O le fata seramika silicon carbide e fa'asusu ai le paipa seramika silicon carbide e tu'uina atu ai le fa'agasologa fa'apitoa o le sintering i le vevela maualuga
Vaega autū:
1. Fata seramika silicon carbide
- Maualuga le ma'a'a ma le tete'e atu i le ofuina: o le ma'a'a e latalata i le taimane, ma e mafai ona tatalia le ofuina fa'amekanika i le fa'agasologa o le wafer mo se taimi umi.
- Maualuga le fa'avevela ma maualalo le fa'alauteleina o le vevela: vave ona fa'asalalauina le vevela ma le mautu o le fua, e aloese ai mai le fa'aleagaina e mafua mai i le atuatuvalega o le vevela.
- Maualuga le lamolemole ma le fa'auma o le laualuga: O le lamolemole o le laualuga e o'o atu i le tulaga micron, ma fa'amautinoa ai le fesoota'iga atoatoa i le va o le wafer ma le tisiketi, e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina ma le fa'aleagaina.
Mausali i vailaʻau: Teteʻe malosi i le ele, talafeagai mo le faʻamamāina i le susu ma le faʻagasologa o le vaneina i le gaosiga o semiconductor.
2. Paipa seramika silicon carbide
- Tete'e i le vevela maualuga: E mafai ona galue i le vevela maualuga i luga atu o le 1600°C mo se taimi umi, e talafeagai mo le fa'agasologa o le semiconductor i le vevela maualuga.
Tete'e lelei i le 'ele: tete'e i 'āsi, alkalis ma le tele o vaila'au fa'a'ese'ese, talafeagai mo siosiomaga faigata o fa'agasologa.
- Maualuga le ma'a'a ma le tete'e atu i le ofuina: tete'e atu i le soloia o vaega ma le ofuina fa'amekanika, fa'alauteleina le umi o le tautua.
- Maualuga le fa'avevela ma maualalo le coefficient o le fa'alauteleina o le vevela: vave le fa'avevela ma le mautu o le fua, fa'aitiitia ai le fa'aleagaina po'o le māvaevae e mafua mai i le atuatuvalega o le vevela.
Fa'asologa o le oloa:
Parakalafa o le fata seramika silicon carbide:
| (Meatotino faaletino) | (Iunite) | (ssic) | |
| (Anotusi o le SiC) | (Mamafa)% | >99 | |
| (Tele o le fua masani o le fatu) | maikono | 4-10 | |
| (Mafiafia) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porosity foliga mai) | Vo1% | <0.5 | |
| (Maaa o Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Malosiaga o le feliuliua'i* (tolu togi) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Malosiaga o le fa'apipi'iina) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastic Modulus) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Malosiaga o le gau) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Fa'avevela o le eletise) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Tete'e) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Fa'asologa o le fa'alauteleina o le vevela) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Vevela maualuga o le fa'agaioiga) | oºC | 1700 | |
Parakalafa o le paipa seramika silicon carbide:
| Meafaitino | Fa'asino Upu |
| α-SIC | 99% minute |
| Porosity e foliga mai | 16% le maualuga |
| Mafiafiaga o le Tele | 2.7g/cm3 minute |
| Malosiaga o le punou i le vevela maualuga | 100 Mpa min |
| Fa'atusatusaga o le Fa'alauteleina o le Vevela | K-1 4.7x10 -6 |
| Fa'atusatusaga o le Fa'avevela (1400ºC) | 24 W/mk |
| Vevela Maualuga o le Galuega | 1650ºC |
Fa'aoga autu:
1. Ipu seramika silicon carbide
- O le tipiina ma le fa'apala'aina o le uamea: e fai ma fa'avae e lagolago ai le fa'amautinoaina o le sa'o ma le mautu i le taimi e tipiina ma fa'apala'aina ai.
- Faiga o le valiina o ata: E fa'amau le wafer i totonu o le masini valiina o ata e fa'amautinoa ai le sa'o lelei o lona tulaga i le taimi e fa'aalia ai.
- Fa'apupulaina Fa'akemikolo (CMP): e fai ma fa'avae lagolago mo fa'apupulaina o pads, e tu'uina atu ai le mamafa tutusa ma le tufatufaina atu o le vevela.
2. Paipa seramika silicon carbide
- Paipa ogaumu vevela maualuga: fa'aaogaina mo masini vevela maualuga e pei o le ogaumu fa'asalalau ma le ogaumu fa'a'okesaine e feavea'i ai wafers mo togafitiga fa'agasologa vevela maualuga.
- Fa'agasologa CVD/PVD: E fai ma paipa u'amea i totonu o le potu tali atu, e tete'e atu i le vevela maualuga ma kasa 'ele'ele.
- Mea fa'aopoopo mo masini semiconductor: mo fesuia'iga vevela, paipa kesi, ma isi mea, e fa'aleleia atili ai le lelei o le puleaina o le vevela o masini.
E ofoina atu e le XKH le tele o auaunaga fa'apitoa mo fata seramika silicon carbide, ipu suction ma paipa seramika silicon carbide. O fata seramika silicon carbide ma ipu suction, e mafai ona fa'apitoaina le XKH e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau o lapopo'a eseese, foliga ma le mageso o luga, ma lagolagoina le togafitiga fa'apitoa o le ufiufi, fa'aleleia atili le tete'e atu i le ofuina ma le tete'e atu i le 'ele; Mo paipa seramika silicon carbide, e mafai e le XKH ona fa'apitoaina le tele o lautele i totonu, lautele i fafo, umi ma le fausaga faigata (e pei o le paipa foliga po'o le paipa porous), ma tu'uina atu le fa'apulusaina, ufiufi e tete'e ai i le oxidation ma isi faiga togafitiga o luga. E fa'amautinoa e le XKH e mafai e tagata fa'atau ona fa'aogaina lelei fa'amanuiaga o le fa'atinoga o oloa seramika silicon carbide e fa'afetaui ai mana'oga faigata o vaega gaosi oloa maualuluga e pei o semiconductors, leds ma photovoltaics.
Ata Auiliili
