SiC fa'ai'u sima lima tu'uina atu mo le ga'o fa'amomoli
SiC ceramic end effector Abstract
O le SiC (Silicon Carbide) ceramic end-effector o se vaega taua tele i faiga faʻapipiʻi saʻo maualuga o loʻo faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductor ma siʻosiʻomaga microfabrication maualuga. Faʻainisinia e faʻamalieina manaʻoga manaʻomia o siʻosiʻomaga ultra-mama, maualuga-vevela, ma sili ona mautu, o lenei faʻapitoa faʻapitoa e faʻamautinoaina le faʻatuatuaina ma le leai o se faʻaleagaina o felauaiga i taimi o laʻasaga gaosiga autu e pei o le lithography, etching, ma le tuʻuina.
O le fa'aaogaina o meafaitino sili atu o le silicon carbide-e pei o le maualuga o le vevela, le maaa tele, le lelei o le vailaʻau, ma le faʻalauteleina o le vevela-o le SiC ceramic end-effector e ofoina atu le maaa faʻainisinia e le mafaatusalia ma tulaga mautu e oʻo lava i lalo o le uila vave vevela poʻo totonu o potu faʻaleagaina. O lona fa'atupuina o vaega laiti ma uiga fa'asaga i le plasma e fa'apena ona fetaui lelei mo potu mama ma masini gaogao, lea e fa'atumauina ai le fa'atumauina o le sa'o lelei o luga o le ga'o ma le fa'aitiitia o le fa'aleagaina o vaega e sili ona taua.
SiC ceramic end effector Application
1. Fa'ata'ita'iina o Wafer Semiconductor
SiC ceramic end effectors o loʻo faʻaaogaina lautele i le semiconductor alamanuia mo le faʻaogaina o faʻamaʻi silikoni i le taimi o le gaosiga faʻapitoa. O nei mea fa'ai'uga e masani lava ona fa'ae'e i luga o lima robotic po'o masini fa'afefe ma ua mamanuina e fa'aoga ai fafie o lapopo'a eseese e pei ole 200mm ma le 300mm. E taua i latou i faiga e aofia ai le Fa'a'ofuina o Ausa Fa'ama'i (CVD), Fua Fa'aletino (PVD), togitogi, ma fa'asalalau-lea e masani ai le maualuga o le vevela, tulaga gaogao, ma kasa pala. O le malosi fa'apitoa a le SiC ma le mautu o vaila'au ua avea ai ma mea lelei e tatalia ai si'osi'omaga faigata e aunoa ma le fa'aleagaina.
2. Potu mama ma Vacuum Fegalegaleai
I totonu o potu mama ma vacuum settings, lea e tatau ona faʻaitiitia ai le faʻaleagaina o mea iti, SiC ceramics e ofoina atu tulaga lelei. O le mea mafiafia, lamolemole luga e tete'e ai le fa'atupuina o ni vaega laiti, e fesoasoani e fa'amautu le fa'amaoni o le wafer i le taimi o felauaiga. O le mea lea e fetaui lelei ai le fa'ai'uga o le SiC mo faiga fa'apitoa e pei ole Extreme Ultraviolet Lithography (EUV) ma le Atomic Layer Deposition (ALD), lea e taua ai le mama. E le gata i lea, o le maualalo o le alu ese o le SiC ma le maualuga o le plasma tetee e mautinoa ai le faʻatuatuaina o le faʻatinoga i potu gaogao, faʻalauteleina le ola o meafaigaluega ma faʻaitiitia le tausiga o taimi.
3. Faiga Fa'atonu Maualuga
O le sa'o ma le mautu e taua tele i faiga fa'apipi'i fa'apipi'i, ae maise i su'esu'ega, su'esu'ega, ma meafaigaluega fa'aoga. SiC ceramics e matua maualalo le maualuga o le faʻalauteleina o le vevela ma le maualuga o le malo, lea e mafai ai e le faʻamaʻi faʻaiʻuga ona faatumauina lona saʻo lelei e tusa lava pe i lalo o le uila vevela poʻo le uta faʻainisinia. O le mea lea e fa'amautinoa ai o lo'o fa'atutu tonu pea le fa'a'au'au i le taimi o felauaiga, fa'aitiitia ai le lamatiaga o ni ma'a'a laiti, fa'aletonu, po'o mea sese o fua—o mea e fa'atuputeleina le taua i lalo ole 5nm process nodes.
SiC ceramic end effector Meatotino
1. Malosi Fa'ainisinia Maualuga ma Ma'a'a
SiC ceramics o loʻo iai le malosi faʻainisinia faʻapitoa, faʻatasi ai ma le malosi faʻafesoʻotaʻi e masani ona sili atu i le 400 MPa ma Vickers maʻaʻa tau i luga ole 2000 HV. O le mea lea e matua tete'e atu ai i fa'alavelave fa'ainisinia, a'afiaga, ma ofuina, tusa lava pe a uma le fa'aaogaina umi. O le maualuga maualuga o le SiC e faʻaitiitia ai le faʻafefe i le taimi o le televave o le fesiitaiga o wafer, faʻamautinoa le saʻo ma le toe faʻatulagaina.
2. Mausali Fa'avela Sili
O se tasi o mea sili ona taua o SiC ceramics o lo latou gafatia e faʻafefe ai le maualuga o le vevela-e masani lava e oʻo atu i le 1600 ° C i totonu o le ea-e aunoa ma le leiloa o le faʻainisinia. O lo latou maualalo maualalo o le faʻalauteleina o le vevela (~ 4.0 x 10⁻⁶ / K) faʻamautinoa le mautu o le faʻaogaina i lalo o le uila vevela, ma faʻaogaina lelei mo faʻaoga e pei o le CVD, PVD, ma le vevela maualuga.
SiC ceramic end effector Q&A
Q: O le a le mea e faʻaaogaina i le wafer end effector?
A:E masani ona fai mea e maua ai le malosi maualuga, fa'amautu fa'amama, ma le fa'atupuina o vaega laiti. Faatasi ai ma nei mea, Silicon Carbide (SiC) ceramic o se tasi o mea sili ona maualuga ma sili ona fiafia i ai. SiC ceramics e matua'i malō, fa'amautu fa'amalama, fa'ama'i lega, ma e fa'asa'o i le ofuina, ma fa'amalieina mo le fa'aogaina o mea fa'asili ma'ale'ale i totonu o potu mama ma vacuum si'osi'omaga. Pe a faatusatusa i le quartz poʻo le uamea faʻapipiʻi, SiC e ofoina atu le maualuga maualuga o le mautu i lalo o le maualuga o le vevela ma e le faʻamaligiina ni vaega, e fesoasoani e puipuia ai le faʻaleagaina.
