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SiC Epitaxial Wafer mo Masini Malosiaga - 4H-SiC, N-ituaiga, Maualalo le Defect Density

SiC Epitaxial Wafer mo Masini Malosi - 4H-SiC, N-ituaiga, La'ititi Fa'aletonu Fa'apitoa Ata Fa'aalia
  • SiC Epitaxial Wafer mo Masini Malosiaga - 4H-SiC, N-ituaiga, Maualalo le Defect Density
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Fa'amatalaga Puupuu:

O le SiC Epitaxial Wafer o loʻo i totonu o le faʻaogaina o masini semiconductor faʻaonaponei faʻaonaponei, aemaise lava i latou na fuafuaina mo le maualuga o le malosi, maualuga-televave, ma le maualuga o le vevela. Puupuu mo le Silicon Carbide Epitaxial Wafer, o le SiC Epitaxial Wafer e aofia ai se pito sili ona lelei, manifinifi SiC epitaxial layer ua tupu i luga o se mea tele SiC substrate. O le fa'aogaina o le SiC Epitaxial Wafer tekinolosi ua fa'avavevave ona fa'alauteleina i ta'avale eletise, smart grids, fa'afouina malosiaga fa'afouina, ma aerospace ona o le maualuga o mea fa'aletino ma mea fa'aeletoroni pe a fa'atusatusa i fa'amau fa'amau fa'amau.


Vaega

Auiliili Ata

SiC Epitaxial Wafer-4
SiC Epitaxial Wafer-6 - 副本

Folasaga

O le SiC Epitaxial Wafer o loʻo i totonu o le faʻaogaina o masini semiconductor faʻaonaponei faʻaonaponei, aemaise lava i latou na fuafuaina mo le maualuga o le malosi, maualuga-televave, ma le maualuga o le vevela. Puupuu mo le Silicon Carbide Epitaxial Wafer, o le SiC Epitaxial Wafer e aofia ai se pito sili ona lelei, manifinifi SiC epitaxial layer ua tupu i luga o se mea tele SiC substrate. O le fa'aogaina o le SiC Epitaxial Wafer tekinolosi ua fa'avavevave ona fa'alauteleina i ta'avale eletise, smart grids, fa'afouina malosiaga fa'afouina, ma aerospace ona o le maualuga o mea fa'aletino ma mea fa'aeletoroni pe a fa'atusatusa i fa'amau fa'amau fa'amau.

Faiga Faavae o le SiC Epitaxial Wafer

O le fausiaina o se SiC Epitaxial Wafer e mana'omia ai le fa'atonuina o le fa'aogaina o ausa (CVD). O le epitaxial layer e masani ona tupu i luga o se monocrystalline SiC substrate e faʻaaoga ai kasa e pei o le silane (SiH₄), propane (C₃H₈), ma le hydrogen (H₂) i le vevela e sili atu i le 1500°C. O lenei tuputupu aʻe o le epitaxial maualuga maualuga e faʻamautinoa ai le faʻaogaina o tioata sili ona lelei ma faʻaletonu laiti i le va o le epitaxial layer ma le mea faʻapipiʻi.

O le faagasologa e aofia ai ni vaega taua:

  1. Sauniuniga o le palapala: Ua fa'amamāina ma fa'aiila le fa'ameamea SiC i le fa'alelei atomika.

  2. CVD Tuputupu ae: I totonu o se fa'amama maualuga, e tali atu kasa e teu ai se fa'a tioata SiC e tasi i luga o le mea'ai.

  3. Puleaina o Doping: N-ituaiga po'o le P-ituaiga doping e fa'afeiloa'i i le taimi epitaxy e maua ai mea eletise mana'omia.

  4. Asiasiga ma Metrology: E fa'aogaina le fa'avasegaina o mata, AFM, ma le X-ray e fa'amaonia ai le mafiafia o le vaega, le fa'aogaina o le doping, ma le tele o faaletonu.

O SiC Epitaxial Wafer ta'itasi e mata'ituina ma le fa'aeteete ina ia fa'atumauina fa'apalepale i le mafiafia tutusa, mafolafola luga, ma le tetee. O le mafai ona fa'alelei lelei nei ta'iala e mana'omia mo MOSFET maualuga, Schottky diodes, ma isi masini eletise.

