Masini Safaira Mamafa Dia300x1.0mmt C-Plane SSP/DSP
Fa'alauiloa le pusa wafer
| Meafaitino Kirisitala | 99,999% o le Al2O3, Mama Maualuga, Monocrystalline, Al2O3 | |||
| Tulaga lelei o le tioata | E leai ni mea e aofia ai, fa'ailoga poloka, masaga, Lanu, micro-bubbles ma nofoaga e fa'asalalau ai. | |||
| Lapoa | 2 inisi | 3 inisi | 4 inisi | 6 inisi ～ 12 inisi |
| 50.8± 0.1mm | 76.2±0.2mm | 100±0.3mm | E tusa ai ma aiaiga o le gaosiga masani | |
| Mafiafia | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | E mafai ona fa'apitoa e le tagata fa'atau |
| Fa'asinomaga | C-plane (0001) i le M-plane (1-100) po'o le A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-plane (1-1 0 2), A-plane (1 1-2 0), M-plane(1-1 0 0), So'o se Fa'asinomaga, So'o se tulimanu | |||
| Umi mafolafola autū | 16.0±1mm | 22.0±1.0mm | 32.5±1.5 mm | E tusa ai ma aiaiga o le gaosiga masani |
| Fa'asinomaga mafolafola autū | Va'alele-A (1 1-2 0) ± 0.2° | |||
| TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| AUFANA | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Fa'alava | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Luga i Luma | Fa'apupulaina Epi (Ra< 0.2nm) | |||
*Pito: O le alu ese o le ogatotonu o le fogāeleele ogatotonu o se apa manifinifi e leai se fusi mai le vaalele fa'asino, lea e fa'amatalaina ai le vaalele fa'asino e tulimanu e tolu o se tafatolu tutusa.
*Vaupa'u: O le eseesega i le va o le mamao maualuga ma le mamao maualalo o le ogatotonu o le fogāeleele o se apameme sa'oloto, e le'i fa'amauina mai le va'alele fa'asino ua fa'amatalaina i luga.
Oloa ma auaunaga maualuga le tulaga mo masini semiconductor o le isi tupulaga ma le tuputupu aʻe epitaxial:
Maualuga le lamolemole (TTV pulea, aufana, fa'alava ma isi)
Fa'amamāina lelei (itiiti le pisia o fasi mea, itiiti le pisia o u'amea)
O le viliina o le eleele, fa'a'au'au, tipiina, ma le fa'apalapala o le pito i tua
Fa'apipi'iina o fa'amatalaga e pei o le mama ma le foliga o le mea e fa'apipi'i ai (filifiliga)
Afai e te manaʻomia ni mea e fai ai le safaira, faʻamolemole faʻafesoʻotaʻi mai:
melieric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Matou te toe tali atu ia te oe i se taimi vave e mafai ai!
Ata Auiliili
