6 inisi Silicon Carbide 4H-SiC Semi-Insulating Ingot, Dummy Grade

Fa'amatalaga Pupuu:

O loʻo suia e le Silicon Carbide (SiC) le alamanuia o semiconductor, aemaise lava i faʻaoga e teteʻe atu i le malosi maualuga, maualuga le televave, ma le teteʻe atu i le radiation. O le 6-inisi 4H-SiC semi-insulating ingot, o loʻo ofoina atu i le ituaiga dummy, o se mea taua mo le faʻataʻitaʻiga, suʻesuʻega, ma faiga faʻatulagaina. Faatasi ai ma se lautele o le bandgap, lelei tele le conductivity thermal, ma le malosi faʻainisinia, o lenei ingot e avea o se filifiliga taugofie mo le suʻeina ma le faʻaleleia atili o le faagasologa e aunoa ma le faʻaleagaina o le tulaga lelei autu e manaʻomia mo le atinaʻeina alualu i luma. O lenei oloa e faʻafetaui i le tele o faʻaoga, e aofia ai le eletise eletise, masini leitio-taimi (RF), ma optoelectronics, ma avea ai ma meafaigaluega taua mo alamanuia ma faʻalapotopotoga suʻesuʻega.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Meatotino

1. Meatotino Fa'aletino ma Fa'atulagaga
●Ituaiga Meafaitino: Silicon Carbide (SiC)
●Polytype: 4H-SiC, fausaga tioata hexagonal
●Lapoa: 6 inisi (150 mm)
●Mafiafia: E mafai ona fetu'una'i (5-15 mm masani mo le vasega fa'ata'ita'i)
●Fa'atulagaga o le Kilisitala:
oAutu: [0001] (C-plane)
oFilifiliga lona lua: Off-axis 4° mo le tuputupu aʻe epitaxial sili ona lelei
●Fa'asinomaga Laulau Autū: (10-10) ± 5°
●Fa'asinomaga Mafolafola Lona Lua: 90° fa'asaga i le itu taumatau mai le mafolafola muamua ± 5°

2. Meatotino Eletise
●Teteega:
oSemi-insulating (>106^66 Ω·cm), lelei atoatoa mo le fa'aitiitia o le capacitance parasitic.
●Ituaiga o le Fa'aaogaina o le Doping:
o Fa'aopoopoina fa'afuase'i, ma i'u ai i le tete'e maualuga o le eletise ma le mautu i lalo o le tele o tulaga fa'aoga.

3. Meatotino Fa'avevela
●Fa'avevela o le Feavea'i: 3.5-4.9 W/cm·K, e mafai ai ona fa'asa'oloto lelei le vevela i totonu o faiga e maualuga le malosi.
●Fua Fa'alauteleina o le Vevela: 4.2×10−64.2 \times 10^{-6}4.2×10−6/K, ma fa'amautinoa ai le mautu o le fua i le taimi o le fa'agasologa i le vevela maualuga.

4. Meatotino Va'ai
●Vaega o fusi: Vaega lautele o fusi e 3.26 eV, e mafai ai ona fa'agaoioia i lalo o voltage ma le vevela maualuga.
●Manino: Maualuga le manino i le UV ma galu vaaia, e aoga mo su'ega optoelectronic.

5. Meatotino Fa'amekanika
●Malō: Mohs scale 9, lona lua i le taimane, e mautinoa ai le tumau i le taimi e gaosia ai.
●Mafiafia o le Fa'aletonu:
o Pulea lelei mo ni fa'aletonu laiti, ma fa'amautinoa ai le lava o le lelei mo fa'aoga e le o ni fa'ata'ita'iga.
●Lafoa'i: Tutusa ma le eseesega

Fa'atulagaga	Fa'amatalaga auiliili	Iunite
Vasega	Vasega Fa'ata'ita'i
Lapoa	150.0 ± 0.5	mm
Fa'asinomaga o le Wafer	I luga o le 'au: <0001> ± 0.5°	tikeri
Tete'e Fa'aeletise	> 1E5	Ω·cm
Fa'asinomaga Laulau Muamua	{10-10} ± 5.0°	tikeri
Umi Mafolafola Autū	Notch
Māvaevae (Su'esu'ega o le Malamalama Malosi)	< 3 mm i le radial	mm
Papa Hex (Su'esu'ega o le Malamalama Malosi)	Eria fa'aputu ≤ 5%	%
Eria Polytype (Su'esu'ega o le Malamalama Malosi Maualuga)	Eria fa'aputu ≤ 10%	%
Mafiafia o le Micropipe	< 50	cm−2^-2−2
Fa'apala'au o le Pito	3 e fa'atagaina, ta'itasi ≤ 3 mm	mm
Fa'amatalaga	O le mafiafia o le fasi falaoa tipi < 1 mm, > 70% (e le aofia ai pito e lua) e ausia ai manaʻoga o loʻo i luga

Talosaga

1. Fa'ata'ita'iga ma Su'esu'ega
O le ingot 4H-SiC 6-inisi le lapo'a o se mea lelei tele mo le faia o fa'ata'ita'iga ma su'esu'ega, e mafai ai e le au gaosi oloa ma fale su'esu'e ona:
●Fa'ata'ita'iga o le fa'agasologa o su'ega i le Chemical Vapor Deposition (CVD) po'o le Physical Vapor Deposition (PVD).
●Atia'e ma fa'aleleia auala e vaneina ai, fa'apulusaina, ma tipi ai i le uafa.
●Su'esu'e mamanu fou o masini a'o le'i fa'aogaina meafaitino e talafeagai mo le gaosiga.

