AlN-on-NPSS Wafer: Vaega Nitride Alumini Maualuga i luga o le Safaira e le'i Fa'apupula mo Fa'aoga Vevela Maualuga, Malosiaga Maualuga, ma RF

AlN-on-NPSS Wafer: Vaega Alumini Nitride Maualuga i luga o le Safaira e le'i Fa'apupula mo Fa'aoga Maualuga-Vevela, Malosiaga Maualuga, ma RF Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O le wafer AlN-on-NPSS e tu'ufa'atasia ai se vaega alumini nitride (AlN) maualuga le fa'atinoga ma se substrate safaira e le'i fa'apupula (NPSS) e ofoina atu ai se fofo lelei mo fa'aoga vevela maualuga, malosi maualuga, ma fa'asalalauga fa'asalalau (RF). O le tu'ufa'atasiga tulaga ese o le AlN e sili ona lelei le fa'avevela ma meatotino eletise, fa'atasi ai ma le malosi fa'ainisinia sili ona lelei o le substrate, e avea ai lenei wafer ma filifiliga sili ona lelei mo fa'aoga faigata e pei o eletise eletise, masini fa'asalalau maualuga, ma vaega opitika. Faatasi ai ma le fa'asa'olotoina lelei o le vevela, maualalo le leiloa, ma le fetaui ma siosiomaga vevela maualuga, o lenei wafer e mafai ai ona atina'eina masini o le isi tupulaga ma le fa'atinoga sili atu.

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Fa'aaliga

Vaega AlN Maualuga-Fa'atinogaUa lauiloa le Aluminum Nitride (AlN) i lonamaualuga le fa'avevela(~200 W/m·K),va lautele o le fusi, mavoltage maualuga o le malepe, ma avea ai ma mea lelei atoatoa momalosi tele, maualuga le taimi, mavevela maualugatalosaga.

Masini Safaira e le'i fa'apupula (NPSS): O le safaira e le'i fa'apupula e maua ai setaugofie, malosi fa'amekanikafa'avae, ma fa'amautinoa ai se fa'avae mautu mo le tuputupu a'e o le epitaxial e aunoa ma le faigata o le fa'apulusaina o luga. O meatotino fa'ainisinia sili ona lelei a le NPSS e tumau ai mo siosiomaga faigata.

Mausali Maualuga o le VevelaE mafai e le wafer AlN-on-NPSS ona tatalia suiga tetele o le vevela, ma talafeagai ai mo le faʻaaogaina ieletise eletise, faiga o taavale, LEDs, mafa'aoga fa'apitoae manaʻomia ai le faʻatinoga mautu i tulaga maualuga o le vevela.

Puipuiga eletiseO le AlN e iai ona uiga lelei e taofia ai le eletise, ma e fetaui lelei mo galuega e pei ovavae ese eletisee taua tele, e aofia aiMasini RFmamasini eletise maikoloveve.

Fa'asa'olotoina o le Vevela Sili AtuFaatasi ai ma le maualuga o le conductivity thermal, o le vaega AlN e faamautinoa ai le sologa lelei o le vevela, lea e taua mo le faatumauina o le faatinoga ma le umi o le ola o masini o loo faagaoioia i lalo o le malosi ma le televave maualuga.

Fa'atulagaga Fa'apitoa

Fa'atulagaga	Fa'amatalaga
Lapoa o le Wafer	2-inisi, 4-inisi (e maua lapopo'a fa'apitoa)
Ituaiga o le Substrate	Masini Safaira e le'i fa'apupula (NPSS)
Mafiafia o le Vaega AlN	2µm i le 10µm (e mafai ona fetu'una'i)
Mafiafia o le Substrate	430µm ± 25µm (mo le 2-inisi), 500µm ± 25µm (mo le 4-inisi)
Fa'avevela o le Tafega	200 W/m·K
Tete'e Fa'aeletise	Maualuga le puipuiga mai le vevela, talafeagai mo fa'aoga RF
Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele	Ra ≤ 0.5µm (mo le vaega AlN)
Mamā o Meafaitino	AlN mama maualuga (99.9%)
Lanu	Paʻepaʻe/Paʻepaʻe-Lē-Paʻepaʻe (vaega AlN ma le NPSS lanu malamalama)
Fa'alava Fa'alava	< 30µm (masani)
Ituaiga o le Fa'aaogaina o Mea Fa'aola	E le'i fa'aopoopoina (e mafai ona fa'apitoa)

