Gallium Nitride (GaN) Epitaxial ua Tupu i luga o Sapphire Wafers 4 inisi 6 inisi mo MEMS
Meatotino o GaN i luga o Sapphire Wafers
●Lelei Maualuga:E fa'alima taimi e sili atu le malosi e maua mai masini fa'avae i le GaN nai lo masini fa'avae i le silicon, e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga i le tele o fa'aoga fa'aeletoronika, e aofia ai le fa'ateleina o le RF ma le optoelectronics.
●Vaega Lautele o le Bandvate:O le lautele o le bandgap o le GaN e mafai ai ona maualuga le lelei i le maualuga o le vevela, ma avea ai ma mea lelei mo faʻaoga maualuga le malosi ma le tele o taimi.
●Tumau:O le mafai e GaN ona taulimaina tulaga ogaoga (vevela maualuga ma le fa'avevela o le radiation) e fa'amautinoa ai le umi o le fa'atinoga i siosiomaga faigata.
●La'ititi tele:E mafai e le GaN ona gaosia ni masini e sili atu ona laʻititi ma mama pe a faʻatusatusa i mea masani o le semiconductor, ma faʻafaigofie ai mea eletise laiti ma sili atu ona malolosi.
Aotelega
O le Gallium Nitride (GaN) ua tulaʻi mai o se semiconductor e filifilia mo faʻaoga faʻaonaponei e manaʻomia ai le malosi maualuga ma le lelei, e pei o RF front-end modules, high-speed communication systems, ma moli LED. O GaN epitaxial wafers, pe a totoina i luga o sapphire substrates, e ofoina atu se tuʻufaʻatasiga o le maualuga o le thermal conductivity, maualuga le breakdown voltage, ma le lautele o le tali atu i le frequency, o mea taua ia mo le faʻatinoga sili ona lelei i masini fesoʻotaʻiga uaealesi, radars, ma jammers. O nei wafers e maua i le 4-inisi ma le 6-inisi le lautele, faʻatasi ai ma le eseese o le mafiafia o le GaN e faʻafetaui ai manaʻoga faʻapitoa eseese. O meatotino tulaga ese o le GaN e avea ai ma sui autu mo le lumanaʻi o le eletise eletise.
Fa'asologa o Oloa
| Fa'ailoga o le Oloa | Fa'amatalaga |
| Lapoa o le Wafer | 50mm, 100mm, 50.8mm |
| Substrate | Safaira |
| Matotoru o le Vaega GaN | 0.5 μm - 10 μm |
| Ituaiga GaN/Fa'aaogaina o le Doping | Ituaiga-N (E maua le ituaiga-P pe a talosagaina) |
| Fa'asinomaga o le GaN Crystal | <0001> |
| Ituaiga Fa'apala | Fa'apala i le Itu e Tasi (SSP), Fa'apala i le Itu e Lua (DSP) |
| Mafiafia o le Al2O3 | 430 μm - 650 μm |
| TTV (Fesuiaiga o le Mafiafia Atoa) | ≤ 10 μm |
| Aufana | ≤ 10 μm |
| Fa'alava | ≤ 10 μm |
| Eria o le Laueleele | E mafai ona fa'aaogaina le lautele > 90% |
Fesili ma Tali
Q1: O a ni penefiti autū o le faʻaaogaina o le GaN nai lo semiconductors masani e faʻavae i le silicon?
A1E tele ni fa'amanuiaga taua o le GaN nai lo le silicon, e aofia ai le lautele o le bandgap, lea e mafai ai ona taulimaina voltage maualuga ma fa'agaoioia lelei i vevela maualuga. O lenei mea e avea ai le GaN ma mea e sili ona lelei mo fa'aoga malolosi ma fa'atelevave e pei o RF modules, power amplifiers, ma LEDs. O le gafatia o le GaN e taulimaina le maualuga o le eletise e mafai ai fo'i ona fa'aogaina masini laiti ma sili atu ona lelei pe a fa'atusatusa i isi masini e fa'avae i le silicon.
Q2: E mafai ona fa'aaogaina GaN i luga o le Sapphire wafers i fa'aoga MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)?
A2Ioe, e talafeagai le GaN i luga o le Sapphire wafers mo faʻaoga MEMS, aemaise lava pe a manaʻomia le malosi maualuga, mautu o le vevela, ma le pisa maualalo. O le tumau ma le lelei o le meafaitino i siosiomaga maualuga le televave e fetaui lelei mo masini MEMS e faʻaaogaina i fesoʻotaʻiga uaealesi, sensing, ma radar systems.
Q3: O a ni fa'aoga e ono mafai ona fa'aaogaina ai le GaN i feso'ota'iga uaealesi?
A3E fa'aaogaina lautele le GaN i vaega pito i luma o le RF mo feso'ota'iga uaealesi, e aofia ai le atina'e o le 5G, faiga o radar, ma jammers. O lona maualuga o le malosi ma le fa'avevela e fetaui lelei mo masini e maualuga le malosi, e mafai ai ona sili atu le fa'atinoga ma ni foliga laiti pe a fa'atusatusa i fofo e fa'avae i le silicon.
Q4: O a taimi fa'atino ma aofa'iga maualalo o oka mo GaN i luga o wafers Sapphire?
A4O taimi fa'atau ma le aofa'i maualalo o oka e eseese e fa'atatau i le tele o le wafer, le mafiafia o le GaN, ma mana'oga patino a le tagata fa'atau. Fa'amolemole fa'afeso'ota'i sa'o matou mo tau auiliili ma le avanoa e fa'atatau i au fa'amatalaga.
Q5: E mafai ona ou maua le mafiafia o le vaega GaN po'o le maualuga o le doping?
A5Ioe, matou te ofoina atu le fa'atulagaina o le mafiafia o le GaN ma le maualuga o le fa'aaogaina e fetaui ma mana'oga fa'apitoa. Fa'amolemole ta'u mai ia i matou au fa'amatalaga e te mana'o ai, ma o le a matou tu'uina atu se fofo fa'apitoa.
Ata Auiliili
