Fa'apitoa N Type SiC Seed Substrate Dia153/155mm Mo le Eletise Malosiaga
Fa'ailoa atu
O mea e fai ai fatu o le Silicon Carbide (SiC) e avea ma mea faavae mo semiconductors o le tupulaga lona tolu, e iloga i lo latou maualuga tele o le conductivity thermal, le malosi sili atu o le breakdown electric field, ma le maualuga o le electron mobility. O nei meatotino e taua tele ai mo le power electronics, masini RF, taavale eletise (EVs), ma faʻaaogaina o le malosiaga faʻafouina. E faʻapitoa le XKH i le R&D ma le gaosiga o mea e fai ai fatu SiC maualuga le lelei, faʻaaogaina metotia faʻatuputupu tioata e pei o le Physical Vapor Transport (PVT) ma le High-Temperature Chemical Vapor Deposition (HTCVD) e faʻamautinoa ai le tulaga lelei o le crystalline i le alamanuia.
E ofoina atu e le XKH ni substrates SiC e 4-inisi, 6-inisi, ma le 8-inisi faatasi ai ma le doping N-type/P-type e mafai ona fetuutuunai, e ausia ai le maualuga o le resistivity o le 0.01-0.1 Ω·cm ma le dislocation densities i lalo ifo o le 500 cm⁻², ma avea ai ma mea lelei mo le gaosiga o MOSFET, Schottky Barrier Diodes (SBDs), ma IGBTs. O la matou faagasologa gaosiga ua tuufaatasia i luga e aofia ai le tuputupu ae o le crystal, wafer slicing, polishing, ma le siakiina, faatasi ai ma le gafatia gaosiga faalemasina e sili atu i le 5,000 wafers e faafetaiaia ai manaoga eseese o faalapotopotoga suesue, kamupani gaosi semiconductor, ma kamupani malosiaga faafouina.
E le gata i lea, matou te tuʻuina atu fofo faʻapitoa, e aofia ai:
Fa'atulagaina o le fa'atulagaga o le tioata (4H-SiC, 6H-SiC)
Fa'aaogāina fa'apitoa o vaila'au fa'asusu (Alumini, Nitrogen, Boron, ma isi)
Fa'apala'au lamolemole tele (Ra < 0.5 nm)
E lagolagoina e le XKH le fa'agasologa fa'avae i fa'ata'ita'iga, feutagaiga fa'apitoa, ma fa'ata'ita'iga laiti e tu'uina atu ai fofo fa'alelei SiC substrate.
Fa'atulagaga fa'apitoa
| Pa'u fatu silicon carbide | |
| Polytype | 4H |
| Sese i le fa'atulagaina o le fogāeleele | 4° agai atu i le<11-20>±0.5º |
| Tete'e | fa'apitoa |
| Lapoa | 205±0.5mm |
| Mafiafia | 600±50μm |
| Fa'alavelave | CMP,Ra≤0.2nm |
| Mafiafia o le Micropipe | ≤1 tasi/cm2 |
| Maosi | ≤5, Umi Aofa'i ≤2 * Lapo'a |
| Sipi/fa'asolo i autafa | Leai se tasi |
| Fa'ailogaina o le laser i luma | Leai se tasi |
| Maosi | ≤2, Umi Aofa'i ≤ Lapo'a |
| Sipi/fa'asolo i autafa | Leai se tasi |
| Vaega o le Polytype | Leai se tasi |
| Fa'ailogaina o le laser i tua | 1mm (mai le pito i luga) |
| Pito | Chamfer |
| Afifiina | Kaseti tele-wafer |
SiC Seed Substrates - Uiga Autū
1. Meatotino Fa'aletino Tulaga Ese
· Maualuga le fa'avevela (~490 W/m·K), e sili atu nai lo le silicon (Si) ma le gallium arsenide (GaAs), ma avea ai ma mea lelei mo le fa'amālūlūina o masini e maualuga le malosi.
· Malosiaga o le fanua malepe (~3 MV/cm), e mafai ai ona fa'agaoioia lelei i lalo o tulaga maualuga-voltage, e taua tele mo EV inverters ma modules eletise fa'apisinisi.
· Vaeluaga lautele o le fusi (3.2 eV), e faʻaitiitia ai le tafe o le vai i le vevela maualuga ma faʻaleleia atili ai le faʻatuatuaina o le masini.
2. Tulaga Sili o le Maaa
· O le tekinolosi tuputupu a'e fa'afefiloi PVT + HTCVD e fa'aitiitia ai fa'aletonu o micropipe, ma fa'atumauina ai le mafiafia o le se'e i lalo ifo o le 500 cm⁻².
· O le aufana/warp o le wafer < 10 μm ma le ma'a'a o le fogaeleele Ra < 0.5 nm, ma fa'amautinoa ai le fetaui ma le lithography maualuga ma le fa'agasologa o le fa'aputuina o ata manifinifi.
3. Filifiliga Eseese o le Fa'aaogaina o le Doping
·Ituaiga-N (Fa'afefiloi i le Naitorosene): Tete'e maualalo (0.01-0.02 Ω·cm), fa'alelei mo masini RF maualuga le televave.
· Ituaiga-P (Ua fa'afefiloi i le alumini): E fetaui lelei mo MOSFET eletise ma IGBT, e fa'aleleia atili ai le fe'avea'i o avefe'au.
