TGV Glass substrates 12inisi wafer Glass punching

E sili atu le lelei o le fa'atinoga o mea tioata i tulaga o meatotino fa'avevela, mautu fa'aletino, ma e sili atu ona tete'e i le vevela ma e le faigofie ona pi'o pe fa'aleagaina ona o le maualuga o le vevela;

E le gata i lea, o meatotino eletise tulaga ese o le autu tioata e mafai ai ona maualalo le gau o dielectric, ma mafai ai ona sili atu le manino o le faʻasalalauga o faailoilo ma le eletise. O se taunuuga, e faʻaitiitia le gau o le eletise i le taimi o le faʻasalalauga o faailoilo ma faʻaleleia atili ai le lelei atoa o le chip. E mafai ona faʻaitiitia le mafiafia o le autu tioata i le tusa ma le afa pe a faʻatusatusa i le palasitika ABF, ma o le faʻaitiitia o le manifinifi e faʻaleleia atili ai le saoasaoa o le faʻasalalauga o faailoilo ma le lelei o le eletise.

Tekonolosi fa'aputu pu o le TGV:

O le metotia o le etching i le laser e faʻaaogaina e faʻaosofia ai le denaturation zone faifai pea e ala i le pulsed laser, ona tuʻuina lea o le tioata ua togafitia i le laser i totonu o le hydrofluoric acid solution mo le etching. O le saoasaoa o le etching o le denaturation zone glass i le hydrofluoric acid e vave atu nai lo le undenaturated glass e fausia i totonu o pu.

Fa'atumu TGV:

Muamua, e faia ni pu tauaso o le TGV. Lona lua, e fa'aputuina le vaega o le fatu i totonu o le pu tauaso o le TGV e ala i le fa'aputuga o le ausa fa'aletino (PVD). Lona tolu, o le fa'aputuga eletise mai lalo i luga e ausia ai le fa'atumuina lelei o le TGV; Mulimuli ane, e ala i le fa'apipi'iina le tumau, oloina i tua, fa'apulusaina fa'akemikolo (CMP) fa'aalia o le kopa, tatala le fa'apipi'iina, ma fausia ai se ipu fa'aliliu ua fa'atumuina i le u'amea TGV.