8inisi LNOI (LiNbO3 i luga ole Insulator) Wafer mo Optical Modulators Waveguides Integrated Circuit
Auiliili Ata
Folasaga
Lithium Niobate i luga ole Insulator (LNOI) wafers o se mea pito sili ona faʻaaogaina i le tele o faʻaoga mataʻutia ma eletise. O nei ma'i apa e gaosia e ala i le tu'uina atu o se vaega manifinifi o le lithium niobate (LiNbO₃) i luga o se mea e fa'amama ai, e masani lava o le silikoni po'o se isi mea talafeagai, e fa'aaoga ai metotia fa'apitoa e pei o le fa'apipi'iina o ion ma le fa'apipi'i wafer. O tekinolosi a le LNOI e tele mea e tutusa ai ma le Silicon on Insulator (SOI) wafer technology ae faʻaaogaina mea faʻapitoa faʻapitoa o le lithium niobate, o se mea e lauiloa mo ona uiga piezoelectric, pyroelectric, ma nonlinear optical features.
LNOI wafers ua maua le gauai tele i matā'upu e pei o feso'ota'iga optics, feso'ota'iga, ma quantum computing ona o le maualuga o lo latou fa'atinoga i fa'aoga maualuga ma televave. O fafie e gaosia i le faʻaogaina o le "Smart-cut" technique, lea e mafai ai ona faʻatonutonu saʻo le mafiafia o le lithium niobate ata manifinifi, faʻamautinoa o loʻo faʻamalieina e wafers faʻamatalaga manaʻomia mo faʻaoga eseese.
Mataupu Faavae
O le fa'agasologa o le fausiaina o LNOI wafers e amata i se tioata tele lithium niobate. O le tioata e faʻapipiʻiina le ion, lea e faʻafeiloaʻi ai ion helium maualuga le malosi i luga o le tioata lithium niobate. O nei ion e ulu i totonu o le tioata i se loloto patino ma faʻalavelaveina le fausaga tioata, fatuina o se vaalele maʻaleʻale e mafai ona faʻaaogaina mulimuli ane e vavae ese ai le tioata i ni mea manifinifi. O le malosi faʻapitoa o le helium ions e pulea le loloto o le faʻapipiʻiina, lea e aʻafia ai le mafiafia o le lithium niobate layer mulimuli.
A maeʻa le faʻapipiʻiina o le ion, e faʻapipiʻi le tioata lithium niobate i se mea e faʻaaoga ai se metotia e taʻua o le wafer bonding. O le faʻagasologa faʻapipiʻi e masani ona faʻaaogaina se auala faʻapipiʻi tuusaʻo, lea e faʻapipiʻi faʻatasi ai luga o le lua (le tioata lithium niobate faʻapipiʻi ion ma le substrate) i lalo o le vevela maualuga ma le mamafa e fatu ai se sootaga malosi. I nisi tulaga, o se mea fa'apipi'i e pei o le benzocyclobutene (BCB) e mafai ona fa'aogaina mo se lagolago fa'aopoopo.
A maeʻa le faʻapipiʻiina, o le wafer e faia se faʻagasologa faʻafefe e toe faʻaleleia ai soʻo se mea leaga e mafua mai i le faʻapipiʻiina o le ion ma faʻaleleia ai le sootaga i le va o laulau. E fesoasoani fo'i le fa'agasologa o le fa'auila i le lapisi manifinifi lithium niobate e fa'ate'a'ese mai le tioata muamua, ma tu'u ai i tua se mea manifinifi, maualuga tulaga maualuga o le lithium niobate e mafai ona fa'aoga mo le fa'againa o masini.
