Foe Fa'ase'e Silikoni Carbide (Foe Fa'ase'e SiC)
Ata Auiliili
Aotelega o le Oloa
O le silicon carbide cantilever paddle, ua gaosia mai le high-performance reaction-bonded silicon carbide (RBSiC), o se vaega taua e faʻaaogaina i le wafer loading ma le handling systems mo semiconductor ma photovoltaic applications.
Pe a fa'atusatusa i foe masani o le kuata po'o le karapite, o foe SiC cantilever e ofoina atu le malosi fa'amekanika sili atu, maualuga le ma'a'a, maualalo le fa'alauteleina o le vevela, ma tete'e atu i le 'ele. Latou te tausia le mautu lelei o le fausaga i lalo o le vevela maualuga, fa'amalieina mana'oga faigata o lapopo'a tetele o le wafer, umi le ola tautua, ma le maualalo tele o le fa'aleagaina.
Faatasi ai ma le atinaeina pea o faiga semiconductor agai i le lautele o le wafer, maualuga atu le throughput, ma sili atu le mama o siosiomaga faagasologa, ua faasolosolo malie ona suia e le SiC cantilever paddles mea masani, ma avea ai ma filifiliga sili ona lelei mo ogaumu diffusion, LPCVD, ma masini e fesootai i le vevela maualuga.
Fa'amatalaga o le Oloa
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Tulaga Mausali Maualuga
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E fa'agaoioia ma le fa'atuatuaina i le 1000–1300℃ e aunoa ma se fa'aletonu.
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E oo atu i le 1380℃ le vevela aupito maualuga o le tautua.
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Malosiaga Maualuga e Tauave ai Avega
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Malosi o le punou e oo atu i le 250–280 MPa, e maualuga atu nai lo foe kuata.
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E mafai ona taulimaina ni maa fa'apipi'i tetele (300 mm ma luga atu).
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Umi o le Ola Auaunaga ma le Tausiga Maualalo
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Maualalo le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), e fetaui lelei ma mea e ufiufi ai le LPCVD.
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E fa'aitiitia ai māvaevae ma malepelepe e mafua mai i le atuatuvale, ma fa'alauteleina ai le umi o le fa'amamāina ma le tausiga.
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Tete'e i le 'Ele ma le Mama
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Tete'e lelei tele i 'ese ma alkalis.
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Fausaga mafiafia ma le porosity tatala <0.1%, e fa'aitiitia ai le fa'atupuina o ni fasi mea ma le fa'asa'olotoina o mea leaga.
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Fuafuaga e fetaui ma le otometi
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O le fausaga o le vaega fa'alava e mautu ma le sa'o maualuga o le fua.
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E feso'ota'i lelei ma faiga fa'arobotika e uta ma la'u ese ai masini, ma mafai ai ona fa'aautomatika atoatoa le gaosiga.
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Meatotino Fa'aletino ma Fa'akemikolo
| Mea | Iunite | Fa'amaumauga |
|---|---|---|
| Vevela Maualuga o le Auaunaga | ℃ | 1380 |
| Mafiafia | g/cm³ | 3.04 – 3.08 |
| Porosity Tatala | % | < 0.1 |
| Malosiaga o le Pi'o | MPa | 250 (20℃), 280 (1200℃) |
| Modulus o le Elasticity | GPa | 330 (20℃), 300 (1200℃) |
| Fa'avevela o le Tafega | W/m·K | 45 (1200℃) |
| Fa'aopoopoga Fa'avevela | K⁻¹×10⁻⁶ | 4.5 |
| Vickers Hardness | HV2 | ≥ 2100 |
| Tete'e atu i le 'Aseta/Alkaline | - | Sili ona lelei |
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Umi masani:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
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O fua fa'apitoa e maua pe a talosagaina
Talosaga
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Alamanuia o Semiconductor
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LPCVD (Fa'aputuga o le Ausa Kemikolo i le Mamafa Maualalo)
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Faiga o le fa'asalalauina (phosphorus, boron, ma isi)
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Fa'a'okesaita fa'avevela
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Alamanuia o le Photovoltaic
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Fa'asalalauina ma ufiufi o le Polysilicon ma le monocrystalline wafer
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Fa'amafanafana ma le fa'agaoioiga i le vevela maualuga
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Isi Fanua
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Siosiomaga e fa'aleagaina i le vevela maualuga
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Faiga taulima sa'o o le wafer e mana'omia ai le umi o le ola tautua ma le maualalo o le fa'aleagaina
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Fa'amanuiaga a le Tagata Fa'atau
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Fa'aitiitia o Tau o Fa'agaioiga– E umi atu lona ola pe a fa'atusatusa i pa'u kuata, e fa'aitiitia ai le taimi e le toe fa'aaogaina ai ma le tele o taimi e sui ai.
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Maualuga le Fua– O le matuā maualalo o le fa'aleagaina e mautinoa ai le mamā o le fogāeleele ma fa'aitiitia ai le fua o fa'aletonu.
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Fa'amaoniga o le Lumana'i– E fetaui ma lapopo'a tetele o le wafer ma faiga fa'a-semiconductor o le isi tupulaga.
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Fa'aleleia atili o le Gaosiga– E fetaui lelei ma faiga fa'aautomatika fa'arobotika, e lagolagoina ai le tele o gaosiga.
Fesili Masani – Pa'u Cantilever Silicon Carbide
Q1: O le ā le silicon carbide cantilever paddle?
A: O se vaega e lagolago ma taulimaina ai le wafer e faia i le reaction-bonded silicon carbide (RBSiC). E faʻaaogaina lautele i ogaumu faʻasalalau, LPCVD, ma isi faiga semiconductor ma photovoltaic e maualuga le vevela.
Q2: Aiseā e filifili ai le SiC nai lo le quartz paddles?
A: Pe a fa'atusatusa i foe kuata, e ofoina atu e foe SiC:
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Malosi fa'amekanika maualuga ma le gafatia e tauaveina avega
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Lelei le mautu o le vevela i le vevela e oo atu i le 1380 ℃
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E sili atu le umi o le ola tautua ma fa'aitiitia ai ta'amilosaga tausiga
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Fa'aitiitia le lamatiaga o le gaosia o ni vaega ma le fa'aleagaina
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Fegalegaleai ma lapopo'a tetele o le wafer (300 mm ma luga atu)
Q3: O a lapopo'a o le wafer e mafai ona lagolagoina e le SiC cantilever paddle?
A: E maua foe masani mo faiga ogaumu e 2378 mm, 2550 mm, ma le 2660 mm. E maua fua fa'apitoa e lagolago ai wafers e o'o atu i le 300 mm ma tua atu.
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E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.
