LNOI Wafer (Lithium Niobate i luga o le Insulator) Fesootaiga e Lagona ai le Electro-Optic Maualuga
Ata Auiliili
Aotelega
I totonu o le pusa wafer o loʻo i ai ni ala e tutusa lelei, o ona fua e matua tutusa lava e lagolago ai itu e lua o le wafer. O le pusa tioata e masani ona faia i le palasitika manino PP e teteʻe atu i le vevela, le ofuina ma le eletise tumau. E faʻaaogaina lanu eseese o mea faʻaopoopo e iloa ai vaega o le faagasologa o uʻamea i le gaosiga o semiconductor. Ona o le laʻititi o le tele o ki o semiconductors, mamanu mafiafia, ma manaʻoga faʻapitoa o le tele o vaega i le gaosiga, e tatau ona faʻamautinoa le mama o le siosiomaga o le pusa wafer ina ia fesoʻotaʻi ma le microenvironment box reaction cavity o masini gaosi eseese.
Metotia o le Fausiaina
O le gaosiga o wafers LNOI e aofia ai ni laasaga sa'o:
Laasaga 1: Fa'apipi'iina o le Helium IonE fa'aofiina ions helium ions i totonu o se tioata LN tele e fa'aaoga ai se ion implanter. O nei ions e nonofo i se loloto fa'apitoa, ma fausia ai se va'alele vaivai lea o le a iu ai ina fa'afaigofie ai le vavae'ese o le ata tifaga.
Laasaga 2: Fausiaina o le Base SubstrateO se isi silicon po'o se LN wafer e fa'a'okesaita pe fa'aputu i le SiO2 e fa'aaoga ai le PECVD po'o le fa'a'okesaitaina fa'avevela. O lona pito i luga e fa'alelei mo le pipii lelei.
Laasaga 3: Fa'apipi'iina o le LN i le SubstrateO le tioata LN ua fa'apipi'iina i le ion e fuli ma fa'apipi'i i le wafer fa'avae e fa'aaoga ai le fa'apipi'iina sa'o o le wafer. I tulaga o su'esu'ega, e mafai ona fa'aaoga le benzocyclobutene (BCB) o se mea fa'apipi'i e fa'afaigofie ai le fa'apipi'iina i lalo o tulaga e le faigata tele.
Laasaga 4: Togafitiga Fa'avevela ma le Vavae'eseina o Ata TifagaE fa'agaoioia e le fa'avevela (annealing) le fausiaina o pupuni i le loloto ua totoina, ma mafai ai ona vavae'eseina le ata manifinifi (vaega pito i luga o le LN) mai le vaega tele. E fa'aaogaina le malosi fa'amekanika e fa'amae'a ai le aveeseina o le pulupulu.
Laasaga 5: Fa'apupulaina o le LaueleeleE faʻaaogaina le Chemical Mechanical Polishing (CMP) e faʻalelei ai le pito i luga o le LN, faʻaleleia atili ai le lelei o le vaʻaiga ma le saoasaoa o le masini.
Fa'atulagaga Fa'apitoa
| Meafaitino | Opitika Vasega LiNbO3 uafe (Pa'epa'e or Lanu uliuli) | |
| Kurie Vevela | 1142±0.7℃ | |
| Otiotiina Tulimanu | X/Y/Z ma isi | |
| Lapo'a/tele | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| Mafiafia | 0.18～0.5mm pe sili atu | |
| Peraimeri Mafolafola | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Aufana | -30 | |
| Fa'alava | <40μm | |
| Fa'asinomaga Mafolafola | O lo'o maua uma | |
| Luga Ituaiga | Itu e tasi ua fa'apupulaina (SSP)/Itu e lua ua fa'apupulaina (DSP) | |
| Fa'apupula itu Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Pito Tulaga Fa'atonuina | R=0.2mm Ituaiga-C or Isu pulu | |
| Tulaga lelei | Sa'oloto of māvaevae (pupuni ma mea e aofia ai) | |
| Opitika fa'asusuina | Mg/Fe/Zn/MgO ma isi mea faapena mo opitika vasega LN falaoa manifinifi i le talosagaina | |
| Wafer Luga Tulaga Fa'atonuina | Fa'asinomaga o le fa'ata'ita'iga | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm metotia o le fa'apipi'iina o le galu/prism. |
| Fa'aleagaina, | Leai se tasi | |
| Vaega c>0.3μ m | <=30 | |
| Vali, Malepe | Leai se tasi | |
| Fa'aletonu | Leai ni māvaevae i le pito, maosi, maka o le ili, po'o ni ila | |
| Afifiina | Aofa'i/Pusa Wafer | 25 fasi i le pusa |
Fa'aoga o Mataupu
Ona o lona fetuutuunai ma le faatinoga, ua faʻaaogaina ai le LNOI i le tele o alamanuia:
Photonics:O masini fa'atonutonu laiti, masini fa'atele, ma matagaluega photonic.
RF/Leo Fa'a-leo:Fa'atonutonu leo-optic, faamama RF.
Komepiuta Kuantum:O mea fa'afefiloi fa'asolosolo e le laina sa'o ma mea fa'atupu paga-photon.
Puipuiga ma Vaalele:Gyros opitika e maualalo le leiloa, masini e sui ai le televave.
Meafaigaluega Faafoma'i:O masini fa'aola opitika ma su'ega fa'ailoilo maualuga-taimi.
Fesili e Masani Ona Fesiligia
S: Aiseā e sili atu ai le LNOI nai lo le SOI i faiga opitika?
A:O le LNOI e sili atu ona lelei le electro-optic coefficients ma le lautele o le transparency range, e mafai ai ona maualuga le faʻatinoga i photonic circuits.
F: E mana'omia ea le CMP pe a uma ona vaeluaina?
A:Ioe. O le fogāeleele LN ua aliali mai e ma'a'a pe a uma ona tipiina i le ion ma e tatau ona fa'apulusaina ina ia ausia ai tulaga fa'atonuina o le vasega opitika.
F: O le a le tele aupito maualuga o le wafer e maua?
A:O wafers LNOI fa'apisinisi e tele lava ina 3” ma le 4”, e ui o nisi o lo'o fa'atino e le au sapalai ni ituaiga e 6”.
S: E mafai ona toe fa'aaogaina le vaega LN pe a uma ona vaeluaina?
A:E mafai ona toe fa'apulusaina le tioata autū ma toe fa'aaogaina i ni nai taimi, e ui e ono fa'aitiitia lona lelei pe a uma ni ta'amilosaga se tele.
F: E fetaui lelei LNOI wafers ma le CMOS processing?
A:Ioe, ua mamanuina ina ia ogatasi ma faiga masani o le gaosiga o semiconductor, aemaise lava pe a faʻaaogaina mea e fai i le silicon.
