2 inisi 4 inisi 6 inisi Patterned Sapphire Substrate (PSS) lea e totoina ai mea GaN e mafai ona faʻaaogaina mo moli LED

Fa'amatalaga Pupuu:

O le mamanu o le safaira (PSS) o se ufimata mo le vaneina mago i luga o le safaira, e vaneina le ufimata i se mamanu e ala i le faiga masani o le lithography, ona vaneina lea o le safaira e ala i le tekinolosi o le ICP etching, ma aveese le ufimata, ma mulimuli ane e totoina ai le mea GaN i luga, ina ia avea ai le epitaxy longitudinal o le mea GaN ma epitaxy fa'alava. O lenei faiga e aofia ai ni la'asaga se tele e pei o le ufiufi photoresist, fa'aaliga la'asaga, atina'eina o le mamanu fa'aaliga, ICP dry etching ma le fa'amamaina.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Vaega autū

1. Uiga fa'atulagaina:
O le fogāeleele PSS e iai se mamanu fa'akonu fa'atulagaina po'o se mamanu fa'akonu tafatolu e mafai ona puleaina lona foliga, tele ma le tufatufaina e ala i le fetu'una'iina o fa'asologa o le fa'agasologa o le etching.
O nei fausaga fa'ata'ita'i e fesoasoani e suia le ala o le salalau atu o le malamalama ma fa'aitiitia ai le atagia atoa o le malamalama, ma fa'aleleia atili ai le lelei o le pu'eina o le malamalama.

2. Uiga o meafaitino:
E faʻaaogaina e le PSS le safaira maualuga le tulaga e fai ma mea e fai ai le substrate, lea e iai uiga o le maualuga o le maaa, maualuga le conductivity thermal, lelei le mautu o vailaʻau ma le manino opitika.
O nei uiga e mafai ai e le PSS ona tatalia siosiomaga faigata e pei o le vevela maualuga ma le mamafa a'o fa'atumauina pea le fa'atinoga lelei o le va'aiga.

3. Fa'atinoga opitika:
I le suia o le tele o le fa'asalalauina i le va o le GaN ma le sapphire substrate, e faia ai e le PSS ia photons o lo'o atagia atoa i totonu o le GaN layer ia maua le avanoa e sola ese ai mai le sapphire substrate.
O lenei vaega e faʻaleleia atili ai le lelei o le faʻamamāina o le malamalama mai le LED ma faʻaleleia atili ai le malosi o le pupula o le LED.

4. Uiga o le faagasologa:
O le faagasologa o le gaosiga o le PSS e fai si lavelave, e aofia ai le tele o laasaga e pei o le lithography ma le etching, ma e manaʻomia ai masini e maualuga le saʻo ma le pulea o le faagasologa.
Peitaʻi, faatasi ai ma le alualu i luma faifai pea o tekinolosi ma le faaitiitia o tau, o le faagasologa o le gaosiga o le PSS ua faasolosolo malie ona faaleleia atili.

Tulaga autū

1. Fa'aleleia le lelei o le aveeseina o le malamalama: E fa'aleleia atili e le PSS le lelei o le aveeseina o le malamalama o le LED e ala i le suia o le ala o le fa'asalalauina o le malamalama ma fa'aitiitia ai le atagia atoa.

2. Fa'aumiumi le ola o le LED: E mafai e le PSS ona fa'aitiitia le mafiafia o le dislocation o mea epitaxial GaN, ma fa'aitiitia ai le non-radiative recombination ma fa'afo'i le leakage current i le vaega galue, ma fa'alauteleina ai le ola o le LED.

3. Fa'aleleia le pupula o le LED: Ona o le fa'aleleia atili o le lelei o le fa'amamagoina o le malamalama ma le fa'alauteleina o le ola o le LED, ua fa'aleleia atili ai le malosi o le pupula o le LED i luga o le PSS.

