Meafaigaluega e Tipi Mama Wafer Otometi Atoatoa Tele o Galuega 8inisi/12inisi Tipi Mama Wafer

Fa'amatalaga Pupuu:

Ua tuto'atasi le XKH i le atina'eina o se faiga e tipi ai pito o le wafer otometi atoatoa, o se fofo fa'aonaponei ua mamanuina mo faiga gaosi semiconductor pito i luma. O lenei masini e aofia ai le tekinolosi fou o le pulea fa'atasi o le tele o itu ma o lo'o i ai se faiga o le spindle maualuga-rigidity (saosaoa maualuga o le viliina: 60,000 RPM), e tu'uina atu ai le tipiina sa'o o pito ma le sa'o o le tipiina e o'o atu i le ±5μm. O lo'o fa'aalia e le faiga le fetaui lelei ma le tele o mea fa'apipi'i semiconductor, e aofia ai ae le fa'atapula'aina i:
1. Wafers silicon (Si): Talafeagai mo le fa'agasoloina o pito o wafers 8-12 inisi;
2. Semiconductors tuufaatasi: Mea semiconductor o le tupulaga lona tolu e pei o GaAs ma SiC;
3. Mea fa'apitoa: Wafers mea piezoelectric e aofia ai le LT/LN；

O le mamanu fa'apitoa e lagolagoina ai le vave suia o le tele o mea e fa'aaogaina e aofia ai matā taimane ma ulu tipi laser, fa'atasi ai ma le fetaui e sili atu i tulaga fa'atonuina o le alamanuia. Mo mana'oga fa'apitoa o le fa'agasologa, matou te tu'uina atu fofo atoatoa e aofia ai:
· Sapalai fa'apitoa mo mea e fa'aaogāina mo le tipiina
· Auaunaga fa'agasologa fa'apitoa
· Fofo mo le fa'aleleia atili o fa'asologa o faiga

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Fa'atulagaga fa'apitoa

Fa'atulagaga	Iunite	Fa'amatalaga
Tele Maualuga o le Mea Faigaluega	mm	ø12"
Spindle	Fa'atulagaga	Spindle Tasi
	Saosaoa	3,000–60,000 rpm
	Malosiaga Fa'aulufale Mai	1.8 kW (2.4 filifiliga) i le 30,000 min⁻¹
	Max Blade Dia.	Ø58 mm
X-Axis	Vaega e tipiina ai	310 milimita
Y-Axis	Vaega e tipiina ai	310 milimita
	Fa'ateleina o La'asaga	0.0001 milimita
	Sa'o le Tulaga	≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (sese e tasi)
Z-Axis	Fuafuaga o Felauaiga	0.00005 mm
Z-Axis	Toe fai	0.001 milimita
θ-Axis	Liliuga Maualuga	380 tikeri
Ituaiga Spindle		Tasi le spindle, fa'apipi'iina i le lau ma'a'a mo le tipiina o le mama
Sa'o le tipiina o le mama	μm	±50
Sa'o le Tulaga o le Wafer	μm	±50
Lelei o le Fa'asusu e Tasi	min/wafer	8
Lelei o le Tele-Wafer		E oo atu i le 4 wafers e fa'agasolo fa'atasi
Mamafa o Meafaigaluega	kg	≈3,200
Fua o Meafaigaluega (W×D×H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Mataupu Faavae o le Faagaioiga

Ua ausia e le faiga le faʻatinoga tulaga ese o le teuteuina e ala i nei tekinolosi autu:

1. Faiga Fa'atonutonu Atamai o le Gaioiga:
· Aveta'avale afi laina sa'o maualuga (toe fai le sa'o o le tulaga: ±0.5μm)
· Pulea fa'atasi e ono-au e lagolagoina ai fuafuaga faigata o le ala
· Fa'aogaina o algorithms mo le taofiofia o le gatete i le taimi moni e fa'amautinoa ai le mautu o le tipiina

2. Faiga Fa'apitoa mo le Sailiga:
· Sensor maualuga laser 3D ua tu'ufa'atasia (sa'o: 0.1μm)
· Tulaga vaaia CCD maualuga le iugafono (5 megapixels)
· Vaega o le siakiina o le lelei i luga ole laiga

3. Fa'agasologa Fa'aautomatika Atoatoa:
· Utaina/la'u ese otometi (tutusa ma le FOUP interface masani)
· Faiga fa'avasega atamai
· Iunite fa'amamā tapuni (mama: Vasega 10)

Fa'aoga Masani

O lenei masini e aumaia le taua tele i totonu o galuega gaosi semiconductor:

Malae Talosaga	Meafaitino o le Fa'agasologa	Fa'amanuiaga Fa'atekinolosi
Gaosiga o le IC	8/12" Wafer Silikon	Fa'aleleia le fa'atulagaina o le lithography
Masini Fa'aeletise	Wafers SiC/GaN	Puipuia ai fa'aletonu o pito
Sensors MEMS	Wafers SOI	Fa'amautinoa le fa'atuatuaina o le masini
Masini RF	Wafers GaAs	Fa'aleleia le fa'atinoga o leo maualuga
Afifiina Fa'atekonolosi	Wafers ua toe fa'afouina	Fa'ateleina le fua o afifiina

