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SiC Epitaxial Wafer mo Masini Fa'aeletise – 4H-SiC, ituaiga-N, Ma'ale'ale le Fa'aletonu

SiC Epitaxial Wafer mo Masini Fa'aeletise – 4H-SiC, ituaiga-N, Low Defect Density Ata Fa'aalia
  • SiC Epitaxial Wafer mo Masini Fa'aeletise – 4H-SiC, ituaiga-N, Ma'ale'ale le Fa'aletonu
  • SiC Epitaxial Wafer mo Masini Fa'aeletise – 4H-SiC, ituaiga-N, Ma'ale'ale le Fa'aletonu
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Fa'amatalaga Pupuu:

O le SiC Epitaxial Wafer o le fatu lea o masini semiconductor faʻaonaponei e maualuga le faʻatinoga, aemaise lava i latou ua mamanuina mo galuega faʻatino e maualuga le malosi, maualuga le saoasaoa, ma le vevela maualuga. O le faʻapuʻupuʻuga mo le Silicon Carbide Epitaxial Wafer, o le SiC Epitaxial Wafer e aofia ai se vaega epitaxial SiC epitaxial e maualuga le lelei, e tupu aʻe i luga o se substrate tele SiC. O le faʻaaogaina o le tekinolosi SiC Epitaxial Wafer ua vave ona faʻalauteleina i taʻavale eletise, smart grids, faiga faʻafouina o le malosiaga, ma le vaʻalele ona o ona meatotino faʻaletino ma eletise sili atu pe a faʻatusatusa i wafers masani e faʻavae i le silicon.


Fa'aaliga

Ata Auiliili

SiC Epitaxial Wafer-4
SiC Epitaxial Wafer-6 - 副本

Fa'atomuaga

O le SiC Epitaxial Wafer o le fatu lea o masini semiconductor faʻaonaponei e maualuga le faʻatinoga, aemaise lava i latou ua mamanuina mo galuega faʻatino e maualuga le malosi, maualuga le saoasaoa, ma le vevela maualuga. O le faʻapuʻupuʻuga mo le Silicon Carbide Epitaxial Wafer, o le SiC Epitaxial Wafer e aofia ai se vaega epitaxial SiC epitaxial e maualuga le lelei, e tupu aʻe i luga o se substrate tele SiC. O le faʻaaogaina o le tekinolosi SiC Epitaxial Wafer ua vave ona faʻalauteleina i taʻavale eletise, smart grids, faiga faʻafouina o le malosiaga, ma le vaʻalele ona o ona meatotino faʻaletino ma eletise sili atu pe a faʻatusatusa i wafers masani e faʻavae i le silicon.

Mataupu Faavae o le Faia o le SiC Epitaxial Wafer

O le fausiaina o se SiC Epitaxial Wafer e manaʻomia ai se faiga e pulea lelei ai le faʻaputuina o le ausa vailaʻau (CVD). O le vaega epitaxial e masani ona totoina i luga o se substrate SiC monocrystalline e faʻaaoga ai kasa e pei o le silane (SiH₄), propane (C₃H₈), ma le hydrogen (H₂) i le vevela e sili atu i le 1500°C. O lenei tuputupu aʻe epitaxial i le vevela maualuga e faʻamautinoa ai le faʻatulagaina lelei o le crystalline ma le itiiti ifo o ni faʻaletonu i le va o le vaega epitaxial ma le substrate.

O le faagasologa e aofia ai ni laasaga taua:

  1. Sauniuniga o le SubstrateO le apa fa'avae SiC e fa'amamāina ma fa'apupula se'ia lamolemole e pei o le atomika.

  2. Tuputupu Aʻe o le CVDI totonu o se reactor e maualuga le mama, e tali atu kasa e fa'aputu ai se vaega SiC e tasi le tioata i luga o le substrate.

  3. Puleaina o le Fa'aaogaina o le 'AleagaE fa'aofiina le fa'aaogaina o le ituaiga-N po'o le ituaiga-P i le taimi o le epitaxy e ausia ai meatotino eletise e mana'omia.

  4. Asiasiga ma le FuainumeraO le microscopy opitika, AFM, ma le X-ray diffraction e faʻaaogaina e faʻamaonia ai le mafiafia o le vaega, le malosi o le faʻaaogaina o le doping, ma le mafiafia o mea sese.

O SiC Epitaxial Wafer taitasi e mata'ituina ma le fa'aeteete ina ia fa'atumauina le tutusa o le mafiafia, le lamolemole o le fogaeleele, ma le tete'e. O le mafai ona fa'aleleia nei fa'atulagaga e taua tele mo MOSFET maualuga-voltage, Schottky diodes, ma isi masini eletise.

