Masini Fa'apala'au Ion Beam mo le safaira SiC Si

Masini Fa'apala Ion Beam mo le safaira SiC Si Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O le Masini Fa'ata'ita'i ma Fa'apala'au o le Ion Beam e fa'avae i luga o le mataupu fa'avae o le ion sputtering. I totonu o se potu e maualuga le vacuum, e gaosia ai e se puna ion le plasma, lea e fa'avavevaveina i se ave ion e maualuga le malosi. O lenei ave e osofa'ia le fogāeleele o le vaega opitika, ma aveese ai mea i le fua fa'a-atomika e ausia ai le fa'asa'oga ma le fa'auma lelei o le fogāeleele.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Ata Auiliili

Aotelega o le Oloa o le Masini Fa'apala'au Ion Beam

I le avea ai o se faiga e lē fesootaʻi, o le faʻapupulaina o le ion beam e aveesea ai le mamafa faʻamekanika ma ʻalofia ai le faʻaleagaina o le eleele, ma avea ai ma mea lelei mo le gaosiga o mea vaʻaia saʻo maualuga e faʻaaogaina i le vateatea, aerospace, semiconductors, ma faʻaoga suʻesuʻega faʻapitoa.

Mataupu Faavae o le Fa'agaoioiga o le Masini Fa'apala'au Ion Beam

Fa'atupuina o le Ion
O le kasa e lē gaoioi (e pei o le argon) e fa'aofiina i totonu o le potu e fa'asu'i ai le ea ma fa'aionia e ala i se fa'asa'olotoina eletise e fausia ai le plasma.

Fa'avavevave ma le Fausiaina o le Ufi
E fa'avavevaveina ia ions i le tele o selau pe afe fo'i electron volts (eV) ma fa'atulaga i se tulaga mautu ma taula'i.

Aveesea o Meafaitino
E fa'apupuna fa'aletino e le ave o le ion ia atomu mai luga e aunoa ma le amataina o ni tali fa'akemikolo.

Iloa o Mea Sese ma le Fuafuaina o Ala
E fuaina le eseesega o foliga o luga i le interferometry. E faʻaaogaina galuega tauave e aveese ai e fuafua ai taimi e nonofo ai ma faʻatupuina ni auala faʻaleleia atili mo meafaigaluega.

Fa'asa'oga Tapuni-Li'o
E fa'aauau pea ta'amilosaga faifai pea o le fa'agasologa ma le fuaina se'ia ausia sini sa'o o le RMS/PV.

Vaega Autū o le Masini Fa'apala'au Ion Beam

Feso'ota'iga Lautele i Luga– Fa'agasolo foliga mafolafola, foliga lapotopoto, foliga fa'atafafā, ma foliga saoloto

Fua Fa'atatau o le Ave'esea e Sili Ona Mausali– E mafai ai ona faasa'oina le fuainumera o le sub-nanometer

Fa'agasologa e aunoa ma se fa'aleagaina– Leai ni fa'aletonu i lalo o le eleele po'o ni suiga i le fausaga

Fa'atinoga Tumau– E tutusa lelei le galue i meafaitino e eseese le maaa

Fa'asa'oga o le Taimi Maualalo/Feololo– Aveese mea sese e aunoa ma le faia o mea fa'atino i le ogatotonu/maualuga

Mana'oga Tausiga Maualalo- Fa'agaoioiga faifai pea mo se taimi umi ma sina taimi e le mafai ai ona fa'agaoioia

Fa'amatalaga Fa'apitoa Autū o le Masini Fa'apala'au Ion Beam

Mea	Fa'amatalaga
Metotia o le Fa'agasologa	Fa'asu'u o le ion i se siosiomaga e maualuga le vacuum
Ituaiga o le Fa'agasologa	Fa'atulagaina ma fa'apulusaina o luga e le pa'i
Tele Maualuga o le Mea Faigaluega	Φ4000 mm
Au o le Fe'avea'i	3-au / 5-au
Mausali o le Aveesea	≥95%
Sa'o o le Foliga	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (RMS masani < 1 nm; PV < 15 nm)
Malosiaga o le Fa'asa'oina o Taimi	Aveese mea sese i taimi maualalo-feoloolo e aunoa ma le faʻalauiloaina o mea sese i taimi ogatotonu/maualuga
Fa'agaioiga Fa'aauau	3–5 vaiaso e aunoa ma le tausiga o le masini e aveese ai le ea (vacuum)
Tau o le Tausiga	Maualalo

