2 inisi 4 inisi 6 inisi Patterned Sapphire Substrate (PSS) lea e fa'atupu ai mea GaN e mafai ona fa'aoga mo moli moli.

2 inisi 4 inisi 6 inisi Mamanu Safaira Substrate (PSS) o loʻo faʻatupuina ai mea GaN e mafai ona faʻaoga mo moli moli Ata Faʻaalia

Fa'amatalaga Puupuu:

Patterned safaira substrate (PSS) o se ufimata mo etching mago i luga o le safaira substrate, o le ufimata ua togitogia i se mamanu e ala i le faiga masani lithography, ona togitogiina ai lea o le safaira e le tekinolosi etching ICP, ma aveese le ufimata, ma mulimuli ane ua tupu mea GaN i luga, ina ia avea le epitaxy longitudinal o mea epitaxy faalava. O lenei faagasologa e aofia ai le tele o laasaga e pei o le faʻapipiʻiina o le photoresist, faʻaalia o le laʻasaga, atinaʻeina o faʻataʻitaʻiga faʻaalia, ICP faʻamago etching ma faʻamamā.

Auina imeli ia matou

Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

Vaega autu

1. Uiga fa'avae:
O le pito i luga o le PSS o loʻo i ai se faʻatonuga faʻapipiʻi poʻo se tafatolu mamanu faʻapipiʻi o lona foliga, lapopoa ma le tufatufaina e mafai ona faʻatonutonuina e ala i le fetuunaʻi o le faʻasologa o le etching process.
O nei fausaga faʻataʻitaʻi e fesoasoani e suia le ala faʻasalalau o le malamalama ma faʻaitiitia le aofaʻi atoa o le malamalama, ma faʻaleleia atili ai le faʻaogaina o le malamalama.

2. uiga o meafaitino:
E fa'aogaina e le PSS le safaira maualuga e fai ma mea e fai ai le substrate, o lo'o i ai uiga o le maa'a'a maualuga, maualuga le fa'avevelaina o le vevela, lelei le mautu o vaila'au ma le manino o mata.
O nei uiga e mafai ai e PSS ona tatalia si'osi'omaga faigata e pei o le maualuga o le vevela ma le mamafa a'o fa'atumauina lelei le fa'atinoga o mata.

3. Fa'atinoga o mata:
I le suia o le tele o faʻasalalauga i le va o le GaN ma le safaira substrate, PSS faia photons o loʻo atagia atoa i totonu o le GaN layer e maua ai le avanoa e sola ese ai mai le safaira substrate.
O lenei vaega e matua faʻaleleia atili ai le faʻaogaina o le malamalama o le LED ma faʻaleleia le malosi o le malamalama o le LED.

4. Uiga fa'agasologa:
O le gaosiga o le PSS e fai si lavelave, e aofia ai le tele o laasaga e pei o le lithography ma le etching, ma e manaʻomia ai meafaigaluega maualuga ma le faʻatonutonuina o gaioiga.
Ae ui i lea, faatasi ai ma le alualu i luma o tekinolosi ma le faʻaitiitia o tau, o le gaosiga o le gaosiga o le PSS o loʻo faʻasolosolo malie ma faʻaleleia.

Autu aoga

1. Faʻaleleia le faʻaogaina o le malamalama: O le PSS e faʻaleleia atili le faʻaogaina o le malamalama o le LED e ala i le suia o le auala faʻasalalau malamalama ma faʻaitiitia le aofaʻi atoa.

2.Prolong LED ola: PSS e mafai ona faʻaititia le dislocation density o mea epitaxial GaN, faʻaitiitia ai le recombination non-radiative ma fesuiaʻi leakage le taimi nei i le itulagi galue, faʻalauteleina le ola o le LED.

3. Faʻaleleia le susulu o le LED: Ona o le faʻaleleia atili o le faʻaogaina o le malamalama ma le faʻalauteleina o le ola o le LED, o le faʻamalamalamaina o le LED i luga o le PSS ua matua faʻaleleia.

