TGV Glass substrates 12inch wafer Tu'i tioata
O mea tioata tioata e sili atu ona lelei i tulaga o mea vevela, mautu faʻaletino, ma sili atu le vevela ma faʻaitiitia faʻafitauli i faʻalavelave faʻafefe poʻo faʻafitauli ona o le maualuga o le vevela;
E le gata i lea, o mea tau eletise tulaga ese o le tioata autu e mafai ai ona maualalo le leiloa o le dielectric, faʻatagaina le faʻamaonia manino ma le eletise. O le i'uga, ua fa'aitiitia le paoa a'o fa'asalalauina fa'ailo ma fa'aola fa'aola fa'aolaola le lelei atoatoa o le pu. O le mafiafia o le ipu tioata autu e mafai ona faʻaititia e tusa ma le afa pe a faʻatusatusa i le palasitika ABF, ma o le manifinifi e faʻaleleia ai le saoasaoa o faʻasalalauga ma le malosi o le mana.
Tekinolosi fau pu o TGV:
Leisa fa'aoso etching metotia e fa'aaogaina e fa'aosoina ai sone denaturation faifaipea e ala i leisa pulsed, ona tu'u lea o le tioata fa'amama leisa i le vaifofo o le acid hydrofluoric mo etching. O le fua o le togiina o tioata sone denaturation i le hydrofluoric acid e sili atu le vave nai lo le tioata e le'i fa'asalaina e fau i pu.
TGV fa'atumu:
Muamua, ua faia pu tauaso TGV. Lona lua, o le vaega o fatu na teuina i totonu o le pu tauaso o le TGV e ala i le teuina o ausa faaletino (PVD). Lona tolu, pito i luga electroplating ausia seamless faatumuina TGV; Mulimuli ane, e ala i le faʻapipiʻiina le tumau, oloina tua, faʻamalama faʻainisinia (CMP) apamemea faʻaalia, unbonding, fausia se TGV uamea-tumu ipu fesiitaiga.