4. Fa'aitiitia tau o gaosiga: E ui o le faagasologa o le gaosiga o le PSS e fai si lavelave, ae e mafai ona fa'aleleia atili ai le lelei o le malamalama ma le ola o le LED, ma fa'aitiitia ai tau o gaosiga i se tulaga patino ma fa'aleleia atili ai le tauvaga o le oloa.

Vaega autu o faʻaoga

1. Moli LED: O le PSS o se mea e fa'avae ai chips LED, e mafai ona fa'aleleia atili ai le lelei o le malamalama ma le umi e ola ai le LED.
I le matata o moli LED, e faʻaaogaina lautele le PSS i oloa faʻamumu eseese, e pei o moli auala, moli laulau, moli taʻavale ma isi mea faapena.

2. Meafaigaluega Semiconductor: I le faaopoopo atu i moli LED, e mafai foi ona faaaoga le PSS e gaosia ai isi masini semiconductor, e pei o masini e iloa ai malamalama, lasers, ma isi. O nei masini e tele a latou faaaogaina i fesootaiga, faafomai, militeri ma isi matata.

3. Tuufaatasiga optoelektronika: O meatotino opitika ma le mautu o le PSS e avea ai ma se tasi o mea sili ona lelei i le matata o le tuufaatasia optoelektronika. I le tuufaatasia optoelektronika, e mafai ona faaaoga le PSS e fai ai taiala opitika, ki opitika ma isi vaega e iloa ai le faasalalauina ma le faagasologaina o faailoilo opitika.

Fa'atulagaga fa'apitoa

Mea	Matā Safaira Fa'ata'ita'i (2~6 inisi)
Lapoa	50.8 ± 0.1 mm	100.0 ± 0.2 mm	150.0 ± 0.3 mm
Mafiafia	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Fa'atulagaga o le fogaeleele	C-plane (0001) ese mai le tulimanu agai i le M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1°
	C-plane (0001) e ese mai le tulimanu agai i le A-axis (11-20) 0 ± 0.1°
Fa'asinomaga Laulau Muamua	Va'alele-A (11-20) ± 1.0°
Umi Mafolafola Autū	16.0 ± 1.0 mm	30.0 ± 1.0 mm	47.5 ± 2.0 mm
Va'alele-R	9 i le taeao
Fa'auma o le Luga i Luma	Fa'ata'ita'iina
Fa'auma o le Tua	SSP: Eleele lelei, Ra=0.8-1.2um; DSP: Eleele fa'apala, Ra<0.3nm
Fa'ailoga Laser	I tua
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
AUFANA	≤10μm	≤15μm	≤25μm
VAE	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Tuusaunoaga o le Pito	≤2 mm
Fa'amatalaga o le mamanu	Fausaga o le Foliga	Dome, Cone, Pyramid
	Maualuga o le mamanu	1.6~1.8μm
	Lapoa o le mamanu	2.75~2.85μm
	Avanoa o le Mamanu	0.1~0.3μm

E taulaʻi le XKH i le atinaʻeina, gaosiga ma le faʻatauina atu o le mamanu safaira (PSS), ma ua tautino atu e tuʻuina atu oloa PSS e maualuga le tulaga lelei ma lelei i tagata faʻatau i le lalolagi atoa. O loʻo iai i le XKH tekinolosi gaosiga faʻaonaponei ma le 'au faʻapitoa faʻapolofesa, e mafai ona faʻapitoa oloa PSS i faʻamatalaga eseese ma fausaga mamanu eseese e tusa ai ma manaʻoga o tagata faʻatau. I le taimi lava e tasi, e gauai atu le XKH i le lelei o oloa ma le lelei o auaunaga, ma ua tautino atu e tuʻuina atu i tagata faʻatau se lagolago faʻapitoa ma fofo atoatoa. I le matata o le PSS, ua tele le poto masani ma faʻamanuiaga a le XKH, ma ua tulimatai atu i le galulue faʻatasi ma paʻaga faʻavaomalo e faʻalauiloa faʻatasi le atinaʻeina fou o moli LED, masini semiconductor ma isi alamanuia.