E mafai ona fa'aogaina le mamanu o le Sapphire Substrate PSS 2 inisi 4 inisi 6 inisi ICP dry etching mo chips LED
Uiga autū
1. Uiga o meafaitino: O le mea o lo'o i lalo o le maa o se safaira tioata e tasi (Al₂O₃), e maualuga lona ma'a'a, tete'e maualuga i le vevela ma mautu i vaila'au.
2. Fausaga o le fogaeleele: O le fogaeleele e fausia e ala i le photolithography ma le vaneina i totonu o fausaga micro-nano faavaitaimi, e pei o cones, pyramids poʻo hexagonal arrays.
3. Fa'atinoga opitika: E ala i le mamanu o le fogāeleele, e fa'aitiitia ai le atagia atoa o le malamalama i le va, ma fa'aleleia atili ai le lelei o le aveeseina o le malamalama.
4. Fa'atinoga o le vevela: O le mea e fai i le safaira e sili ona lelei le fa'avevela, e talafeagai mo fa'aoga LED e maualuga le malosi.
5. Fa'amatalaga o le tele: O tele masani e 2 inisi (50.8mm), 4 inisi (100mm) ma le 6 inisi (150mm).
Vaega autu o faʻaoga
1. Gaosiga o le LED:
Fa'aleleia atili le lelei o le aveese o le malamalama: E fa'aitiitia e le PSS le leiloa o le malamalama e ala i le mamanuina o mamanu, ma fa'aleleia atili ai le pupula o le LED ma le lelei o le malamalama.
Fa'aleleia atili le tulaga lelei o le tuputupu a'e epitaxial: O le fausaga fa'ata'ita'i e maua ai se fa'avae tuputupu a'e lelei mo vaega epitaxial GaN ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o le LED.
2. Diode Laser (LD):
Lasers malolosi: O le maualuga o le conductivity thermal ma le mautu o le PSS e fetaui lelei mo diodes laser malolosi, e faʻaleleia atili ai le faʻatinoga ma le faʻatuatuaina o le faʻasaʻolotoina o le vevela.
Tafe maualalo o le tulaga: Fa'aleleia atili le tuputupu a'e o le epitaxial, fa'aitiitia le tafe o le tulaga o le laser diode, ma fa'aleleia le lelei.
3. Mea e iloa ai ata:
Maualuga le maaleale: O le maualuga o le malamalama e fa'asalalauina ma le maualalo o le mafiafia o mea sese o le PSS e fa'aleleia atili ai le maaleale ma le saoasaoa o le tali atu o le photodetector.
Tali lautele o le spectral: talafeagai mo le iloa o le photoelectric mai le ultraviolet i le va'aiga vaaia.
4. Mea fa'aeletoronika eletise:
Tete'e maualuga i le voltage: O le maualuga o le puipuiga mai le vevela ma le mautu o le Sapphire e fetaui lelei mo masini eletise maualuga le voltage.
Fa'aitiitia lelei o le vevela: O le maualuga o le fa'avevela e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o masini eletise i le fa'aumatia o le vevela ma fa'aumiumi ai le umi e fa'aaoga ai.
5. Masini Rf:
Fa'atinoga maualuga: O le maualalo o le dielectric loss ma le maualuga o le mautu o le vevela o le PSS e talafeagai mo masini RF maualuga.
Pisa maualalo: O le maualuga o le lamolemole ma le maualalo o le mafiafia o mea sese e faʻaitiitia ai le pisa o masini ma faʻaleleia le lelei o le faʻailo.
6. Biosensors:
Iloa maualuga le maaleale: O le maualuga o le fesiitaiga o le malamalama ma le mautu o vailaʻau o le PSS e talafeagai mo biosensors e maualuga le maaleale.
Feso'ota'iga Fa'aletino: O le fetaui lelei o le safaira i mea fa'aletino e talafeagai ai mo fa'aoga fa'afoma'i ma su'esu'ega fa'aletino.
O le mamanu o le safaira (PSS) fa'atasi ai ma le mea epitaxial GaN:
O le mamanu o le safaira (PSS) o se mea lelei tele mo le tuputupu aʻe o le GaN (gallium nitride) epitaxial. O le lattice constant o le safaira e latalata i le GaN, lea e mafai ona faʻaitiitia ai le le fetaui o le lattice ma faʻaletonu i le tuputupu aʻe o le epitaxial. O le micro-nano structure o le PSS surface e le gata ina faʻaleleia atili ai le lelei o le faʻamamago o le malamalama, ae faʻaleleia atili ai foʻi le tulaga lelei o le tioata o le GaN epitaxial layer, ma faʻaleleia atili ai le faʻatinoga ma le faʻatuatuaina o le LED.
Fa'atulagaga fa'apitoa
| Mea | Matā Safaira Fa'ata'ita'i (2~6 inisi) | ||
| Lapoa | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Mafiafia | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Fa'atulagaga o le fogaeleele | C-plane (0001) ese mai le tulimanu agai i le M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-plane (0001) e ese mai le tulimanu agai i le A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Fa'asinomaga Laulau Muamua | Va'alele-A (11-20) ± 1.0° | ||
| Umi Mafolafola Autū | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| Va'alele-R | 9 i le taeao | ||
| Fa'auma o le Luga i Luma | Fa'ata'ita'iina | ||
| Fa'auma o le Tua | SSP: Eleele lelei, Ra=0.8-1.2um; DSP: Eleele fa'apala, Ra<0.3nm | ||
| Fa'ailoga Laser | I tua | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| AUFANA | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| VAE | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Tuusaunoaga o le Pito | ≤2 mm | ||
| Fa'amatalaga o le mamanu | Fausaga o le Foliga | Dome, Cone, Pyramid | |
| Maualuga o le mamanu | 1.6~1.8μm | ||
| Lapoa o le mamanu | 2.75~2.85μm | ||
| Avanoa o le Mamanu | 0.1~0.3μm | ||
E fa'apitoa le XKH i le tu'uina atu o mea e fai ai le safaira (PSS) e maualuga le tulaga lelei, fa'apitoa i mamanu fa'apitoa fa'atasi ai ma le lagolago fa'apitoa ma le tautua pe a mae'a le fa'atau atu e fesoasoani ai i tagata fa'atau e ausia ni fa'afouga lelei i le matata o le LED, fa'aaliga ma le optoelectronics.
1. Sapalai PSS maualuga le tulaga lelei: O mea teuteu safaira ua mamanuina i le tele o lapopoa (2", 4", 6") e fa'afetaui ai mana'oga o LED, fa'aaliga ma masini optoelectronic.
2. Fuafuaga fa'apitoa: Fa'apitoa le fausaga micro-nano o le fogaeleele (e pei o le cone, pyramid po'o le hexagonal array) e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau e fa'aleleia atili ai le lelei o le fa'amamagoina o le malamalama.
3. Lagolago fa'apitoa: Tu'uina atu le mamanu o talosaga PSS, fa'aleleia atili o le fa'agasologa ma fautuaga fa'apitoa e fesoasoani ai i tagata fa'atau e fa'aleleia atili le fa'atinoga o oloa.
4. Lagolago i le tuputupu aʻe o le epitaxial: O loʻo tuʻuina atu le PSS e fetaui ma le mea epitaxial GaN e faʻamautinoa ai le tuputupu aʻe lelei o le vaega epitaxial.
5. Su'ega ma le fa'amaoniga: Tu'uina atu le lipoti o le siakiina o le lelei o le PSS e fa'amautinoa ai o lo'o ausia e oloa tulaga fa'atonuina o le alamanuia.
Ata Auiliili