2. Fa'atulagaina ma Su'ega o le Masini
O meatotino e fa'apipi'i ai le ea e avea ai lenei ingot ma mea taua mo:
●Iloiloga ma le fa'atulagaina o meatotino eletise o masini e maualuga le malosi ma masini e maualuga le televave.
●Fa'ata'ita'iina o tulaga fa'agaioiga mo MOSFET, IGBT, po'o diodes i siosiomaga fa'ata'ita'i.
●E avea o se sui taugofie mo mea e mama atoatoa i le amataga o le atina'eina.

3. Eletise Malosiaga
O le maualuga o le conductivity thermal ma le lautele o le bandgap o le 4H-SiC e mafai ai ona faʻagaoioia lelei le eletise eletise, e aofia ai:
●Sapalai eletise maualuga le voltage.
●Mea fa'aliliu eletise (EV).
●Faiga fa'afouina o le malosiaga, e pei o masini fa'avevela o le la ma masini fa'avevela o le matagi.

4. Fa'aoga o le Fa'asalalauina o Ala Leitio (RF)
O le maualalo o le dielectric losses o le 4H-SiC ma le maualuga o le electron mobility e talafeagai ai mo:
●Fa'amalosi leo RF ma transistors i atina'e feso'ota'iga.
●Faiga radar maualuga-taimi mo galuega tau vaalele ma puipuiga.
●Vaega o feso'ota'iga uaealesi mo tekinolosi fou o le 5G.

5. Masini e Tetee Atu i le Aveeseina o Fa'avevela
Ona o lona tete'e masani i fa'aletonu e mafua mai i le radiation, o le semi-insulating 4H-SiC e fetaui lelei mo:
●Meafaigaluega mo suʻesuʻega o le vateatea, e aofia ai mea faʻaeletoronika a satelite ma faiga faʻaeletise.
●Mea fa'aeletoronika fa'ama'a'aina e le radiation mo le mata'ituina ma le puleaina o le fa'aniukilia.
● Talosaga puipuiga e manaʻomia ai le malosi i siosiomaga faigata.

6. Optoelectronics
O le manino opitika ma le lautele o le bandgap o le 4H-SiC e mafai ai ona faʻaaogaina i:
●Mea e iloa ai le malamalama o le UV ma moli LED e malolosi.
●Fa'ata'ita'iina o vali va'ai ma togafitiga i luga.
●Fa'ata'ita'iga o vaega opitika mo masini fa'alogo fa'aonaponei.

Fa'amanuiaga o Mea Fa'ata'ita'i

Tau Lelei:
O le ituaiga fa'ata'ita'i o se isi auala e sili atu ona taugofie nai lo meafaitino mo su'esu'ega po'o mea e gaosia, ma e fetaui lelei mo su'ega masani ma le fa'aleleia atili o le fa'agasologa.

Fa'apitoa:
O fua fa'atatau ma fa'atulagaga tioata e mafai ona fetu'una'i e fa'amautinoa ai le fetaui ma le tele o fa'aoga.

Fa'alauteleina:
O le lautele e 6-inisi e ogatusa ma tulaga faatonuina o le alamanuia, e mafai ai ona faʻaleleia atili le faʻagasologa i le tulaga o le gaosiga.

Malosi:
O le malosi maualuga fa'amekanika ma le mautu i le vevela e fa'amalosia ai ma fa'atuatuaina le ingot i lalo o tulaga fa'ata'ita'i eseese.

Fetuuna'iga:
Talafeagai mo le tele o alamanuia, mai faiga o le malosiaga i feso'ota'iga ma optoelectronics.

Faaiuga

O le 6-inisi Silicon Carbide (4H-SiC) semi-insulating ingot, dummy grade, e ofoina atu ai se fa'avae fa'atuatuaina ma aoga mo su'esu'ega, fa'ata'ita'iga, ma fa'ata'ita'iga i vaega fa'atekonolosi fa'aonaponei. O ona uiga tulaga ese o le vevela, eletise, ma le fa'ainisinia, fa'atasi ai ma le taugofie ma le faigofie ona fetu'una'i, e avea ai ma mea e taua tele mo a'oga maualuluga ma pisinisi. Mai le eletise eletise i faiga RF ma masini fa'ama'a'aina e le radiation, o lenei ingot e lagolagoina ai mea fou i la'asaga uma o le atina'e.
Mo nisi fa'amatalaga auiliili pe e te mana'o e talosaga mo se tau, fa'amolemole fa'afeso'ota'i sa'o mai matou. Ua sauni le matou 'au fa'apitoa e fesoasoani i ni fofo fa'apitoa e fa'afetaui ai ou mana'oga.