O Meafaigaluega Siitia o le Semiconductor Laser ua Fa'afouina ai le Fa'aitiitia o le Ingot
Ata Auiliili
Fa'atomuaga o le Oloa o Meafaigaluega Si'itia o le Semiconductor Laser
O le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment o se fofo fa'apisinisi fa'apitoa tele ua mamanuina mo le fa'amama sa'o ma le le feso'ota'i o ingot semiconductor e ala i metotia fa'amama e mafua mai i le laser. O lenei faiga fa'aonaponei e taua tele i faiga fa'aonaponei o le fa'amama semiconductor, aemaise lava i le gaosiga o wafers manifinifi mo eletise eletise maualuga, LEDs, ma masini RF. I le fa'atagaina o le vavae'eseina o vaega manifinifi mai ingot tetele po'o mea foa'i, o le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment e suia ai le fa'amama ingot e ala i le fa'aitiitia o le iliina fa'amekanika, oloina, ma la'asaga o le eliina fa'akemikolo.
O le fa'amamago masani o polo semiconductor, e pei o le gallium nitride (GaN), silicon carbide (SiC), ma le safaira, e masani ona tele ai le galuega, fa'aalu ai le taimi, ma faigofie ona malepe pe fa'aleagaina ai fo'i luga. I se fa'atusatusaga, o le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment e ofoina atu se isi auala e le fa'aleagaina, sa'o lelei e fa'aitiitia ai le leiloa o meafaitino ma le mamafa o luga a'o fa'ateleina ai le gaosiga. E lagolagoina ai le tele o ituaiga o meafaitino crystalline ma mea tu'ufa'atasi ma e mafai ona tu'ufa'atasia lelei i totonu o laina gaosiga o semiconductor pito i luma po'o le ogatotonu.
Faatasi ai ma galu laser e mafai ona fetuutuunai, faiga taulaiga fetuutuunai, ma wafer chucks e fetaui ma le vacuum, o lenei meafaigaluega e matua fetaui lelei lava mo le tipiina o ingot, fatuina o lamella, ma le vavaeesega o ata tifaga manifinifi mo fausaga o masini faatulagaina po o le fesiitaiga o vaega heteroepitaxial.
Parakalafa o Meafaigaluega e Siitia ai le Semiconductor Laser
| Umi o galu | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| Lapopo'a o le Pulse | Nanosekone, Picosekone, Femtosekone |
| Faiga Fa'apitoa o le Optical | Faiga fa'apitoa opitika po'o le faiga fa'apitoa opitika Galvano |
| Vaega XY | 500 mm × 500 mm |
| Fa'agasologa o le Fa'agasologa | 160 milimita |
| Saosaoa o le Fegalegaleaiga | Maualuga 1,000 mm/sekone |
| Toe fai | ±1 μm pe itiiti ifo |
| Sa'o atoatoa o le tulaga: | ±5 μm pe itiiti ifo |
| Tele o le Wafer | 2–6 inisi pe fa'apitoa |
| Pulea | Windows 10,11 ma le PLC |
| Voltage o le Sapalai o le Mana | AC 200 V ±20 V, Vaega e tasi, 50/60 kHz |
| Fuataga i Fafo | 2400 mm (L) × 1700 mm (H) × 2000 mm (H) |
| Mamafa | 1,000 kilokalama |
Mataupu Faavae o le Fa'agaoioiga o Meafaigaluega Si'itia o le Semiconductor Laser
O le faiga autū o le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment e faʻalagolago i le photothermal decomposition poʻo le ablation i le va o le donor ingot ma le epitaxial poʻo le target layer. O se laser UV malosi tele (e masani lava o le KrF i le 248 nm poʻo solid-state UV lasers e tusa ma le 355 nm) e faʻatatau i totonu o se mea foaʻi manino poʻo le semi-transparent, lea e mitiia ai le malosi i se loloto ua uma ona fuafuaina.
O lenei mitiia o le malosiaga fa'alotoifale e fausia ai se vaega kesi maualuga le mamafa po'o se vaega fa'alauteleina o le vevela i le va, lea e amataina ai le fa'amamaina o le vaega pito i luga o le wafer po'o le vaega o le masini mai le fa'avae o le ingot. O le faiga e fa'aleleia lelei e ala i le fetu'una'iina o mea e pei o le lautele o le pulse, le laser fluence, le saoasaoa o le scanning, ma le loloto o le focal z-axis. O le i'uga o se fasi manifinifi tele—e masani lava i le va o le 10 i le 50 µm—e vavae'ese mama mai le ingot matua e aunoa ma le oloina fa'amekanika.
O lenei metotia o le laser lift-off mo le fa'amamago o le ingot e 'alofia ai le gau o le kerf ma le fa'aleagaina o le fogaeleele e feso'ota'i ma le seleina o uaea taimane po'o le fa'apipi'iina fa'amekanika. E puipuia ai fo'i le tulaga lelei o le tioata ma fa'aitiitia ai mana'oga fa'apulusaina i lalo ifo, ma avea ai le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment ma meafaigaluega e suia ai le ta'aloga mo le gaosiga o le isi tupulaga o le wafer.