Gafatia o le Fa'agasologa o le Masini Fa'apala'au Ion Beam

Ituaiga o Luga Lagolagoina

Faigofie: Mafolafola, lapotopoto, prism

Faigata: Asphere tutusa/lē tutusa, asphere e lē tutusa le itu, cylindrical

Fa'apitoa: Opitika manifinifi tele, opitika slat, opitika hemispherical, opitika conformal, plats phase, luga freeform

Meafaitino Lagolagoina

Tioata opitika: Kuata, maikokirisitala, K9, ma isi.

Mea fa'a-infrared: Silicon, germanium, ma isi.

Uamea: Alumini, u'amea e le pala, titanium alloy, ma isi.

Kirisitala: YAG, silicon carbide kirisitala e tasi, ma isi.

Mea malo/mamago: Silicon carbide, ma isi.

Tulaga Lelei / Sa'o o le Foliga

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Su'esu'ega o Mataupu Fa'agasolo o le Masini Fa'apala'au Ion Beam

Mataupu 1 – Faaata Mafolafola Masani

Mea faigaluega: D630 mm kuata mafolafola

I'uga: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Mataupu 2 – Fa'ata Ata X-ray

Mea faigaluega: 150 × 30 mm silicon flat

I'uga: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Fa'asolo 0.13 µrad

Mataupu 3 – Fa'ata e Le o i le Axis

Mea faigaluega: Fa'ata eleele e le o i lalo o le 'au D326 mm

I'uga: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

Fesili e Masani Ona Fesiligia e uiga i Matatioata Kuata

Fesili Masani – Masini Fa'apala'au o le Ion Beam

Q1: O le ā le fa'apupulaina o le ave ion?
A1:O le fa'apala'aina o le ion beam o se faiga e le fa'afeso'ota'i e fa'aaoga ai se ave fa'apitoa o ions (e pei o argon ions) e aveese ai mea mai luga o se mea faigaluega. E fa'avavevaveina ma fa'asino i ai ions agai i luga, ma mafua ai ona aveese mea i le tulaga atomika, ma iu ai ina lamolemole lelei. O lenei faiga e aveese ai le mamafa fa'amekanika ma le fa'aleagaina o le eleele, ma avea ai ma mea lelei mo vaega opitika sa'o.

Q2: O a ituaiga o luga e mafai ona fa'agasolo e le Ion Beam Polishing Machine?
A2:O leMasini Fa'apala'au Ion Beame mafai ona fa'agasolo le tele o mea eseese, e aofia ai vaega faigofie opitika e pei olaulau, polo, ma prisma, fa'apea fo'i ma foliga faigata e pei oaspheres, aspheres e le o i le itu, maluga e leai se fausagaE sili ona aoga i mea e pei o tioata opitika, tioata infrared, u'amea, ma mea malo/gaugau.

Q3: O a meafaitino e mafai ona fa'aogaina ai le Ion Beam Polishing Machine?
A3:O leMasini Fa'apala'au Ion Beame mafai ona fa'apala le tele o meafaitino, e aofia ai:

Tioata opitika: Kuata, maikokirisita, K9, ma isi.
Mea fa'a-infrared: Silikoni, germanium, ma isi.
Uamea: Alumini, u'amea e le pala, u'amea fa'a-tītaniuma, ma isi.
Meafaitino tioata: YAG, silicon carbide tioata-tasi, ma isi.
Isi mea malo/gaugau: Silicon carbide, ma isi.

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E fa'apitoa le XKH i le atina'eina o tekinolosi maualuluga, gaosiga, ma le fa'atauina atu o tioata opitika fa'apitoa ma mea fou fa'akristali. O a matou oloa e tautua i mea fa'aeletoronika opitika, mea fa'aeletoronika fa'atau, ma le militeri. Matou te ofoina atu vaega opitika Sapphire, ufi tioata telefoni feavea'i, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ma semiconductor crystal wafers. Fa'atasi ai ma le tomai fa'apitoa ma meafaigaluega fa'aonaponei, matou te matua'i lelei i le fa'agasologaina o oloa e le masani ai, ma le fa'amoemoe e avea ma se pisinisi fa'atekonolosi maualuga e ta'imua i meafaitino optoelectronic.