Fa'amatalaga

Fa'atulagaga Fa'amatalaga
Vaega Saienisi o Meafaitino, Substrates Crystal Tasi
Polytype 4H
Fa'aaogaina o vaila'au fa'asaina Ituaiga N
Lapoa 101 milimita
Fa'apalepale i le lautele ± 5%
Mafiafia 0.35 milimita
Fa'apalepale i le mafiafia ± 5%
Umi Mafolafola Autū 22 mm (± 10%)
TTV (Fesuiaiga o le Mafiafia Atoa) ≤10 µm
Fa'alava ≤25 µm
FWHM ≤30 Arc-sekone
Fa'auma o le Laupapa Rq ≤0.35 nm

Fa'aoga o le SiC Epitaxial Wafer

E taua tele oloa SiC Epitaxial Wafer i le tele o vaega:

  • Ta'avale Eletise (EV)O masini e faʻavae i luga o le SiC Epitaxial Wafer e faʻaleleia atili ai le lelei o le powertrain ma faʻaitiitia ai le mamafa.

  • Malosiaga Fa'afouina: Fa'aaogaina i inverters mo faiga o le malosiaga o le la ma le matagi.

  • Sapalai Malosiaga Fa'apisinisi: Fa'agaoioia le fesuia'iga o le televave maualuga, vevela maualuga ma ni mea e leiloa ai le saoasaoa maualalo.

  • Vaalele ma le Puipuiga: E lelei atoatoa mo siosiomaga faigata e manaʻomia ai ni semiconductors malolosi.

  • Nofoaga Autu o le 5GO vaega o le SiC Epitaxial Wafer e lagolagoina le maualuga o le mafiafia o le malosiaga mo talosaga RF.

O le SiC Epitaxial Wafer e mafai ai ona mamanuina ni mamanu laiti, fesuia'iga vave, ma sili atu le lelei o le liua o le malosi pe a fa'atusatusa i silicon wafers.

Fa'amanuiaga o le SiC Epitaxial Wafer

E ofoina atu e le tekinolosi SiC Epitaxial Wafer ni fa'amanuiaga taua:

  1. Voltage Malepelepe Maualuga: E tatalia voltage e oo atu i le 10 taimi e maualuga atu nai lo wafers Si.

  2. Fa'avevela o le TafegaE vave ona fa'aitiitia e le SiC Epitaxial Wafer le vevela, ma mafai ai e masini ona fa'agaoioi ma sili atu ona fa'atuatuaina.

  3. Saosaoa Maualuga o le SuigaO le maualalo o le gau o fesuia'iga e mafai ai ona fa'aleleia atili le lelei ma fa'aitiitiga.

  4. Vaeluaga Lautele o le Bandva: Mautinoa le mautu i voltage ma le vevela maualuga.

  5. Malosiaga o MeafaitinoO le SiC e le gaoioi fa'akemikolo ma malosi fa'amekanika, e fetaui lelei mo galuega faigata.

O nei penefiti ua avea ai le SiC Epitaxial Wafer ma mea e filifilia mo le isi tupulaga o semiconductors.

Fesili e Masani Ona Fesiligia: SiC Epitaxial Wafer

Q1: O le a le eseesega i le va o le SiC wafer ma le SiC Epitaxial Wafer?
O le SiC wafer e faasino i le mea tele, ae o le SiC Epitaxial Wafer e aofia ai se vaega ua totoina faapitoa e faaaoga i le gaosiga o masini.

Q2: O a mafiafia o lo'o avanoa mo vaega o le SiC Epitaxial Wafer?
O vaega epitaxial e masani ona amata mai i ni nai micrometers i le silia ma le 100 μm, e fuafua i manaʻoga o le faʻaoga.

Q3: E talafeagai le SiC Epitaxial Wafer mo siosiomaga e maualuga le vevela?
Ioe, e mafai e le SiC Epitaxial Wafer ona faʻagaoioia i tulaga e sili atu i le 600°C, ma e sili atu lona lelei nai lo le silicon.

Q4: Aiseā e tāua ai le mafiafia o mea sese i le SiC Epitaxial Wafer?
O le maualalo o le mafiafia o mea sese e faʻaleleia atili ai le faʻatinoga ma le seleselega o le masini, aemaise lava mo galuega maualuga-voltage.

Q5: E maua uma ia Wafers Epitaxial SiC ituaiga-N ma le ituaiga-P?
Ioe, o ituaiga uma e lua e gaosia e ala i le pulea sa'o o le kesi dopant i le taimi o le faagasologa epitaxial.

Q6: O a lapopo'a o le wafer e masani ona fa'aaogaina mo le SiC Epitaxial Wafer?
O lautele masani e aofia ai le 2-inisi, 4-inisi, 6-inisi, ma le fa'ateleina i le 8-inisi mo le tele o gaosiga.

Q7: E fa'apefea ona a'afia e le SiC Epitaxial Wafer le tau ma le lelei?
E ui e sili atu le taugata i le taimi muamua nai lo le silicon, ae o le SiC Epitaxial Wafer e faʻaitiitia ai le tele o le masini ma le leiloa o le eletise, ma faʻaleleia atili ai le tau atoa i le taimi umi.

  • Muamua:
  • Sosoo ai:

    • Oloa e Fesoota'i

    Tusi lau savali iinei ma lafo mai ia i matou
    Oomi le enter e su'e ai pe oomi le ESC e tapuni ai