Fa'amatalaga
LNOI wafers o loʻo faʻaalia e le tele o faʻamatalaga taua e faʻamautinoa ai lo latou talafeagai mo talosaga maualuga. E aofia ai:
Fa'amatalaga o meafaitino;
| ;Meafaitino; | ;Fa'amatalaga; |
| Meafaitino | Fa'atasi: LiNbO3 |
| Tulaga lelei | Bubbles po'o fa'aaofia <100μm |
| Fa'atonuga | Y-oti ± 0.2° |
| Malosi | 4.65 g/cm³ |
| Curie Temperature | 1142 ±1°C |
| Malamalama | >95% i le 450-700 nm laina (10 mm mafiafia) |
Fa'amatalaga o le gaosiga;
| ;Parameter; | ;Fa'amatalaga; |
| Diamita | 150 mm ±0.2 mm |
| mafiafia | 350 μm ±10 μm |
| Mafolafola | <1.3 μm |
| Aofa'iga Mafia Eseese (TTV) | Ala <70 μm @ 150 mm wafer |
| Fesuia'iga Mafiafia Fa'apitonu'u (LTV) | <70 μm @ 150 mm wafer |
| Talatala | Rq ≤0.5 nm (tau AFM RMS) |
| Tulaga lelei | 40-20 |
| Vaega (E le mafai ona aveese) | 100-200 μm ≤3 vaega |
| Chips | <300 μm (fa'ato'a uma, leai se sone fa'aesea) |
| Ta'eta'ei | Leai ni ta'e (fulu wafer) |
| Fa'aleagaina | Leai se pisia e le mafai ona aveeseina |
| Fa'atusa | <30 arcseconds |
| Va'alele Fa'asinomaga (X-axis) | 47 ±2 mm |
Talosaga
LNOI wafers o loʻo faʻaaogaina i le tele o faʻaoga ona o latou tulaga faʻapitoa, aemaise lava i matata o photonics, fesoʻotaʻiga, ma tekinolosi faʻatau. O nisi o talosaga autu e aofia ai:
Tu'ufa'atasi mata'utia:LNOI wafers o loʻo faʻaaogaina lautele i fesoʻotaʻiga opitika tuʻufaʻatasia, lea latou te faʻaogaina ai masini photonic maualuga e pei o modulators, waveguides, ma resonators. Ole maualuga ole mea fa'aogaina ole lithium niobate e avea ma filifiliga sili mo talosaga e mana'omia ai le fa'aogaina lelei o le malamalama.
Feso'ota'iga:LNOI wafers o loʻo faʻaaogaina i masini faʻapipiʻi, o vaega taua ia i faiga fesoʻotaʻiga televave, e aofia ai fesoʻotaʻiga fiber optic. O le mafai ona fa'aogaina le malamalama i laina maualuga e lelei ai le LNOI wafers mo faiga fa'aonaponei feso'ota'iga.
Quantum Computing:I tekinolosi quantum, LNOI wafers e faʻaaogaina e faʻapipiʻi vaega mo komepiuta quantum ma faiga fesoʻotaʻiga quantum. O mea fa'apitoa ole laina ole LNOI o lo'o fa'aogaina e fa'atupuina ai pa'aga photon, e taua tele mo le tufatufaina atu o le ki ma le fa'asologa o ata.
Sensors:LNOI wafers o lo'o fa'aogaina i le tele o fa'aoga lagona, e aofia ai masini fa'apitoa ma fa'alogo. O lo latou gafatia e fegalegaleai ai ma le malamalama ma le leo e mafai ai ona faʻaogaina mo ituaiga eseese o tekinolosi faʻalogo.
FAQ
Q:O le a le tekonolosi LNOI?
A: LNOI tekinolosi e aofia ai le fesiitaiga o se ata manifinifi lithium niobate i luga o se mea fa'amama, e masani lava o le silicon. O lenei tekinolosi e faʻaaogaina ai mea faʻapitoa o le lithium niobate, e pei o ona uiga maualuga e le faʻaogaina, piezoelectricity, ma le pyroelectricity, e faʻaogaina ai le faʻaogaina o optics ma fesoʻotaʻiga.
Q:O le a le eseesega i le va o LNOI ma SOI wafers?
A: E tutusa uma le LNOI ma le SOI wafers ona e aofia ai se vaega manifinifi o mea e pipii i se mea'ai. Ae ui i lea, o LNOI wafers e faʻaaogaina le lithium niobate e fai ma mea manifinifi ata, ae faʻaogaina e le SOI wafers le silicon. O le eseesega autu o loʻo taoto i meatotino o mea ata tifaga manifinifi, faʻatasi ai ma le LNOI o loʻo ofoina atu mea faʻapitoa ma piezoelectric.
Q:O a ni fa'amanuiaga ole fa'aogaina ole LNOI wafers?
A: O faʻamanuiaga autu o LNOI wafers e aofia ai a latou mea faʻapitoa sili ona lelei, e pei o le maualuga o le faʻaogaina o mea faʻapitoa, ma lo latou malosi faʻainisinia. O nei uiga e lelei ai le LNOI wafers mo le faʻaaogaina i le televave, maualuga-televave, ma le quantum applications.
Q:E mafai ona fa'aogaina le LNOI wafers mo talosaga fa'atusa?
A: Ioe, LNOI wafers o loʻo faʻaaogaina lautele i tekinolosi quantum ona o lo latou gafatia e faʻatupuina paʻu photon ma lo latou fetaui ma photonics tuʻufaʻatasia. O nei meatotino e taua tele mo faʻaoga i le quantum computing, fesoʻotaʻiga, ma cryptography.
Q:O le a le mafiafia masani o ata LNOI?
A: O ata LNOI e masani lava ona amata mai i nai selau nanometers i le tele o micrometers i le mafiafia, e fa'atatau i le fa'aoga patino. O le mafiafia e pulea i le taimi o le faʻaogaina o le ion.
