6 inisi SiC Epitaxiy wafer N/P ituaiga talia fa'apitoa

O le faagasologa o le sauniuniga o le silicon carbide epitaxial wafer o se metotia e faʻaaogaina ai le tekinolosi Chemical Vapor Deposition (CVD). O mataupu faavae faʻapitoa talafeagai ma laʻasaga o le faagasologa o le sauniuniga o loʻo mulimuli mai:

Mataupu faavae fa'apitoa:

Fa'aputuga o le Ausa Fa'akemikolo: Fa'aaogaina o le kesi o le mea mata i le vaega o le kesi, i lalo o tulaga fa'apitoa o le tali atu, e fa'aleagaina ma fa'aputu i luga o le mea e fai ai le ata manifinifi e mana'omia.

Tali atu i le vaega kesi: E ala i le pyrolysis poʻo le tali atu o le māvaevae, o le tele o kesi mata i le vaega kesi e suia faʻakemikolo i totonu o le potu tali atu.

Laasaga o le sauniuniga:

Togafitiga o le substrate: O le substrate e fa'amamāina ma togafitia muamua ina ia mautinoa le lelei ma le manino o le epitaxial wafer.

Fa'asa'oina o le fa'aogaina o le potu tali: fetu'una'i le vevela, le mamafa ma le tafe o le potu tali ma isi fa'atulagaga e fa'amautinoa ai le mautu ma le pulea o tulaga o le tali.

Sapalai o mea mata: sapalai mea mata kesi manaʻomia i totonu o le potu tali, faʻafefiloi ma pulea le fua faatatau o le tafe pe a manaʻomia.

Fa'agasologa o le tali atu: I le fa'avevela o le potu tali atu, e faia ai e le kasa se tali atu fa'akemikolo i totonu o le potu e maua ai le mea e mana'omia, e pei o le ata tifaga silicon carbide.

Fa'amālūlūina ma le la'u ese o mea mai totonu: A mae'a le tali atu, e fa'aitiitia malie le vevela e fa'amālūlūina ma fa'ama'a'a ai mea o lo'o i totonu o le potu tali atu.

Fa'asusuina ma le fa'agasologaina o le epitaxial wafer: o le epitaxial wafer ua teuina ua fa'asusuina ma fa'agasologaina e fa'aleleia atili ai ona meatotino eletise ma va'ai.

E ono fesuisuia'i la'asaga ma tulaga patino o le sauniuniga o le silicon carbide epitaxial wafer e fuafua i masini ma mana'oga patino. O mea o lo'o ta'ua i luga ua na'o se fa'asologa lautele o le fa'agasologa ma le mataupu fa'avae, e mana'omia ona fetu'una'i ma fa'aleleia atili le fa'agaioiga patino e tusa ai ma le tulaga moni.