Meafaigaluega tekonolosi laser Microjet e tipi ai le fa'agasologa o mea SiC

Meafaigaluega tekonolosi laser Microjet e tipi ai le wafer SiC material processing Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O masini tekonolosi laser Microjet o se ituaiga o masini fa'a'eletise sa'o e tu'ufa'atasia ai le laser malosi maualuga ma le micron-level liquid jet. E ala i le fa'apipi'iina o le ave laser i le vai fa'a'eletise saoasaoa maualuga (vai deionized po'o vai fa'apitoa), e mafai ona fa'atinoina le fa'agasologaina o meafaitino ma le sa'o maualuga ma le fa'aleagaina maualalo o le vevela. O lenei tekinolosi e matua'i talafeagai mo le tipiina, viliina ma le fa'agasologaina o microstructure o mea malo ma ma'ale'ale (e pei o le SiC, safaira, tioata), ma e fa'aaogaina lautele i semiconductor, fa'aaliga photoelectric, masini fa'afoma'i ma isi matata.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Mataupu faavae o le galue:

1. Fa'apipi'iina o le laser: o le laser pulsed (UV/lanumeamata/infrared) e taula'i i totonu o le vai e fausia ai se auala mautu o le fesiita'iga o le malosi.

2. Taiala vai: vaalele saoasaoa maualuga (tafe 50-200m/s) e faamaluluina ai le vaega o loo faagasoloina ma aveese otaota e aloese ai mai le faaputuputuina o le vevela ma le filogia.

3. Aveeseina o meafaitino: O le malosiaga o le laser e mafua ai le aafiaga o le cavitation i le vai e ausia ai le faagasologa malulu o le meafaitino (sone ua aafia i le vevela <1μm).

4. Pulea fa'aolaola: fetu'una'iga i le taimi moni o fa'asologa o le laser (malosiaga, televave) ma le mamafa o le jet e fa'afetaui ai mana'oga o meafaitino ma fausaga eseese.

Fa'asologa autū:

1. Malosiaga o le leisa: 10-500W (fetuunai)

2. Lapoa o le vaalele: 50-300μm

3. Sa'o o le masini: ±0.5μm (tipiina), fua faatatau o le loloto i le lautele 10:1 (viliina)

Fa'amanuiaga fa'apitoa:

(1) Toetoe lava a leai se fa'aleagaina o le vevela
- E pulea e le vai malulu le vaega ua a'afia i le vevela (HAZ) i le **<1μm**, e 'alofia ai ni māvaevae laiti e mafua mai i le fa'agasologa masani o le laser (e masani lava ona >10μm le HAZ).

(2) Masini e matuā sa'o lelei
- Sa'o le tipiina/viliina e o'o atu i le **±0.5μm**, ma'ale'ale o pito Ra<0.2μm, e fa'aitiitia ai le mana'omia mo le fa'apulusaina mulimuli ane.

- Lagolagoina le fa'agasologa faigata o le fausaga 3D (e pei o pu fa'akoniki, avanoa fa'apitoa).

(3) Fegalegaleai lautele o meafaitino
- Mea malo ma maaleale: SiC, safaira, tioata, seramika (e faigofie ona nutililii auala masani).

- Mea e maaleale i le vevela: polymers, aano o manu (leai se lamatiaga o le faaleagaina o le vevela).

(4) Puipuiga o le siosiomaga ma le lelei o le fa'aogaina
- E leai se fa'aleagaina o le pefu, e mafai ona toe fa'aaogaina ma fa'amamāina le vai.

- 30%-50% fa'aopoopoga i le saoasaoa o le fa'agasologa (fa'atusatusa i le masini).

(5) Pulea atamai
- Tuufaatasia o le tulaga vaaia ma le faʻaleleia atili o parakalafa a le AI, fetuutuunai o le mafiafia o meafaitino ma mea sese.

Fa'amatalaga fa'apitoa：

Leo o le laulau i luga o le laulau	300300150	400400200
Autū laina XY	Afi laina. Afi laina	Afi laina. Afi laina
Autū laina Z	150	200
Sa'o o le tulaga μm	+/-5	+/-5
Sa'o le tulaga toe fai μm	+/-2	+/-2
Fa'avavevave G	1	0.29
Pulea fa'afuainumera	3 au /3+1 au /3+2 au	3 au /3+1 au /3+2 au
Ituaiga pulea numera	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Umi o le galu nm	532/1064	532/1064
Malosiaga fa'atulagaina W	50/100/200	50/100/200
Vai fa'asusu	40-100	40-100
Pa o le mamafa o le nozzle	50-100	50-600
Fua (meafaigaluega masini) (lautele * umi * maualuga) mm	144519442260	170015002120
Tele (kapoti pulea) (L * M * H)	70025001600	70025001600
Mamafa (meafaigaluega) T	2.5	3
Mamafa (kapoti pulea) KG	800	800
Malosiaga fa'agasolo	Fa'alavelave o le fogāeleele Ra≤1.6um Saosaoa tatala ≥1.25mm/s Tipiina o le li'o ≥6mm/s Saosaoa tipi laina ≥50mm/s	Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele Ra≤1.2um Saosaoa tatala ≥1.25mm/s Tipiina o le li'o ≥6mm/s Saosaoa tipi laina ≥50mm/s
	Mo le tioata gallium nitride, mea semiconductor ultra-wide band gap (diamond/Gallium oxide), mea fa'apitoa a le aerospace, LTCC carbon ceramic substrate, photovoltaic, scintillator crystal ma isi mea e fa'agaoioia. Manatua: E eseese le gafatia o le fa'agasologa e fuafua i uiga o meafaitino

Mataupu fa'agasologa:

Auaunaga a le XKH:

E tuʻuina atu e le XKH se vaega atoa o le lagolago atoa o le olaga atoa mo masini tekonolosi laser microjet, mai le atinaʻeina o le faagasologa muamua ma le feutagaiga i le filifilia o masini, i le ogatotonu o le tuʻufaʻatasia o le faiga faʻapitoa (e aofia ai le fetaui faapitoa o le puna laser, faiga jet ma le module otometi), i le faʻagaioiga mulimuli ane ma aʻoaʻoga tausiga ma le faʻaleleia atili o le faagasologa, o le faagasologa atoa ua faʻapipiʻiina i le lagolago a le 'au faʻapitoa; E faʻavae i luga o le 20 tausaga o le poto masani i le masini saʻo, e mafai ona matou tuʻuina atu fofo e tasi e aofia ai le faʻamaonia o masini, faʻalauiloaina o le gaosiga tele ma le tali vave pe a uma le faʻatau atu (24 itula o le lagolago faʻapitoa + vaega faʻasao autu) mo pisinisi eseese e pei o semiconductor ma fomaʻi, ma folafola atu le 12 masina le umi o le tusi saisai ma le tausiga ma le faʻaleleia o le olaga atoa. Ia mautinoa o masini a tagata faʻatau e faʻatumauina pea le faʻatinoga ma le mautu o le gaosiga i le alamanuia.