4. Faʻaititia le tau o le gaosiga: E ui lava o le gaosiga o le gaosiga o le PSS e fai si lavelave, e mafai ona faʻaleleia atili le faʻamalamalamaga lelei ma le ola o le LED, ma faʻaitiitia ai le tau o le gaosiga i se tulaga patino ma faʻaleleia le tauvaga o le oloa.

Vaega autu o talosaga

1. moli LED: PSS e avea o se mea substrate mo meataalo LED, e mafai ona faʻaleleia atili le faʻaleleia o le malamalama ma le ola o le LED.
I le fanua o le faʻamalamalamaina o le LED, o loʻo faʻaaogaina tele le PSS i oloa faʻamalama eseese, e pei o moli auala, moli laulau, moli taʻavale ma isi.

2.Semicconductor masini: I le faaopoopo atu i le moli LED, e mafai foi ona faʻaogaina le PSS e gaosia ai isi masini semiconductor, e pei o faʻamalama malamalama, lasers, ma isi.

3.Optoelectronic integration: O mea faʻapitoa ma le mautu o le PSS e avea ma se tasi o mea sili ona lelei i totonu o le fanua o le faʻaogaina o le optoelectronic. I le faʻaogaina o le optoelectronic, e mafai ona faʻaogaina le PSS e fai ai taʻiala faʻafefete, suiga faʻapipiʻi ma isi vaega e iloa ai le tuʻuina atu ma le faʻaogaina o faailoilo faʻailoga.

Fa'agata fa'atekinisi

Aitema	Fa'ata'ita'iga Safaira Substrate(2~6inisi)
Diamita	50.8 ± 0.1 mm	100.0 ± 0.2 mm	150.0 ± 0.3 mm
mafiafia	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Fa'asagaga i luga	C-vaalele (0001) ese-matamata agai i le M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1°
	C-vaalele (0001) ese-matamata agai i le A-axis (11-20) 0 ± 0.1°
Primary Flat Orientation	A-Vaeleele (11-20) ± 1.0°
Primary Flat Umi	16.0 ± 1.0 mm	30.0 ± 1.0 mm	47.5 ± 2.0 mm
R-Valele	9-itula
Fa'ai'uga i luma	Fa'ata'ita'i
Fa'ai'uga i tua	SSP: Lelei-eleele, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-poila, Ra<0.3nm
Faailoga leisa	Itu i tua
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
FUA	≤10μm	≤15μm	≤25μm
WARP	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Tuusaunoaga Tupito	≤2 mm
Fa'amatalaga Fa'asologa	Fauga Fa'atusa	Dome, Cone, Pyramid
	Maualuluga Mamanu	1.6~1.8μm
	Ma'aa'a lapoa	2.75~2.85μm
	Avanoa Mamanu	0.1~0.3μm

O loʻo taulaʻi le XKH i le atinaʻeina, gaosiga ma le faʻatau atu o mamanu sapphire substrate (PSS), ma o loʻo tuuto atu i le tuʻuina atu o oloa PSS sili ona lelei, maualuga i tagata faʻatau i le lalolagi atoa. O loʻo i ai i le XKH tekinolosi gaosiga faʻapitoa ma le au faʻapitoa faʻapolofesa, lea e mafai ona faʻapipiʻiina oloa PSS ma faʻamatalaga eseese ma fausaga mamanu eseese e tusa ai ma manaoga o tagata faatau. I le taimi lava e tasi, e gauai atu le XKH i le lelei o oloa ma le lelei o auaunaga, ma ua tuuto atu i le tuʻuina atu o tagata faʻatau i le tele o lagolago faʻapitoa ma fofo. I le fanua o PSS, XKH ua faʻaputuina poto masani ma tulaga lelei, ma tulimatai atu e galulue faatasi ma paaga lalolagi e faʻalauteleina le faʻalauteleina o le atinaʻeina o le faʻamalamalamaina o moli, masini semiconductor ma isi pisinisi.