TVG fa'agasologa ile quartz safaira BF33 wafer Glass wafer tu'i

O le lelei o le TGV (E ala i le tioata Via) e masani ona atagia i:

1) Fa'ailoga eletise maualuga maualuga. O mea tioata o se mea faʻapipiʻi, o le dielectric tumau e naʻo le 1/3 o le silicon mea, o le mea leiloa o le 2-3 poloaiga o le maualuga maualalo ifo nai lo mea silicon, faʻaitiitia le gau o le substrate ma aʻafiaga parasitic e faʻamautinoa ai le fa'amaoni o le fa'ailoga fa'asalalau;

(2) Lapo'a lapoa ma ultra-manifinifi ipu tioata e faigofie ona maua. E mafai ona matou ofoina atu le Safaira, Quartz, Corning, ma SCHOTT ma isi gaosi tioata e mafai ona tuʻuina atu le tele-tele (> 2m × 2m) ma ultra-thin (<50μm) tioata panel ma ultra-maniifi fetuutuunai mea tioata.

3) Tau maualalo. Fa'amanuiaga mai le faigofie ona maua le tele-tele ultra-manifinifi tioata panel, ma e le manaʻomia le deposition o insulating layers, o le tau gaosiga o ipu tioata fetuutuunai e na o le 1/8 o le ipu faʻapipiʻi faʻavae silicon;

4) Faigofie faiga. E leai se mea e manaʻomia e teu ai se mea faʻapipiʻi i luga o le substrate ma le puipui i totonu o le TGV (E ala i le Glass Via), ma e leai se manifinifi e manaʻomia i le mea faʻapipiʻi faʻapipiʻi ultra-thin;

(5) Malosi mautu masini. E tusa lava pe itiiti ifo i le 100µm le mafiafia o le mea fa'apipi'i, e la'ititi lava le warpage;

6) Tele ituaiga o talosaga. I le faʻaopoopoga i faʻamoemoega lelei o talosaga i le tulaga o le maualuga, e pei o se mea manino, e mafai foi ona faʻaaogaina i le fanua o le faʻaogaina o le optoelectronic system, faʻafefeteina ma le faʻamaʻiina o mea lelei e faʻaogaina ai le ipu tioata i le fanua o le MEMS encapsulation e tele lona gafatia.

I le taimi nei, o loʻo tuʻuina atu e le matou kamupani le tioata TGV (Through Glass Via) e ala i tekinolosi pu, e mafai ona faʻatulagaina le gaosiga o mea e oʻo mai ma tuʻuina saʻo le oloa. E mafai ona matou ofoina atu le Safaira, Quartz, Corning, ma SCHOTT, BF33 ma isi tioata. Afai ei ai sou mana'oga, e mafai ona e fa'afeso'ota'i sa'o mai i so'o se taimi! Fa'afeiloa'i su'esu'ega!