· SiC e fa'apipi'i i le vaega e le malosi tele (Vanadium-doped): Tete'e > 10⁵ Ω·cm, ua fa'atulagaina mo vaega pito i luma o le 5G RF.
4. Mausali o le Siosiomaga
· Tete'e i le vevela maualuga (>1600°C) ma le malosi o le averesi, e talafeagai mo va'alele, masini fa'aniukilia, ma isi siosiomaga faigata.
SiC Seed Substrates - Fa'aoga Autū
1. Eletise Malosiaga
· Ta'avale Eletise (EV): Fa'aaogaina i totonu o masini fa'atumu eletise (OBC) ma inverters e fa'aleleia atili ai le lelei ma fa'aitiitia ai mana'oga mo le puleaina o le vevela.
· Faiga Malosiaga Fa'apisinisi: Fa'aleleia atili ai inverters photovoltaic ma smart grids, ma ausia ai le >99% o le lelei o le liua o le malosiaga.
2. Masini RF
· Nofoaga Autu 5G: O mea fa'avae SiC e le'i fa'amamago e mafai ai ona fa'aogaina le GaN-on-SiC RF power amplifiers, e lagolagoina ai le fa'asalalauga fa'ailoilo maualuga-tele, maualuga-malosiaga.
Fesootaiga Fa'asatelite: O uiga maulalo e leiloa ai e fetaui lelei mo masini galu milimita.
3. Malosiaga Fa'afouina ma le Teuina o Malosiaga
· Malosiaga o le La: E fa'aleleia e le SiC MOSFET le lelei o le liua DC-AC a'o fa'aitiitia ai tau o le masini.
· Faiga e Teuina ai le Malosiaga (ESS): Fa'aleleia atili ai le fa'aliliuina o itu e lua ma fa'alauteleina ai le umi e ola ai le maa.
4. Puipuiga ma Vaalele
· Faiga o Radar: E fa'aaogaina masini SiC malosi i radar AESA (Active Electronically Scanned Array).
· Pulega o le Malosiaga o Vaalele i le Vateatea: O mea fa'avae SiC e tete'e atu i le radiation e taua tele mo misiona i le vateatea loloto.
5. Suesuega ma Tekonolosi Fou
· Quantum Computing: O le SiC maualuga le mama e mafai ai ona suʻesuʻeina le spin qubit.
· Sensors o le Vevela Maualuga: Fa'aaogaina i su'esu'ega o le suau'u ma le mata'ituina o le reactor faaniukilia.
SiC Seed Substrates - Auaunaga XKH
1. Fa'amanuiaga o le Sapalai o Sapalai
· Gaosiga tu'ufa'atasia fa'atulagaina: Pulea atoatoa mai le pauta SiC mama maualuga i wafers ua mae'a, ma fa'amautinoa ai taimi fa'atino e 4-6 vaiaso mo oloa masani.
· Tauva tau: O tamaoaiga fa'ateleina e mafai ai ona maualalo tau i le 15-20% nai lo o isi kamupani tauva, fa'atasi ai ma le lagolago mo Maliega Fa'aumiumi (LTA).
2. Auaunaga Fa'apitoa
· Fa'atulagaga o le tioata: 4H-SiC (masani) po'o le 6H-SiC (fa'aoga fa'apitoa).
· Fa'aleleia atili o le fa'aaogaina o le doping: Uiga fa'apitoa o le ituaiga-N/ituaiga-P/semi-insulating.
· Fa'apalapala fa'apitoa: Fa'apalapala CMP ma togafitiga o luga e sauni mo le epi (Ra < 0.3 nm).
3. Lagolago Fa'apitoa
· Su'ega fa'ata'ita'iga e leai se totogi: E aofia ai lipoti o fua o le XRD, AFM, ma le Hall effect.
· Fesoasoani i le fa'ata'ita'iga o masini: Lagolagoina le tuputupu a'e o le epitaxial ma le fa'aleleia atili o le mamanu o masini.
4. Tali vave
· Fa'ata'ita'iga la'ititi: E itiiti ifo i le 10 wafers e oka, e tilivaina i totonu ole 3 vaiaso.
· Loketisi faavaomalo: Faiga faapaaga ma DHL ma FedEx mo le tilivaina atu mai lea faitotoa i lea faitotoa.
5. Fa'amautinoaga o le Tulaga Lelei
· Su'esu'ega atoa o le faagasologa: E aofia ai le X-ray topography (XRT) ma le au'ili'iliga o le mafiafia o mea sese.
· Fa'amaoniga fa'avaomalo: Tausisia tulaga fa'atonuina o le IATF 16949 (vasega ta'avale) ma le AEC-Q101.
Faaiuga
E sili ona lelei mea e gaosia ai fatu SiC a le XKH i le tulaga lelei o le tioata, mautu o le sapalai, ma le fetuutuuna'i o le fetu'una'iga, e tautua ai i mea eletise eletise, feso'ota'iga 5G, malosiaga fa'afouina, ma tekinolosi puipuiga. Matou te fa'aauau pea ona fa'alauteleina le tekinolosi gaosiga tele o le SiC e 8-inisi e fa'aleleia atili ai le alamanuia o semiconductor o le tupulaga lona tolu.