Talosaga

O leFa'avaa AlN-i luga o le NPSSua mamanuina mo le tele o faʻaoga maualuga i le tele o alamanuia:

Eletise Malosiaga MaualugaO le maualuga o le fa'avevela ma le puipuiga o le vevela o le vaega AlN e avea ai ma mea lelei motransistors eletise, mea fa'asa'o, maIC eletisefa'aaogaina ita'avale, alamanuia, mamalosiaga fa'afouinafaiga fa'avae.

Vaega o le Fa'asalalauina o Ala Leitio (RF)O le lelei tele o le puipuiga o le eletise o le AlN, fa'atasi ai ma lona maualalo o le leiloa, e mafai ai ona gaosiaTransistor RF, HEMTs (Maualuga-Electron-Mobility Transistors), ma isivaega o le maikolovevee faʻagaoioia lelei i taimi maualuluga ma le maualuga o le malosi.

Masini Va'aitino: O lo'o fa'aaogaina wafers AlN-on-NPSS i totonudiode laser, LEDs, maphotodetectors, lea emaualuga le fa'avevelamamalosi fa'amekanikae taua tele mo le faatumauina o le faatinoga i se olaga umi.

Sensors o le Vevela Maualuga: O le gafatia o le wafer e tete'e atu ai i le vevela tele e talafeagai ai momasini e iloa ai le vevelamamata'ituina o le siosiomagai pisinisi e pei ovaalele, ta'avale, masuau'u ma kesi.

Afifiina o le SemiconductorFa'aaogaina i totonu mea fa'asalalau vevelamavaega o le pulega o le vevelai faiga e afifiina ai, ma mautinoa ai le faʻatuatuaina ma le lelei o semiconductors.

Fesili ma Tali

S: O le a le tulaga lelei autū o wafers AlN-on-NPSS nai lo mea masani e pei o le silicon?

A: O le tulaga lelei autu o le AlN'smaualuga le fa'avevela, lea e mafai ai ona faʻasaʻoloto lelei le vevela, ma avea ai ma mea lelei momalosi telematalosaga fa'atelevavelea e taua tele ai le puleaina o le vevela. E le gata i lea, o le AlN e iai seva lautele o le fusima sili ona leleipuipuiga eletise, ma avea ai ma sili ona lelei mo le faʻaaogaina iRFmamasini fa'avevela maikolovevepe a faʻatusatusa i le silicon masani.

F: E mafai ona fa'apitoa le vaega AlN i luga o wafers NPSS?

A: Ioe, e mafai ona fa'apitoa le mafiafia o le vaega AlN (mai le 2µm i le 10µm pe sili atu) e fa'afetaui ai mana'oga fa'apitoa o lau talosaga. Matou te ofoina atu fo'i le fa'apitoa e tusa ai ma le ituaiga o le fa'apipi'iina (N-type po'o le P-type) ma isi vaega fa'aopoopo mo galuega fa'apitoa.

O le ā le faʻaoga masani mo lenei wafer i le alamanuia o taʻavale?

A: I le alamanuia o taavale, e masani ona faʻaaogaina wafers AlN-on-NPSS i totonueletise eletise, Faiga moli LED, mamasini e iloa ai le vevelaLatou te tuʻuina atu le pulega sili ona lelei o le vevela ma le puipuiga o le eletise, lea e taua tele mo faiga faʻaleleia e faʻagaoioia i lalo o tulaga eseese o le vevela.