Faiga Fa'asinomaga Wafer mo Su'ega Fa'asinomaga Crystal
Fa'atomuaga Meafaigaluega
O meafaifa'ameamea e fa'atatau i le wafer o masini fa'apitoa ia e fa'avae i luga o ta'iala o le X-ray diffraction (XRD), e fa'aaoga muamua i le gaosiga o semiconductor, mea fa'apipi'i, ceramics, ma isi mea gaosi mea tioata.
O nei meafaifa'aili e iloa ai le fa'asologa o lattice tioata ma ta'ita'ia sa'o sa'o po'o le fa'aiila faiga. O mea taua e aofia ai:
- Fua sa'o maualuga:E mafai ona fo'ia va'alele tioata fa'atasi ai ma fa'ai'uga pito i lalo i le 0.001°.
- Fa'ata'ita'iga tele feso'ota'iga:Lagolagoina wafers e oo atu i le 450 mm le lautele ma le mamafa o le 30 kilokalama, talafeagai mo mea e pei o le silicon carbide (SiC), safaira, ma le silicon (Si).
- mamanu modular:O galuega fa'alautele e aofia ai le su'esu'eina o le pi'o, fa'afanua fa'aletonu i luga o le 3D, ma le fa'aputuina o masini mo le tele o fa'ata'ita'iga gaioiga.
Fua Fa'atatau Fa'apitoa
| Vaega Parameter | Tulaga Fa'apitoa/Fa'atulagaina |
| Punavai X-ray | Cu-Kα (0.4 × 1 mm nofoaga taulaʻi), 30 kV faʻavavevave voltage, 0-5 mA faʻapipiʻi faʻamau |
| Tulaga Angular | θ: -10° i le +50°; 2θ: -10° i le +100° |
| Sa'o | Fa'ai'uga pito fa'asu'e: 0.001°, iloa fa'aletonu i luga ole laiga: ±30 arcseconds (ga'o fa'afefe) |
| Saosaoa Va'aiga | O le su'esu'ega a le Omega e fa'amae'a le fa'atonuga atoa o lattice i le 5 sekone; Ole su'esu'ega ole Theta e umi le ~1 minute |
| Fa'ata'ita'iga Vaega | V-groove, suction pneumatic, tele-angle rotation, fetaui ma 2-8-inisi sifi. |
| Galuega Fa'alautele | Su'esu'ega o le pi'o, fa'afanua 3D, masini fa'apipi'i, su'esu'ega fa'aletonu (ma'i, GBs) |
Mataupu Faavae o Galuega
1. X-ray Diffraction Foundation
- X-ave fegalegaleai ma atomic nuclei ma electrons i le lattice tioata, faʻatupuina faʻasologa faʻasologa. O le Tulafono a Bragg (nλ = 2d sinθ) e pulea le sootaga i le va o itu eseese (θ) ma le va o lattice (d).
E pu'eina e tagata su'esu'e ia mamanu, lea e su'esu'eina e toe fausia ai le fausaga tioata.
2. Tekonolosi Su'e Omega
- O le tioata e taamilo pea i luga o se axis tumau aʻo faʻamalamalamaina e le X-ray.
- E aoina e le au su'esu'e faailoilo fa'asese i luga o le tele o va'alele tioata, e mafai ai ona fa'ataunu'uina le fa'asologa o lattice i le 5 sekone.
3. Su'esu'ega Pi'opo'oga
- Fa'amautu tioata fa'atasi ma va'aiga fa'alavelave X-ray e fua ai le lautele o le tumutumu (FWHM), su'esu'eina o fa'aletonu lattice ma fa'alavelave.
4. Pulea otometi
- O feso'ota'iga a le PLC ma le touchscreen e mafai ai ona tu'u fa'ata'ita'i tulimanu, fa'amatalaga moni, ma tu'ufa'atasia ma masini tipi mo le tapuni tapuni.
Tulaga lelei ma Faiga
1. Sa'o ma Lelei
- Sa'o sa'o ± 0.001°, fa'afitauli fa'aletonu <30 arcseconds.
- Ole saoasaoa ole Omega e 200x vave nai lo su'esu'ega masani a Theta.
2. Modularity ma Scalability
- E mafai ona fa'alauteleina mo fa'aoga fa'apitoa (fa'ata'ita'iga, SiC wafers, lau turbine).
- Fa'atasi ma faiga MES mo le mata'ituina o le gaosiga o taimi moni.
3. Fegalegaleaiga ma le mautu
- E fa'aogaina fa'ata'ita'iga e le masani ai (fa'ata'ita'iga, o safaira ta'e).
- Fuafuaga fa'amalulu ea fa'aitiitia mana'oga fa'aleleia.
4. Gaoioiga Atamai
- Kiliki tasi le fa'avasegaina ma le tele o galuega.
- Auto-calibration ma tioata faʻasino e faʻaitiitia ai mea sese a tagata.
Talosaga
1. Semiconductor Gaosiga
- Fa'ata'ita'iga wafer dicing: Su'esu'e Si, SiC, GaN fa'ata'ita'iga wafer mo le fa'amalieina lelei o le tipiina.
- Fa'afanua fa'aletonu: Fa'ailoa masiusia i luga po'o fa'a'ese'esega e fa'aleleia atili ai le gaosiga o pu.
2. Mea Fa'atonu
- tioata le laina (faataitaiga, LBO, BBO) mo masini laser.
- Sapphire wafer fa'ailoga fa'ailoga mo mea fa'apipi'i LED.
3. Ceramic ma Composite
- Su'esu'e le fa'atulagaina o saito i le Si3N4 ma le ZrO2 mo fa'aoga maualuga-vevela.
4. Su'esu'ega ma Pulea Tulaga
- Iunivesite/suesuega mo le atina'eina o mea fou (fa'ata'ita'iga, u'amea maualuga-entropy).
- Alamanuia QC e fa'amautinoa le fa'atumauina o vaega.
Au'aunaga a le XKH
O lo'o ofoina atu e le XKH le lagolago fa'atekinisi fa'aolaola mo meafaigāluega fa'ata'ita'i, e aofia ai le fa'apipi'iina, fa'ata'ita'iga fa'asologa o fa'agasologa, su'esu'ega o le pupuni, ma fa'afanua fa'aletonu 3D. O fofo fa'atulagaina (fa'ata'ita'iga, tekinolosi fa'apipi'i ingot) e tu'uina atu e fa'aleleia ai le semiconductor ma le fa'aogaina o mea mata'ina e sili atu i le 30%. O se 'au fa'apitoa e fa'atautaia a'oa'oga i luga ole laiga, a'o le 24/7 fesoasoani mamao ma le fa'avaveina o vaega fa'apitoa e fa'amautinoa ai le fa'atuatuaina o meafaigaluega.
