2 inisi SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

Fa'amatalaga Pupuu:

O le ingot SiC (silicon carbide) e 2-inisi e faasino i se tioata e tasi e pei o se fasi lapotopoto po o se poloka e fai ma tioata silicon carbide ma lona lautele po o le umi o le pito e 2 inisi. O ingot silicone carbide e faʻaaogaina o se mea amata mo le gaosiga o masini eseese o semiconductor, e pei o masini eletise eletise ma masini optoelectronic.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Tekonolosi Tuputupu Aʻe o le SiC Crystal

O uiga o le SiC e faigata ai ona fa'atupuina ni tioata ta'itasi. O le mafua'aga autū o lenei mea ona e leai se vaega vai e iai le fua fa'atatau stoichiometric o le Si: C = 1: 1 i le mamafa o le ea, ma e le mafai ona fa'atupuina le SiC e ala i metotia tuputupu a'e ua sili atu ona matutua, e pei o le metotia toso sa'o ma le metotia fa'apala pa'u, o mea ia e autū i le alamanuia semiconductor. I le fa'avae fa'avae, e na'o le taimi e sili atu ai le mamafa i le 10E5atm ma e sili atu le vevela i le 3200℃ e mafai ona maua ai se fofo e iai le fua fa'atatau stoichiometric. I le taimi nei, o metotia autū e aofia ai le metotia PVT, le metotia vai-vaega, ma le metotia fa'aputuina vaila'au va'a vevela maualuga.

O wafers ma crystals SiC matou te tuʻuina atu e tele lava ina faʻatupuina e ala i le felauaiga faʻaletino o le ausa (PVT), ma o le mea lenei o se faʻatomuaga puupuu i le PVT:

O le metotia o felauaiga ausa faaletino (PVT) na afua mai i le metotia o le sublimation gas-phase na fatuina e Lely i le 1955, lea e tuu ai le pauta SiC i totonu o se paipa graphite ma faamafanafana i se vevela maualuga e pala ai le pauta SiC ma sublimate, ona faamaluluina lea o le paipa graphite, ma o vaega kesi-phase o le pauta SiC ua pala e teuina ma fa'ama'alili o ni tioata SiC i le vaega o lo'o siomia ai le paipa graphite. E ui o lenei metotia e faigata ona maua ni tioata SiC tetele ma faigata ona pulea le faagasologa o le teuina i totonu o le paipa graphite, ae e maua ai ni manatu mo isi su'esu'ega.

Na faʻalauiloa e YM Tairov ma isi i Rusia le manatu o le fatu tioata i luga o lenei faʻavae, lea na foia ai le faʻafitauli o le foliga tioata e le mafai ona pulea ma le tulaga o le nucleation o tioata SiC. Na faʻaauau pea ona faʻaleleia e le au suʻesuʻe na sosoo ai ma le metotia o le physical vapor transfer (PVT) lea e faʻaaogaina i pisinisi i aso nei.

I le avea ai ma metotia muamua o le tuputupu aʻe o le tioata SiC, o le PVT o le metotia sili ona taatele i le taimi nei mo le tuputupu aʻe o tioata SiC. Pe a faʻatusatusa i isi metotia, o lenei metotia e itiiti le manaʻoga mo meafaigaluega tuputupu aʻe, faigofie le faʻagasologa o le tuputupu aʻe, malosi le puleaina, atinaʻe maeʻaeʻa ma suʻesuʻega, ma ua uma ona faʻapisinisi.