Fa'agasologa TVG i luga o le quartz sapphire BF33 wafer Fa'apipi'iina o le glass wafer

O fa'amanuiaga o le TGV (Through Glass Via) e atagia tele i:

1) Uiga eletise maualuga tele. O le tioata o se mea e taofia ai le eletise, e na'o le 1/3 o le silicon le dielectric constant, e 2-3 fa'atonuga o le tele le maualalo ifo o le gau nai lo le silicon, ma fa'aitiitia ai le gau o le substrate ma a'afiaga parasitic e fa'amautinoa ai le sa'o o le fa'ailo e tu'uina atu;

(2) E faigofie ona maua ni tioata tetele ma manifinifi. E mafai ona matou ofoina atu ia Sapphire, Quartz, Corning, ma SCHOTT ma isi kamupani gaosi tioata e mafai ona latou tuʻuina atu tioata paneli tetele (>2m × 2m) ma manifinifi (<50µm) ma tioata manifinifi ma fetuutuunaʻi.

3) Tau maualalo. E faigofie ona maua ni tioata manifinifi tetele, ma e le manaʻomia ai ni vaega e faʻapipiʻi ai mea e taofia ai le vevela, o le tau o le gaosiga o le ipu faʻapipiʻi tioata e naʻo le 1/8 o le ipu faʻapipiʻi e faʻavae i le silicon;

4) Faiga faigofie. E leai se manaʻoga e faʻapipiʻi ai se vaega e taofia ai le vevela i luga o le fogāeleele ma le puipui i totonu o le TGV (Through Glass Via), ma e leai se manaʻoga e faʻaitiitia ai le vevela i le mea e faʻapipiʻi ai le vevela manifinifi;

(5) Malosi le mautu fa'amekanika. Tusa lava pe itiiti ifo le mafiafia o le laulau fa'apipi'i i le 100µm, e la'ititi lava le pi'o;

6) Tele fa'aoga eseese. I le fa'aopoopoga i fa'amoemoega lelei mo le fa'aaogaina i le matata o le fa'aogaina o le tele o taimi, o se mea manino, e mafai fo'i ona fa'aaogaina i le matata o le tu'ufa'atasia o le faiga optoelectronic, o le lelei o le ea ma le tete'e atu i le 'ele e avea ai le tioata i le matata o le MEMS encapsulation ma se gafatia tele.

I le taimi nei, o loʻo tuʻuina atu e le matou kamupani le tekinolosi o le tioata TGV (Through Glass Via) e ala i pu, e mafai ona faʻatulaga le faʻagasologa o meafaitino o loʻo oʻo mai ma tuʻuina atu saʻo le oloa. E mafai ona matou ofoina atu le Sapphire, Quartz, Corning, ma le SCHOTT, BF33 ma isi tioata. Afai e te manaʻomia, e mafai ona e faʻafesoʻotaʻi saʻo mai matou i soʻo se taimi! Susū mai i le fesili!