Masini fa'aluaina o le masini fa'atafafā monocrystalline silicon rod processing 6/8/12 inisi le maualuga o le fogaeleele Ra≤0.5μm
Uiga o meafaigaluega:
(1) Fa'agasologa fa'atasi o le nofoaga fa'alua
· Fa'alua le lelei: O le fa'agasologa fa'atasi o la'au silicon e lua (Ø6"-12") e fa'ateleina ai le gaosiga i le 40%-60% pe a fa'atusatusa i masini Simplex.
· Pulea tuto'atasi: E mafai e nofoaga ta'itasi ona fetu'una'i tuto'atasi ia fa'asologa o le tipiina (fa'amamafa, saoasaoa o le fafaga) e fa'afetaui ai i fa'amatalaga eseese o le tootoo silicon.
(2) Tipiina sa'o lelei
· Sa'o le fua: onosa'i i le mamao o le itu sikuea o le pa ±0.15mm, o le lautele e ≤0.20mm.
· Tulaga lelei o le fogāeleele: gau o le pito i lalo <0.5mm, fa'aitiitia le aofa'i o le oloina mulimuli ane.
(3) Pulea atamai
· Oti fa'afetaui: mata'ituina i le taimi moni o le foliga o le silicon rod, fetu'una'iga fa'asolosolo o le auala tipi (e pei o le fa'agasologaina o le pi'o o le silicon rod).
· Su'esu'ega o fa'amaumauga: fa'amaumau fa'asologa o le fa'agasologa o le silicon rod ta'itasi e lagolago ai le fa'apipi'iina o le MES system.
(4) Tau maualalo o mea e fa'aaogaina
· Fa'aaogāina o uaea taimane: ≤0.06m/mm (umi o le u'amea silicon), lautele o le uaea ≤0.30mm.
· Fa'asalalauina o le vai fa'amālūlū: E fa'alauteleina e le faiga fa'amamā le umi e fa'aaoga ai ma fa'aitiitia ai le lafoa'iina o otaota.
Fa'amanuiaga o tekinolosi ma atina'e:
(1) Fa'aitiitia le fa'aleleia atili o tekinolosi
- Tipiina o laina e tele: E fa'aaogaina fa'atasi laina taimane e 100-200, ma o le saoasaoa o le tipiina e ≥40mm/min.
- Puleaina o le fe'ave'aia'iga: Faiga e fetu'una'i ai le matasele tapuni (±1N) e fa'aitiitia ai le lamatiaga o le motusia o uaea.
(2) Fa'alauteleina o le fetaui lelei
- Fetuuna'iga o meafaitino: Lagolagoina le P-type/N-type monocrystalline silicon, e fetaui ma TOPCon, HJT ma isi la'au silicon maa e maualuga le lelei.
- Tele fetuutuunai: umi o le u'amea silicon 100-950mm, mamao faatafafa o le itu o le u'amea 166-233mm e mafai ona fetu'una'i.
(3) Fa'aleleia atili o le otometi
- Fa'apipi'iina ma le la'u ese o uta e le robot: fa'apipi'i/la'u ese otometi o u'amea silicon, sasaina ≤3 minute.
- Su'esu'ega atamai: Tausiga fa'atatau e fa'aitiitia ai le taimi e le'i fuafuaina e fa'agata ai.
(4) Taitaiga o le alamanuia
- Lagolagoina o le Wafer: e mafai ona fa'agasolo le ≥100μm silicon manifinifi tele ma la'au sikuea, fua faatatau o le fragmentation <0.5%.
- Fa'aleleia atili o le fa'aaogaina o le malosi: O le fa'aaogaina o le malosi i le iunite ta'itasi o le silicon rod e fa'aitiitia i le 30% (pe a fa'atusatusa i masini masani).
Fa'atulagaga fa'apitoa:
| Igoa o le parakalafa | Tau o le fa'asinomaga |
| Numera o pa ua fa'agasoloina | 2 fasi/seti |
| O le umi o le pa fa'agasologa | 100~950mm |
| Vaega o le laina o le masini | 166~233mm |
| Saosaoa o le tipiina | ≥40mm/min |
| Saosaoa o le uaea taimane | 0~35m/s |
| Lapo'a o le taimane | 0.30 mm pe itiiti ifo |
| Fa'aaogāina laina | 0.06 m/mm pe itiiti ifo |
| Lapo'a o le tootoo lapotopoto talafeagai | Ua mae'a le lautele o le tootoo faatafafa +2mm, Ia mautinoa le fua faatatau o le pasia o le fa'apalapala |
| Pulea o le gau o pito sili ona mata'utia | Mata mata ≤0.5mm, Leai se fasi, maualuga le tulaga lelei o le luga |
| Tutusa o le umi o le arc | O le tele o le fa'aaliga e <1.5mm, Se'i vagana ai le fa'aletonu o le silicon rod |
| Fua o le masini (masini e tasi) | 4800×3020×3660mm |
| Aofa'i o le malosiaga fa'atulagaina | 56kW |
| Mamafa oti o meafaigaluega | 12t |
Laulau fa'asino sa'o o le masini:
| Mea sa'o lelei | Vaeluaga o le onosa'i |
| Fa'apalepale i le tapula'a o le sikuea pa | ±0.15mm |
| Fa'asologa o pito o le pa sikuea | ≤0.20mm |
| Tulimanu i itu uma o le u'amea faatafafa | 90°±0.05° |
| Lafoa'i o le tootoo faatafafa | ≤0.15mm |
| Sa'o le fa'atulagaina pea o le robot | ±0.05mm |
Auaunaga a le XKH:
E tuʻuina atu e le XKH auaunaga atoa mo masini mono-crystalline silicon dual-station, e aofia ai le faʻapitoaina o masini (e fetaui ma silicon rods tetele), faʻatinoina o le faagasologa (faʻaleleia atili o le tipiina o vaega), aʻoaʻoga faʻatino ma le lagolago pe a maeʻa le faʻatau atu (sapalai o vaega autu, suʻesuʻega mamao), faʻamautinoaina o loʻo ausia e tagata faʻatau le maualuga o le fua (>99%) ma le taugofie o le gaosiga, ma le tuʻuina atu o faʻaleleia atili faʻapitoa (e pei o le faʻaleleia atili o le tipiina o le AI). O le vaitaimi e tuʻuina atu ai e 2-4 masina.
Ata Auiliili









