SiC fata sima ipu kalafi ma CVD SiC ufiufi mo meafaigaluega

Silicon carbide ceramics e le gata o loʻo faʻaaogaina i le tulaga faʻapipiʻi ata manifinifi, e pei o le epitaxy poʻo le MOCVD, poʻo le faʻaogaina o le wafer, i le fatu lea o loʻo faʻapipiʻiina muamua le fata faʻapipiʻi mo le MOCVD i le siosiomaga faʻapipiʻi, ma o lea e matua tetee atu ai i le vevela ma le corrosion.

Fua Fa'ama'i Vaima'a Mama'i Silicon Carbide (CVD SiC) va'ava'a fa'amomoli mo le fa'aogaina o le vevela maualuga o Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD).

E sili atu le maualuga o va'a wafer CVD SiC mama nai lo mea fa'apipi'i masani o lo'o fa'aogaina i lenei faiga, o graphite ma fa'apipi'iina i se vaega o le CVD SiC. e le mafai ona tatalia le maualuga o le vevela (1100 i le 1200 tikeri Celsius) o loʻo faʻapipiʻiina e faʻavae graphite e manaʻomia mo le tuʻuina atu o GaN o le susulu maualuga o le lanumoana ma le paʻepaʻe i aso nei. O le maualuga o le vevela e mafua ai le faʻapipiʻiina e fausia ai ni nai pu laiti e faʻaogaina ai vailaʻau faʻasolosolo le kalafi o loʻo i lalo. Ona pa'u ese ai lea o vaega o le kalafi ma faaleagaina ai le GaN, ma mafua ai ona sui le mea o lo'o ufiufiina.

O le CVD SiC o loʻo i ai le mama o le 99.999% pe sili atu ma e maualuga le faʻaogaina o le vevela ma le teteʻe o le vevela. O le mea lea, e mafai ona tatalia le maualuga o le vevela ma siosiomaga faigata o le susulu maualuga o le gaosiga o le LED. Ose mea monolithic mautu e o'o atu i le tele o le talitonuga, maua ai ni vaega laiti, ma fa'aalia le maualuga tele o le pala ma le tafia. O mea e mafai ona suia le opacity ma le conductivity e aunoa ma le faʻaofiina o mea le mama. E masani lava e 17 inisi le lautele o mea e ave ai a'u ma e mafai ona ofi i luga ole 40 2-4 inisi masi.