156mm 159mm 6 inisi Safaira Wafer mo le aveC-Vaeleele DSP TTV
Fa'amatalaga
Aitema | 6-inisi C-vaalele(0001) Safaira Wafers | |
Mea tioata | 99,999%, Mama maualuga, Monocrystalline Al2O3 | |
Vasega | Palemia, Epi-Sauni | |
Fa'asagaga i luga | C-vaalele(0001) | |
C-vaalele ese-matamata agai i M-axis 0.2 +/- 0.1° | ||
Diamita | 100.0 mm +/- 0.1 mm | |
mafiafia | 650 μm +/- 25 μm | |
Primary Flat Orientation | C-vaalele(00-01) +/- 0.2° | |
Ituaiga Tasi Faila | Laufanua Luma | Epi-poila, Ra <0.2 nm (e AFM) |
(SSP) | Laufanua i tua | eleele lelei, Ra = 0.8 μm i le 1.2 μm |
Faila Itulua | Laufanua Luma | Epi-poila, Ra <0.2 nm (e AFM) |
(DSP) | Laufanua i tua | Epi-poila, Ra <0.2 nm (e AFM) |
TTV | <20 μm | |
FUA | <20 μm | |
WARP | <20 μm | |
Fa'amama / Fa'auma | Vasega 100 fa'amamaina potu mama ma fa'apipi'i gaogao, | |
25 fasi pepa i totonu o le kaseti faʻapipiʻi e tasi poʻo le afifiina o le fasi pepa e tasi. |
O le auala Kylopoulos (Metotia KY) o loʻo faʻaaogaina nei e le tele o kamupani i Saina e gaosia ai tioata safaira mo le faʻaaogaina i mea tau eletise ma masini mata.
I lenei faagasologa, e faʻafefeteina le alumini oxide maualuga i totonu o se faʻamau i le vevela i luga aʻe o le 2100 tikeri Celsius. E masani lava o le fagu e faia i le tungsten poʻo le molybdenum. O se tioata fa'atatau tonu o fatu o lo'o fa'atofuina i le alumina liusuavai. O le tioata fatu e toso lemu agai i luga ma e ono feliuliuai i le taimi e tasi. E ala i le pulea tonu o le gradient o le vevela, o le tosoina o le fua ma le malulu, e mafai ona maua mai i le liusuavai se tioata e tasi, toetoe lava a cylindrical.
A mae'a ona tupu a'e le safaira tioata e tasi, ona vili lea i totonu o la'au cylindrical, ona tipi lea i le mafiafia o le fa'amalama e mana'omia ma i'u ai ina fa'aiila i luga o le fa'au'uga mana'omia.