Fa'aaogāga o Meafaigaluega Si'itia o le Semiconductor Laser
E lautele le fa'aaogaina o le Semiconductor Laser Lift-Off Meafaigaluega i le fa'amamago o le ingot i le tele o meafaitino fa'aonaponei ma ituaiga masini, e aofia ai:
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Fa'aitiitia o le GaN ma le GaAs Ingot mo Masini Fa'aeletise
E mafai ai ona faia ni wafer manifinifi mo ni transistors ma diodes eletise e maualuga le lelei ma maualalo le tete'e.
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Toe Fa'aleleia o le SiC Substrate ma le Vavae'eseina o Lamella
E mafai ai ona si'itia i luga le tele o le wafer mai le tele o mea fa'apipi'i SiC mo fausaga fa'atulagaina o masini ma le toe fa'aaogaina o le wafer.
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Otiotiina o le Wafer LED
Fa'afaigofieina le si'itia ese o vaega GaN mai polo safaira mafiafia e gaosia ai ni mea fa'apipi'i LED manifinifi tele.
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Fausiaina o Masini RF ma le Microwave
Lagolagoina fausaga manifinifi o le transistor maualuga-electron-mobility (HEMT) e manaʻomia i le 5G ma faiga radar.
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Fesiitaiga o le Vaega Epitaxial
E vavae'ese sa'o vaega epitaxial mai ingot crystalline mo le toe fa'aaogaina pe tu'ufa'atasia i totonu o heterostructures.
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Sela La Manifi ma le Photovoltaics
E fa'aaogaina e vavae'ese ai vaega manifinifi e mitiia ai mea mo sela la e fetu'una'i pe maualuga le lelei.
I nei vaega taʻitasi, o le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment e tuʻuina atu ai le pulea e le mafaatusalia i le tutusa o le mafiafia, lelei o le fogaeleele, ma le mautu o le vaega.
Fa'amanuiaga o le Fa'amamago o le Ingot e Fa'avae i le Laser
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Leiloa o Meafaitino e Leai se Kerf
Pe a faʻatusatusa i metotia masani o le tipiina o le wafer, o le faiga o le laser e mafua ai le toetoe lava 100% o le faʻaaogaina o meafaitino.
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Fa'aitiitia le Lototiga ma le Pi'o
O le siiina e aunoa ma se pa'i e aveese ai le gatete fa'amekanika, fa'aitiitia ai le aufana wafer ma le fa'atupuina o ni māvaevae laiti.
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Puipuiga o le Tulaga Lelei o le Foliga
E le mana'omia le fa'apala pe fa'amama pe a uma ona fa'a'anenefu i le tele o tulaga, auā o le laser lift-off e puipuia ai le tulaga lelei o le pito i luga.
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Fa'atinoina Maualuga ma Sauniuni mo le Fa'aogaina o le Otometi
E mafai ona fa'agasolo le faitau selau o mea faigaluega i le sifi ta'itasi fa'atasi ai ma le uta/la'ueseina otometi.
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Fetuuna'i i Meafaitino eseese
E fetaui ma GaN, SiC, safaira, GaAs, ma mea fou III-V.
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Saogalemu i le Siosiomaga
Fa'aitiitia le fa'aaogaina o mea fa'a'a'a ma vaila'au malolosi e masani ona fa'aogaina i faiga fa'a'a'a'a e fa'avae i luga o slurry.
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Toe Fa'aaogāina o le Substrate
E mafai ona toe fa'aaogaina poloka foa'i mo ni ta'amilosaga se tele o le si'itia i luga, ma fa'aitiitia ai tele tau o meafaitino.
Fesili e Masani Ona Fesiligia (FAQ) o Meafaigaluega e Siitia ai le Semiconductor Laser
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Q1: O le a le tele o le mafiafia e mafai ona ausia e le Semiconductor Laser Lift-Off Equipment mo fasi wafer?
A1:O le mafiafia masani o le fasi pepa e mai le 10 µm i le 100 µm e fuafua i le meafaitino ma le faʻatulagaga.S2: E mafai ona fa'aaogaina lenei masini e fa'amama ai ni polo e faia i mea e le mafaagaloina e pei o le SiC?
A2:Ioe. I le fetu'una'i o le galu o le laser ma le fa'aleleia atili o le inisinia o le feso'ota'iga (e pei o le sacrificial interlayers), e o'o lava i meafaitino e le opaque e mafai ona fa'agasoloina.Q3: E fa'apefea ona fa'atulaga le mea e tu'uina atu ai le foa'i a'o le'i fa'agaoioia le laser?
A3:E fa'aaogā e le faiga ni vaega fa'atulagaina e fa'avae i luga o le va'ai e laiti ifo i le micron fa'atasi ai ma ni fa'amatalaga mai fa'ailoga fa'amaoni ma su'esu'ega o le toe atagia o luga.Q4: O le a le taimi fa'ata'amilosaga e fa'amoemoeina mo le tasi le fa'agaioiga o le laser lift-off?
A4:E fuafua i le telē ma le mafiafia o le apa, o taʻamilosaga masani e mai le 2 i le 10 minute le umi.Q5: E manaʻomia e le faagasologa se siosiomaga mama?
A5:E ui e lē o se mea e faamalosia, ae e fautuaina le faapipiiina o se potu mama ina ia faatumauina ai le mama o le substrate ma le gafatia o le masini i taimi o galuega faatino e maualuga le sa'o.
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E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.
