2inch SiC ingot Dia50.8mmx10mmt 4H-N monocrystal

Fa'amatalaga Puupuu:

O le 2-inisi SiC (silicon carbide) ingot e fa'atatau i se tioata ta'ito'atasi po'o se poloka-pepe o le silicon carbide ma le lautele po'o le umi o le pito e 2 inisi. Silicon carbide ingots e faʻaaogaina e fai ma mea amata mo le gaosiga o masini semiconductor eseese, e pei o masini eletise eletise ma masini optoelectronic.

Auina imeli ia matou

Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

SiC Crystal Growth Tekonolosi

O uiga o le SiC e faigata ai ona tupu tioata taʻitasi. O lenei mea e mafua ona o le mea moni e leai se vaega vai ma le fua faʻatatau o le Si: C = 1: 1 i le mamafa o le ea, ma e le mafai ona faʻatupuina le SiC e ala i auala tuputupu aʻe sili atu, e pei o le auala tusi saʻo ma o le auala pa'u'u pa'u, o le mainstays o le semiconductor alamanuia. Fa'ata'ita'iga, o se vaifofo ma le fua fa'atatau o le Si: C = 1: 1 e mafai ona maua pe a sili atu le mamafa nai lo le 10E5atm ma le vevela e maualuga atu nai lo le 3200 ℃. I le taimi nei, o auala masani e aofia ai le PVT metotia, o le vai-vase metotia, ma le maualuga-vevela vase-vaa fa'a'ave'esea vaila'au.

O siC wafers ma tioata matou te tuʻuina atu e masani lava ona tupu aʻe i felauaiga ausa faaletino (PVT), ma o loʻo taua i lalo se faʻamatalaga puupuu ile PVT:

O le felauaiga ausa faaletino (PVT) auala na afua mai i le kesi-phase sublimation technique na fatuina e Lely i le 1955, lea e tuʻu ai le paʻu SiC i totonu o se faʻalava graphite ma faʻavevela i se vevela maualuga e faʻafefe ai le paʻu SiC ma faʻapalapala, ona faʻapipiʻi ai lea o le kalafi. ua faamalūlūina le paipa, ma o vaega kasa ua pala o le paʻu SiC o loʻo teuina ma tioata e pei o tioata SiC i le vaega lata ane o le paipa graphite. E ui o lenei metotia e faigata ona maua ni tioata taʻitasi SiC lapopoa ma o le faʻagasologa o le tuʻuina i totonu o le graphite tube e faigata ona pulea, e maua ai manatu mo tagata suʻesuʻe mulimuli ane.

YM Tairov et al. i Rusia na faʻalauiloaina le manatu o le tioata fatu i luga o lenei faʻavae, lea na foia ai le faʻafitauli o foliga tioata e le mafai ona faʻaogaina ma le tulaga o le nucleation o tioata SiC. Na fa'aauau pea ona fa'aleleia atili e le au su'esu'e mulimuli ane ma i'u ai ina atina'e le fa'aliliuina o le ausa fa'aletino (PVT) o lo'o fa'aaogaina pisinisi i aso nei.

I le avea ai ma auala muamua o le tuputupu aʻe o tioata SiC, o le PVT o loʻo avea nei ma auala sili ona faʻatupulaia mo tioata SiC. Pe a faʻatusatusa i isi metotia, o lenei metotia e maualalo le manaʻomia mo meafaigaluega tuputupu aʻe, faʻagasologa faigofie o le tuputupu aʻe, faʻamalosia malosi, atinaʻe maeʻaeʻa ma suʻesuʻega, ma ua uma ona faʻaaogaina.