Fa'amatalaga

Parameter Fa'amatalaga
Vaega Mea Fa'asaienisi, Fa'apalapala tioata Tasi
Polytype 4H
Doping N Ituaiga
Diamita 101 mm
Fa'apalepale Diamita ± 5%
mafiafia 0.35 mm
Onosa'i mafiafia ± 5%
Primary Flat Umi 22 mm (± 10%)
TTV (Vaega Mafiafia Aofa'i) ≤10 µm
A'ai ≤25 µm
FWHM ≤30 Arc-sec
Fa'ai'uga Rq ≤0.35 nm

Fa'aoga ole SiC Epitaxial Wafer

SiC Epitaxial Wafer oloa e taua tele i le tele o vaega:

  • Ta'avale eletise (EVs): SiC Epitaxial Wafer-faʻavae masini faʻateleina le malosi o le powertrain ma faʻaitiitia le mamafa.

  • Malosiaga Fa'afouina: Fa'aaogaina i fa'aliliuga mo faiga fa'aola ma le matagi.

  • Sapalai Malosiaga Alamanuia: Fa'afeso'ota'i fa'avevesi maualuga, vevela maualuga ma fa'aletonu maualalo.

  • Aerospace ma Puipuiga: Lelei mo siosiomaga faigata e manaʻomia semiconductors malosi.

  • 5G Base Station: O vaega o le SiC Epitaxial Wafer e lagolagoina le maualuga o le malosi mo talosaga RF.

O le SiC Epitaxial Wafer e mafai ai ona fa'ata'ita'i fa'ata'ita'iga, fa'avave le suiga, ma maualuga atu le fa'aliliuina o le malosi pe a fa'atusatusa i fa'ama'i sikoni.

Tulaga lelei o le SiC Epitaxial Wafer

SiC Epitaxial Wafer tekonolosi e ofoina atu faʻamanuiaga taua:

  1. Malosi maualuga malepe: Talia voltage e oo atu i le 10 taimi maualuga atu nai lo Si wafers.

  2. Amioga vevela: SiC Epitaxial Wafer fa'amama fa'avave le vevela, fa'ataga ai masini e fa'amama ma fa'alagolago.

  3. Saosaoa Suiga Maualuga: Fa'aitiitia suiga gau e mafai ai ona sili atu le lelei ma le fa'aitiitiga.

  4. Avanoa Lautele: Faʻamautinoa le mautu i voltage maualuga ma le vevela.

  5. Malosi o meafaitino: SiC e fa'ainisinia ma malosi fa'ainisinia, lelei mo fa'aoga mana'omia.

O nei tulaga lelei e avea ai le SiC Epitaxial Wafer ma mea e filifilia mo le isi augatupulaga o semiconductor.

FAQ: SiC Epitaxial Wafer

Q1: O le a le eseesega i le va o le SiC wafer ma le SiC Epitaxial Wafer?
O le SiC wafer e fa'atatau i le tele o mea'ai, a'o le SiC Epitaxial Wafer e aofia ai se fa'apipi'i fa'atupu fa'apitoa e fa'aaogaina i le gaosiga o masini.

Q2: O a mafiafia o loʻo avanoa mo SiC Epitaxial Wafer layers?
Epitaxial layers e masani lava e amata mai i nai micrometers i luga ole 100 μm, faʻalagolago i manaʻoga faʻaoga.

Q3: E talafeagai le SiC Epitaxial Wafer mo siosiomaga maualuga-vevela?
Ioe, SiC Epitaxial Wafer e mafai ona galue i tulaga i luga aʻe o le 600 ° C, sili atu le silikoni.

Q4: Aisea e taua ai le tele o faaletonu ile SiC Epitaxial Wafer?
O le maualalo o le fa'aletonu e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o masini ma fua mai, aemaise lava mo fa'aoga maualuga-voltage.

Q5: O lo'o avanoa uma le N-type ma le P-type SiC Epitaxial Wafers?
Ioe, o ituaiga uma e lua o loʻo gaosia e faʻaaoga tonu le dopant gas control i le taimi o le epitaxial process.

Q6: O le a le tele o fafie e masani mo SiC Epitaxial Wafer?
O lautele lautele e aofia ai le 2-inisi, 4-inisi, 6-inisi, ma le faʻateleina o le 8-inisi mo le gaosiga maualuga.

Q7: E fa'afefea ona a'afia le tau ma le lelei o le SiC Epitaxial Wafer?
E ui o le taimi muamua e sili atu le taugata nai lo le silicon, SiC Epitaxial Wafer e faʻaitiitia ai le tele o le tino ma le paʻu eletise, faʻaleleia le aofaʻi o tau i le taimi umi.

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