100mm 4inch GaN i luga o le Safaira Epi-layer wafer Gallium nitride epitaxial wafer
Le faagasologa o le tuputupu aʻe o le GaN lanumoana LED quantum well structure.Fa'amatalaga fa'agasologa fa'agasologa e fa'apea
(1) O le taoina o le vevela maualuga, o le safaira substrate e muamua faʻamafanafanaina i le 1050 ℃ i totonu o le hydrogen atemosifia, o le faʻamoemoe o le faʻamama lea o le substrate;
(2) Pe a pa'ū le vevela o le substrate i le 510 ℃, o se paʻu paʻu maualalo GaN / AlN ma le mafiafia o le 30nm e teuina i luga o le safaira substrate;
(3) O le maualuga o le vevela i le 10 ℃, o le kasa tali atu o le ammonia, trimethylgallium ma le silane o loʻo tui, faʻatonutonu le fua faatatau o le tafe, ma le N-type GaN o le 4um mafiafia ua tupu aʻe;
(4) O le kasa faʻaalia o le trimethyl alumini ma le trimethyl gallium na faʻaaogaina e saunia ai le silicon-doped N-type A⒑ konetineta ma le mafiafia o le 0.15um;
(5) 50nm Zn-doped InGaN na saunia e ala i le tuiina o le trimethylgallium, trimethylindium, diethylzinc ma le amonia i le vevela o le 8O0℃ ma le pulea o fua faatatau eseese;
(6) Na faʻatuputeleina le vevela i le 1020 ℃, trimethylaluminum, trimethylgallium ma bis (cyclopentadienyl) magnesium na tui e saunia 0.15um Mg doped P-ituaiga AlGaN ma 0.5um Mg doped P-ituaiga G kulukose toto;
(7) O le maualuga o le P-ituaiga GaN Sibuyan ata tifaga na maua e ala i le faʻafefe i le ea o le nitrogen i le 700 ℃;
(8) Tusia i luga o le P-ituaiga G stasis luga e faʻaalia ai le N-ituaiga G stasis luga;
(9) Fa'asao o Ni / Au fa'afeso'ota'i papatusi i luga o p-GaNI luga, fa'asao o △ / Al fa'afeso'ota'i ipu i luga ole ll-GaN luga e fausia electrodes.
Fa'amatalaga
| Aitema | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
| Fua | e 100 mm ± 0.1 mm | |
| mafiafia | 4.5±0.5um E mafai ona faʻapitoa | |
| Fa'atonuga | C-vaalele(0001) ±0.5° | |
| Ituaiga Fa'aoso | N-ituaiga (Ua le fa'asaoina) | Ituaiga N (Si-doped) |
| Tete'e(300K) | <0.5 Q・cm | <0.05 Q・cm |
| Fa'atauva'a | <5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 |
| Fe'avea'i | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs |
| Dislocation Density | E itiiti ifo i le 5x108cm-2(fa'atatau e FWHM a XRD) | |
| Fa'apalapala | GaN i luga o le Safaira(Tulaga: SSP Filifiliga: DSP) | |
| Fa'aaogā Laufanua | > 90% | |
| afifi | Faʻapipiʻiina i totonu o le vasega 100 potu mama siosiomaga, i kaseti o le 25pcs poʻo ni pusa faʻapipiʻi tasi, i lalo o se siosiomaga nitrogen. | |
Auiliili Ata
