Vaega o le SiC Air-Bearing Ultra-Precision

Ata Fa'aalia o le Vasega o le Ultra-Precision SiC Air-Bearing

Fa'amatalaga Pupuu:

Faatasi ai ma le alualu i luma faifai pea o le alamanuia o semiconductor, o meafaigaluega mo le faagasologaina ma le siakiina e manaomia ai le faatinoga sili atu ona maualuga. I luga o le fausiaina o tomai faapitoa i le puleaina o gaioiga ma le tulaga o le nanometer, ua matou atiaeina ai se tulaga e sili ona sa'o o le ea e lua-axis ituaiga H.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Aotelega

O le fausaga o le seramika silicon carbide (SiC) ua fa'aleleia atili ai elemene fa'atapula'a ma le tekonolosi e fa'afoeina ai le ea, ua tu'uina atu ai e le tulaga le sa'o lelei, le ma'a'a, ma le tali malosi. E fetaui lelei mo:

Fa'agasologa ma le siakiina o le semiconductor
Fa'agaioiga ma le fuaina o fua o le la'ititi/nano
O le tipiina ma le fa'apala'aina o lago e tusa ma le fua o le nanometa
Su'esu'ega sa'o vave

Vaega Autū

Taiala ea-aveina e le SiCmo le maualuga tele o le malosi ma le sa'o
Malosiaga maualuga: saoasaoa e oo atu i le 1 m/s, faatelevaveina e oo atu i le 4 g, vave ona mautu
Gantry Y-axis e lua-taavalefa'amautinoa le maualuga o le gafatia o avega ma le mautu
Filifiliga o le Encoder: fa'aputuga opitika po'o le laser interferometer
Sa'o le tulaga: ±0.15 μm;toe faia: ±75 nm
Fa'aleleia atili le fa'aogaina o uaeamo se mamanu mamā ma le faʻatuatuaina i se taimi umi
Fa'atulagaga e mafai ona fetu'una'imo manaʻoga faʻapitoa mo talosaga

Fuafuaga Sa'o ma le Tuusa'o-Taavale, Fausiaina e le Fesoota'i

Fa'avaa Seramika SiC: ~5× le malosi o le alumini u'amea ma le ~5× le fa'alauteleina maualalo o le vevela, ma mautinoa ai le mautu i le saoasaoa maualuga ma le malosi i le vevela.
Ea-Bearing Taui: O le mamanu fa'apitoa e fa'aleleia atili ai le malosi, le gafatia e amo ai avega, ma le mautu o le gaioiga.
Fa'atinoga Fa'aolaola: Lagolagoina le saoasaoa o le 1 m/s ma le fa'atelevaveina o le 4 kalama, e fetaui lelei mo fa'agasologa maualuluga.
Feso'ota'iga Lelei: E fetaui ma faiga e vavae ese ai le gatete, vaega vili, vaega fa'a'olo'olo, ma fa'avae taulima o le wafer.
Pulega o Uaea: O le fa'atonutonuina o le la'asaga o le punou e fa'aitiitia ai le mamafa mo se taimi umi e fa'aaoga ai.

Afi Laina e leai se A'ano: Gaioiga lamolemole e aunoa ma se malosi e fa'aoso ai.
Aveta'avale e Tele-Afi: O le tu'uina o le afi uta e fa'aleleia atili ai le sa'o, lamolemole, ma le sa'o o le tulimanu.
Vaevae Fa'avevela: E vavae'ese afi mai le fausaga o le tulaga; e mafai ona fa'aoga le ea po'o le vai e fa'amālūlū ai mo ta'amilosaga faigaluega maualuga.

Fa'amatalaga auiliili

Fa'ata'ita'iga	400-400	500-500	600-600
To'i	X (scan) / Y (laasaga)	X (scan) / Y (laasaga)	X (scan) / Y (laasaga)
Femalagaa'iga (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Sa'o (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Toe fai (nm)	±75	±100	±100
Iugafono (nm)	0.3	0.3	0.3
Saosaoa Maualuga (m/s)	1	1	1
Fa'avavevave (g)	4	4	4
Sa'o (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Mausali (nm)	±5	±5	±5
Avega Maualuga (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Tuutuuga o Suega:

Sapalai o le ea: mamā, mago; tulaga o le sau ≤ 0°F; fa'amamāina o vaega laiti ≤ 0.25 μm; po'o le 99.99% naitorosene.
Na fuaina le sa'o i le 25 mm i luga a'e o le ogatotonu o le tulaga i le 20±1 °C, 40–60% RH.

Talosaga

Lithography semiconductor, asiasiga, ma le taulimaina o le wafer
Faia o mea laiti/nano ma le fuaina sa'o
Gaosiga opitika maualuga ma le interferometry
Vaalele ma suʻesuʻega faasaienisi alualu i luma

Fesili Masani – Vaega e Fa'aogaina ai le Ea e ala i le Silicon Carbide

1. O le ā le tulaga e feaveaʻi ai le ea?

O se tulaga e feaveaʻi ai le ea e faʻaaogaina se ata manifinifi o le ea ua faʻamamafaina i le va o le tulaga ma le ala taʻiala e saunia aie leai se fe'ese'esea'iga, e le ofuina, ma e matuā lamolemole le gaioiga. E le pei o u'amea fa'amekanika masani, e ave'esea ai le mase'e, tu'uina atu le sa'o e tusa ma le nanometer, ma lagolagoina le fa'atuatuaina mo se taimi umi.

2. Aiseā e faʻaaogā ai le silicon carbide (SiC) mo le fausaga o le tulaga?

Ma'a'a tele: ~5× le sili atu nai lo le alumini u'amea, e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina i le taimi o gaioiga fa'a-dynamic.
Fa'alauteleina maualalo o le vevela: ~5× maulalo ifo nai lo le alumini, e tausia ai le sa'o e ui i suiga o le vevela.
Mama: E maualalo le mafiafia pe a fa'atusatusa i le u'amea, e mafai ai ona fa'agaoioia i le saoasaoa maualuga ma le saoasaoa tele.
Mausali lelei: Fa'aitiitia lelei ma le ma'a'a mo le tu'uina sa'o atoatoa.

3. E manaʻomia ea e le tulaga ona faʻasuauʻu pe tausia?

E le manaʻomia se faʻasusu masani ona o loʻo iaileai se feso'ota'iga fa'amekanika. O tausiga fautuaina e aofia ai:

Sapalaiea mama ma mago po'o le nitrogen
Siakiina faavaitaimi o faamama ma masini faamago
Mata'ituina o uaea ma faiga fa'amālūlū

4. O a manaʻoga mo le sapalai o le ea?

Tulaga o le sau: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Fa'amamāina o vaega laiti: ≤ 0.25 μm
Ea mamā, mago pe 99.99% le naitorosene mama
Mamafa mautu ma sina suiga itiiti

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E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.