Masini tipi uaea taimane silicon carbide 4/6/8/12 inisi SiC ingot processing

Fa'amatalaga Pupuu:

O le masini tipi uaea taimane o le Silicon carbide o se ituaiga masini fa'agaoioia maualuga le sa'o e fa'atatau i le tipiina o le silicon carbide (SiC), e fa'aaoga ai le tekinolosi Diamond Wire Saw, e ala i le tipiina o uaea taimane e tele-uaea e fa'agaoioia i le saoasaoa maualuga (laina lautele 0.1 ~ 0.3mm) i le tipiina o uaea SiC, ina ia maua ai le sauniuniga maualuga le sa'o, maualalo le fa'aleagaina o le wafer. O lenei masini e fa'aaogaina lautele i le SiC power semiconductor (MOSFET/SBD), masini leitio (GaN-on-SiC) ma le fa'agaoioia o le substrate o masini optoelectronic, o se meafaigaluega autu i le filifili o pisinisi SiC.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Mataupu faavae o le galue:

1. Fa'amauina o le Ingot: O le ingot SiC (4H/6H-SiC) ua fa'amauina i luga o le fa'avae tipi e ala i le mea fa'apipi'i e fa'amautinoa ai le sa'o o le tulaga (±0.02mm).

2. Gaioiga o le laina taimane: o le laina taimane (vaega taimane ua fa'apipi'iina i le eletise i luga o le fogaeleele) e fa'atautaia e le faiga o le uili ta'iala mo le fa'asalalauina o le saoasaoa maualuga (saosaoa o le laina 10 ~ 30m/s).

3. Tipiina o le fafaga: o le ingot e fafaga i le itu ua faatulagaina, ma o le laina taimane e tipi faatasi ma le tele o laina tutusa (100 ~ 500 laina) e fausia ai le tele o apa.

4. Fa'amālūlūina ma le aveeseina o fasi: Fa'asusu le vai malulu (vai fa'amamāina + mea fa'aopoopo) i le vaega e tipi ai e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina e le vevela ma aveese ai fasi.

Fa'asologa autū:

1. Saosaoa tipi: 0.2~1.0mm/min (e fuafua i le itu o le tioata ma le mafiafia o le SiC).

2. Feololo o le laina: 20~50N (maualuga tele e faigofie ona motusia ai le laina, maualalo tele e aʻafia ai le saʻo o le tipiina).

3. Mafiafia o le apa: tulaga masani 350 ~ 500μm, e mafai ona oʻo atu le apa i le 100μm.

Vaega autū:

(1) Sa'o le tipiina
Onosa'i i le mafiafia: ±5μm (@350μm wafer), e sili atu nai lo le tipiina o le sima masani (±20μm).

Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele: Ra<0.5μm (e le mana'omia se isi olo e fa'aitiitia ai le tele o le fa'agasologa e sosoo ai).

Pi'o: <10μm (fa'aitiitia le faigata o le fa'apulusaina mulimuli ane).

(2) Lelei o le fa'agasologa
Tipiina o laina e tele: tipiina o fasi pepa e 100~500 i le taimi e tasi, fa'ateleina le gafatia o le gaosiga i le 3~5 taimi (fa'atusatusa i le tipiina o laina e tasi).

Ola o le laina: E mafai e le laina taimane ona tipiina le 100 ~ 300km SiC (e fuafua i le maaa o le ingot ma le faʻaleleia atili o le faagasologa).

(3) Fa'agasologa maualalo o le fa'aleagaina
Malepelepe o le pito: <15μm (oti masani >50μm), fa'aleleia atili le fua o le wafer.

Vaega ua faaleagaina i lalo o le eleele: <5μm (faaitiitia le aveeseina o le faapulusaina).

(4) Puipuiga o le siosiomaga ma le tamaoaiga
Leai se fa'aleagaina o le sima: Fa'aitiitia le tau o le lafoa'i o otaota pe a fa'atusatusa i le tipiina o le sima.

Fa'aaogaina o meafaitino: O le tipiina o le gau <100μm/ tipi, sefeina o mea mata SiC.

Aafiaga o le tipiina:

1. Tulaga lelei o le uamea: leai ni māvaevae tetele i luga o le fogāeleele, e itiiti ni fa'aletonu laiti (e mafai ona pulea le fa'alauteleina o le se'e). E mafai ona ulufale sa'o i le so'otaga fa'apulusau, ma fa'apu'upu'u ai le tafe o le fa'agasologa.

2. Tumau: o le eseesega o le mafiafia o le wafer i le vaega e <±3%, e talafeagai mo le gaosiga otometi.

3. Fa'aaogāina: Lagolago le tipiina o le 4H/6H-SiC ingot, e fetaui ma le ituaiga conductive/semi-insulated.

Fa'amatalaga fa'apitoa:

Fa'amatalaga	Fa'amatalaga auiliili
Fua (L × W × H)	2500x2300x2500 pe fa'apitoa
Tele o le tele o mea fa'agasolo	4, 6, 8, 10, 12 inisi o le silicon carbide
Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele	Ra≤0.3u
Saosaoa masani o le tipiina	0.3mm/min
Mamafa	5.5t
Laasaga o le fa'atulagaina o le fa'agasologa o le tipiina	≤30 laasaga
Pisa o masini	≤80 dB
Feololo o uaea u'amea	0~110N (0.25 le mamafa o le uaea e 45N)
Saosaoa o le uaea u'amea	0~30m/S
Malosiaga atoa	50kw
Lapoa o le uaea taimane	≥0.18mm
Fa'alava le pito	≤0.05mm
Fuainumera o le tipiina ma le motusia	≤1% (sei vagana ai mafuaaga faaletagata, mea silicon, laina, tausiga ma isi mafuaaga)

Auaunaga a le XKH:

E tu'uina atu e le XKH le tautua atoa o le masini tipi uaea taimane silicon carbide, e aofia ai le filifilia o masini (fa'atusatusa le lautele o le uaea/saosaoa o le uaea), atina'eina o le faagasologa (fa'aleleia atili o le tipiina o vaega), sapalai o mea e fa'aaogaina (uaea taimane, uili ta'iala) ma le lagolago pe a uma ona fa'atau atu (tausiga o masini, au'ili'iliga o le lelei o le tipiina), e fesoasoani ai i tagata fa'atau e ausia le maualuga o le fua (>95%), taugofie le gaosiga tele o le SiC wafer. E ofoina atu fo'i fa'aleleiga fa'apitoa (e pei o le tipi manifinifi tele, utaina ma le la'uina otometi) fa'atasi ai ma le taimi e 4-8 vaiaso e fa'atino ai.