SiC fata sima ipu kalafi ma CVD SiC ufiufi mo meafaigaluega

SiC fata sima ipu graphite ma CVD SiC coating mo meafaigaluega Fa'aalia Ata

Fa'amatalaga Puupuu:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. e gaosia Φ380mm–Φ600mm semiconductor etching disk, wafer bearing disk, silicon carbide tray, SIC fata, fata carbide silicon, ICP etching tray, fata etching, silicon carbide mama> 99.9%, SIC fata ola auaunaga e fa taimi o le fata CVD fa'avae graphite, fa'aoga umi e aunoa ma se fa'aletonu, Fa'asagatau i le FH acid, fa'a'ele'ele H2So4.

Auina imeli ia matou

Fa'amatalaga Oloa

Faailoga o oloa

Silicon carbide ceramics e le gata o loʻo faʻaaogaina i le faʻapipiʻiina o ata manifinifi, e pei o le epitaxy poʻo le MOCVD, poʻo le faʻaogaina o le wafer, i le fatu lea e muamua aʻafia ai fata faʻapipiʻi mo le MOCVD i le siosiomaga faʻapipiʻi, ma o le mea lea e matua teteʻe ai. vevela ma corrosion.SiC-coated ave foi maua maualuga conductivity vevela ma lelei meatotino tufatufaina vevela.

Fua Fa'ama'i Vaima'a Mama'i Silicon Carbide (CVD SiC) va'ava'a fa'amomoli mo le fa'aogaina o le vevela maualuga o Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD).

E sili atu le maualuga o va'a wafer CVD SiC mama nai lo mea fa'apipi'i masani o lo'o fa'aogaina i lenei faiga, o graphite ma fa'apipi'iina i se vaega o le CVD SiC. e le mafai ona tatalia le maualuga o le vevela (1100 i le 1200 tikeri Celsius) o loʻo faʻapipiʻiina e faʻavae graphite e manaʻomia mo le tuʻuina atu o GaN o le susulu maualuga o le lanumoana ma le paʻepaʻe i aso nei. O le maualuga o le vevela e mafua ai le faʻapipiʻiina o ni nai pupuni laiti e faʻafefe ai e vailaʻau faʻasolosolo le kalafi o loʻo i lalo. Ona pa'u ese ai lea o vaega o le kalafi ma fa'aleagaina ai le GaN, ma mafua ai ona sui le ta'avale wafer coated.

O le CVD SiC o loʻo i ai le mama o le 99.999% pe sili atu ma e maualuga le faʻaogaina o le vevela ma le teteʻe o le vevela. O le mea lea, e mafai ona tatalia le maualuga o le vevela ma siosiomaga faigata o le susulu maualuga o le gaosiga o le LED. Ose mea monolithic mautu e o'o atu i le tele o le talitonuga, maua ai ni vaega laiti, ma fa'aalia le maualuga tele o le pala ma le tafia. O mea e mafai ona suia le opacity ma le conductivity e aunoa ma le faʻaofiina o mea le mama. E masani lava e 17 inisi le lautele o mea e ave ai a'u ma e mafai ona ofi i luga ole 40 2-4 inisi masi.