita'iga e leai se totogi fa'atasi ai ma le fa'aleleia atili.
​​A'oa'oga Fa'avaomalo: Mafutaga fa'apitoa fa'aletausaga i galuega tau tausiga ma le fa'aleleia o fa'afitauli.

​​3. Fa'agasologa o Meafaitino e Tele
​​SiC: Fa'amamago o le wafer i le 100 μm ma le Ra <0.1 nm.
​​Safaira: 50μm le mafiafia mo faamalama laser UV (felauaiga >92%@200 nm).

​​4. Auaunaga Fa'aopoopo Taua
​​Sapalai Fa'aaogā: Uili taimane (2000+ wafers/ola atoa) ma CMP slurries.

Faaiuga

O lenei masini fa'amamago uamea e tu'uina atu ai le sa'o sili ona lelei i le alamanuia, le fetu'una'iga o mea e tele, ma le fa'aautomatika atamai, ma avea ai ma mea e taua tele mo le tu'ufa'atasia o le 3D ma le eletise eletise. O auaunaga atoatoa a le XKH—mai le fa'apitoa i le fa'agasologaina—e fa'amautinoa ai e ausia e tagata fa'atau le lelei o tau ma le fa'atinoga sili ona lelei i le gaosiga o semiconductor.

Meafaigaluega e fa'amama ai le uamea 3
Meafaigaluega e fa'amama ai le uamea 4
Meafaigaluega mo le fa'amamago o le uamea 5

  • Muamua:
  • Sosoo ai:

  • Tusi lau savali iinei ma lafo mai ia i matou