Tioata tioata silicon ua ufiufiina monocrystalline silicon ua fa'apipi'iina fa'apitoa AR ata tifaga e tete'e ai i le atagia

Tioata silicon ua ufiufiina monocrystalline silicon ua fa'apipi'iina fa'apitoa AR anti-reflection film Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O tioata silicon monocrystalline ua ufiufiina o se elemene opitika aoga e faʻavae i luga o le silicon monocrystalline (Si) mama maualuga e ala i le faʻagasologa opitika ma le tekinolosi ufiufi. O le silicon monocrystalline e sili ona lelei le fesiitaiga o le malamalama i le fusi infrared (1.2-7μm), ma pe a faʻapipiʻi faʻatasi ma ufiufi e pei o le anti-reflection film (AR), high reflection film (HR) poʻo le filter film, e mafai ona faʻaleleia atili ai le faʻatinoina o le fesiitaiga poʻo le atagia o fusi faʻapitoa. O oloa e faʻaaogaina lautele i le infrared imaging, laser optics ma le semiconductor detection.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Uiga o tioata silicon ufiufi:

1. Fa'atinoga opitika:
Vaeluaga o le fesiitaiga: 1.2-7μm (e lata i le infrared i le ogatotonu o le infrared), fesiitaiga >90% i le vaega o le faamalama o le ea e 3-5μm (pe a uma ona ufiufi).
Ona o le maualuga o le fa'asinomaga o le refractive (n≈ 3.4@4μm), e tatau ona ufiufi se ata tifaga e tete'e atu i le toe atagia mai o le lanu (e pei o le MgF₂/Y₂O₃) e fa'aitiitia ai le leiloa o le toe atagia mai o le lanu i luga.

2. Mausali o le vevela:
Maualalo le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela (2.6×10⁻⁶/K), tete'e maualuga i le vevela (vevela fa'agaoioia e o'o atu i le 500℃), talafeagai mo fa'aoga laser malosi maualuga.

3. Meatotino fa'amekanika:
O le maaa o le Mohs e 7, e tete'e atu i le maosi, ae e faigofie ona gaui, ma e mana'omia le puipuiga mai le gagau o pito.

4. Uiga o le ufiufi:
Customized anti-reflection film (AR@3-5μm), high reflection film (HR@10.6μm for CO₂ laser), bandpass filter film, etc.

Fa'aoga tioata silicon ufiufi:

(1) Faiga fa'ata'ita'i vevela infrared
O se vaega autū o tioata infrared (3-5μm po'o le 8-12μm band) mo le mata'ituina o le saogalemu, asiasiga fa'apisinisi ma mea faigaluega a le militeri mo le va'ai i le po.

(2) Faiga opitika laser
CO₂ Laser (10.6μm): Tioata atagia maualuga mo le laser resonators po'o le beam steering.

Leisa alava (1.5-2μm): O le tioata tifaga e tete'e atu i le atagia e fa'aleleia atili ai le lelei o le fa'apipi'iina.

(3) Meafaigaluega e su'e ai le semiconductor
Mea fa'atino fa'amikroskopi infrared mo le iloa o fa'aletonu o le wafer, e tete'e atu i le ele o le plasma (e mana'omia se puipuiga fa'apitoa o le ufiufi).

(4) meafaigaluega su'esu'ega fa'a-spectral
I le avea ai ma se vaega fa'a-spectral o le Fourier infrared spectrometer (FTIR), e mana'omia ai le maualuga o le transmittance ma le maualalo o le wavefront distortion.

Fa'atulagaga fa'apitoa:

Ua avea tioata monocrystalline silicon ua ufiufi ma se vaega autū e lē mafai ona suia i le faiga opitika infrared ona o lona lelei tele o le fesiitaiga o le malamalama infrared, maualuga le mautu o le vevela ma ona uiga vali e mafai ona fetu'una'i. O a matou auaunaga fa'apitoa fa'apitoa e fa'amautinoa ai le fa'atinoga sili ona lelei o tioata i le laser, su'esu'ega ma ata.

Tulaga Masani	Tau Maualuga
Meafaitino	Silikoni
Tele	5mm-300mm	5mm-300mm
Fa'apalepale i le Tele	±0.1mm	±0.02mm
Avanoa Manino	≥90%	95%
Tulaga Lelei o le Foliga	60/40	20/10
Nofoaga Tutotonu	3'	1'
Fa'apalepale i le Umi o le Taula'i	±2%	±0.5%
Ufiufi	E le'i ufiufiina, AR, BBAR, Ataata

Auaunaga Fa'apitoa a le XKH

E ofoina atu e le XKH le fa'agasologa atoa o le fa'apitoaina o tioata monocrystalline silicon ua ufiufiina: Mai le filifiliga o le substrate monocrystalline silicon (resistivity >1000Ω·cm), fa'agasologa opitika sa'o (spherical/aspherical, sa'o o le luga λ/4@633nm), ufiufi fa'apitoa (anti-reflection/high reflection/filter film, lagolagoina le mamanu tele-band), i su'ega fa'apitoa (saoasaoa o le fesiitaiga, tulaga fa'aleagaina o le laser, su'ega fa'atuatuaina o le siosiomaga), lagolagoina le vaega la'ititi (10 fasi) i le gaosiga tele. E tu'uina atu fo'i pepa fa'apitoa (pi'o ufiufi, fa'asologa opitika) ma le lagolago pe a mae'a le fa'atau atu e fa'afetaui ai mana'oga faigata o faiga opitika infrared.