Fa'aaliga

1. Fa'atulagaga o le nofoaga e fa mo le maualuga o le lelei o le fa'agasologa;
2. Aveese ma le fa'amamāina o le mama TAIKO mautu;
3. Feso'ota'iga maualuga ma mea taua e fa'aaogaina;
4. O le tekinolosi teuteuga fa'atasi-au e fa'amautinoa ai le tipiina sa'o o le pito;
5. O le faagasologa otometi atoatoa e faʻaitiitia ai le tau o galuega;
6. O le mamanu fa'apitoa o le laulau faigaluega e mafai ai ona fa'agasolo lelei le fa'atulagaina o fausaga fa'apitoa;

Galuega Faatino

1. Faiga e iloa ai le pa'ū o le mama;
2. Fa'amamaina otometi o le laulau faigaluega;
3. Faiga atamai e aveese ai le UV;
4. Fa'amaumauga o le fa'agaioiga;
5. Tuufaatasia o le module otometi a le falegaosimea;

Tautinoga i le Auaunaga

E tuʻuina atu e le XKH ni auaunaga lagolago atoatoa ma atoatoa i le olaga atoa ua mamanuina e faʻaleleia atili ai le faʻatinoga o masini ma le lelei o le faʻagaioiga i lau faigamalaga gaosiga.
1. Auaunaga Fa'apitoa
· Fa'atulagaga Fa'apitoa o Meafaigaluega: E galulue fa'atasi la matou 'au inisinia ma tagata fa'atau e fa'aleleia atili ai tulaga fa'atino (saosaoa o le tipiina, filifiliga o le lau, ma isi mea fa'apena) e fa'avae i luga o meatotino fa'apitoa o meafaitino (Si/SiC/GaAs) ma mana'oga o le fa'agasologa.
· Lagolago i le Atina'eina o Faiga: Matou te ofoina atu le fa'agasologa o fa'ata'ita'iga fa'atasi ai ma lipoti au'ili'ili auiliili e aofia ai le fuaina o le mageso o pito ma le fa'afanua o mea sese.
· Atina'eina Fa'atasi o Mea Fa'aaogā: Mo meafaitino fou (e pei o le Ga₂O₃), matou te galulue fa'atasi ma kamupani gaosi oloa ta'imua e atia'e ni lau/optic laser fa'apitoa mo fa'aoga.

2. Lagolago Fa'apitoa Fa'apolofesa
· Lagolago Tutoatasi i le Nofoaga: Tofia inisinia ua fa'amaonia mo vaega taua o le fa'aleleia atili (e masani lava 2-4 vaiaso), e aofia ai:
Fa'atulagaina o masini ma le fa'aleleia atili o le fa'agasologa
A'oa'oga agava'a o le tagata fa'agaoioia
Taiala mo le tuufaatasia o potu mama o le Vasega 5 a le ISO
· Tausiga Fa'atatau: Siakiina o le soifua maloloina fa'alekuata fa'atasi ai ma le au'ili'iliga o le gatete ma le fa'amaoniga o le servo motor e puipuia ai le taimi e le'i fuafuaina e fa'agata ai.
· Mata'ituina Mamao: Siakiina o le fa'atinoga o masini i le taimi moni e ala i la matou fa'avae IoT (JCFront Connect®) fa'atasi ai ma fa'ailoilo fa'aletonu otometi.

3. Auaunaga Fa'aopoopo Taua
· Fa'avae o le Malamalama i Faiga: Maua le silia ma le 300 fua fa'amaonia o le tipiina mo meafaitino eseese (fa'afouina i kuata ta'itasi).
· Fa'atulagaina o le Ala o Tekonolosi: Fa'amautinoa lau tupe teufaafaigaluega i le lumana'i i auala fa'aleleia atili o masini/polokalame (e pei o le vaega e iloa ai mea sese e fa'avae i luga o le AI).
· Tali atu i Faalavelave Tutupu Faafuasei: Faamaonia le faia o suʻesuʻega mamao i totonu o le 4 itula ma le fesoasoani i le nofoaga i le 48 itula (lautele).

4. Atina'e o Auaunaga
· Fa'amaoniga o le Fa'atinoga: Ta'utinoga fa'akonekarate i le ≥98% taimi e fa'agaoioia ai masini fa'atasi ai ma taimi tali e lagolagoina e le SLA.

Fa'aleleia Pea

Matou te faia ni suʻesuʻega faʻamalieina o tagata faʻatau i tausaga taʻitasi ma faʻatinoina ni fuafuaga a le Kaizen e faʻaleleia atili ai le tuʻuina atu o auaunaga. O la matou 'au suʻesuʻega ma atinaʻe e faʻaliliuina atu malamalamaaga i le fanua i faʻaleleia atili o masini - 30% o faʻaleleia atili o firmware e mafua mai i manatu o tagata faʻatau.