3 inisi Mama Maualuga (E le'i fa'apipi'iina) Silicon Carbide Wafers semi-Insulating Sic Substrates (HPSl)

Fa'amatalaga Pupuu:

O le 3-inisi High Purity Semi-Insulating (HPSI) Silicon Carbide (SiC) wafer o se substrate sili ona lelei ua fa'alelei mo fa'aoga eletise maualuga, televave maualuga, ma optoelectronic. O lo'o gaosia i mea e leai ni fa'aopoopoga, maualuga le mama 4H-SiC, o nei wafers e fa'aalia ai le lelei tele o le fa'avevela, lautele le bandgap, ma uiga fa'apitoa o le semi-insulating, ma avea ai ma mea taua mo le atina'eina o masini fa'aonaponei. Faatasi ai ma le tulaga lelei o le fausaga ma le lelei o le luga, o substrates HPSI SiC e avea ma fa'avae mo tekinolosi o le isi tupulaga i le eletise eletise, feso'ota'iga, ma alamanuia va'alele, e lagolagoina ai le fa'afouga i vaega eseese.

Auina mai se imeli ia i matou

Fa'aaliga

Meatotino

1. Meatotino Fa'aletino ma Fa'atulagaga
●Ituaiga Meafaitino: Mama Maualuga (E le'i Fa'afefiloiina) Silicon Carbide (SiC)
●Lapoa: 3 inisi (76.2 mm)
●Mafiafia: 0.33-0.5 mm, e mafai ona fetu'una'i e fa'atatau i mana'oga o le talosaga.
●Fausaga o le Kilisitala: 4H-SiC polytype ma se hexagonal lattice, e lauiloa i le maualuga o le gaoioi o le eletise ma le mautu o le vevela.
●Fa'asinomaga:
oFa'atulagaga Masani: [0001] (C-plane), talafeagai mo le tele o fa'aoga eseese.
oFilifiliga: Ese mai le itu tauagavale (fa'asino 4° po'o le 8°) mo le fa'aleleia atili o le tuputupu a'e epitaxial o vaega o masini.
●Lafoa'i: Suiga o le mafiafia atoa (TTV) ●Lelei o le Foliga:
oFa'apupula i le mafiafia maualalo o le fa'aletonu (<10/cm² mafiafia o paipa maikolo). 2. Meatotino Fa'aeletise ●Tete'e: >109^99 Ω·cm, fa'atumauina e ala i le ave'esea o mea fa'aopoopo fa'amoemoeina.
●Malosiaga Dielectric: Tumau maualuga i le voltage ma laʻititi lava le leiloa o dielectric, e fetaui lelei mo faʻaoga maualuluga le malosi.
●Fa'avevela: 3.5-4.9 W/cm·K, e mafai ai ona fa'asa'oloto lelei le vevela i masini e maualuga le fa'atinoga.

3. Meatotino Fa'avevela ma Fa'amekanika
●Vaega Lautele o le Bandgap: 3.26 eV, e lagolagoina ai le fa'agaioiga i lalo o le voltage maualuga, vevela maualuga, ma tulaga maualuluga o le radiation.
●Malō: Mohs scale 9, e mautinoa ai le malosi e tetee atu i le ofuina fa'amekanika i le taimi o le gaosiga.
●Fua Fa'alauteleina o le Vevela: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, ma fa'amautinoa ai le mautu o le fua i lalo o fesuia'iga o le vevela.

Fa'atulagaga	Vasega o le Gaosiga	Vasega o Suesuega	Vasega Fa'ata'ita'i	Iunite
Vasega	Vasega o le Gaosiga	Vasega o Suesuega	Vasega Fa'ata'ita'i
Lapoa	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	76.2 ± 0.5	mm
Mafiafia	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25	µm
Fa'asinomaga o le Wafer	I luga o le 'au: <0001> ± 0.5°	I luga o le 'au: <0001> ± 2.0°	I luga o le 'au: <0001> ± 2.0°	tikeri
Mafiafia o le Maikopipa (MPD)	≤ 1	≤ 5	≤ 10	cm−2^-2−2
Tete'e Fa'aeletise	≥ 1E10	≥ 1E5	≥ 1E5	Ω·cm
Dopant	Ua le toe fa'aaogaina	Ua le toe fa'aaogaina	Ua le toe fa'aaogaina
Fa'asinomaga Laulau Muamua	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	{1-100} ± 5.0°	tikeri
Umi Mafolafola Autū	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	32.5 ± 3.0	mm
Umi Mafolafola Lona Lua	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	18.0 ± 2.0	mm
Fa'asinomaga Mafolafola Lona Lua	90° CW mai le mafolafola autū ± 5.0°	90° CW mai le mafolafola autū ± 5.0°	90° CW mai le mafolafola autū ± 5.0°	tikeri
Tuusaunoaga o le Pito	3	3	3	mm
LTV/TTV/Aufana/Vau	3 / 10 / ±30 / 40	3 / 10 / ±30 / 40	5 / 15 / ±40 / 45	µm
Ma'ale'ale o le fogā'ele'ele	Si-fofoga: CMP, C-fofoga: Fa'apupula	Si-fofoga: CMP, C-fofoga: Fa'apupula	Si-fofoga: CMP, C-fofoga: Fa'apupula
Māvaevae (Moli Malosi)	Leai se tasi	Leai se tasi	Leai se tasi
Papa Hex (Moli Malosi Maualuga)	Leai se tasi	Leai se tasi	Eria fa'aputu 10%	%
Vaega Polytype (Moli Malosi Maualuga)	Eria fa'aputu 5%	Eria fa'aputu 20%	Eria fa'aputu 30%	%
Maosi (Moli Malosi)	≤ 5 maosi, umi fa'aputu ≤ 150	≤ 10 maosi, umi fa'aputu ≤ 200	≤ 10 maosi, umi fa'aputu ≤ 200	mm
Fa'apala'au o le Pito	Leai se mea ≥ 0.5 mm le lautele/loloto	2 fa'atagaina ≤ 1 mm lautele/loloto	5 fa'atagaina ≤ 5 mm lautele/loloto	mm
Fa'aleagaina o le Luga	Leai se tasi	Leai se tasi	Leai se tasi

Talosaga

1. Eletise Malosiaga
O le lautele o le bandgap ma le maualuga o le thermal conductivity o le HPSI SiC substrates e avea ai ma mea lelei mo masini eletise e faʻagaoioia i tulaga ogaoga, e pei o:
●Meafaigaluega Malosiaga Maualuga: E aofia ai MOSFET, IGBT, ma Schottky Barrier Diodes (SBD) mo le fa'aliliuina lelei o le eletise.
● Faiga o le Malosiaga Fa'afouina: E pei o masini fa'aliliuina o le la ma masini fa'atonutonu o turbine matagi.
●Ta'avale Eletise (EV): E fa'aaogaina i inverters, chargers, ma powertrain systems e fa'aleleia atili ai le lelei ma fa'aitiitia ai le lapo'a.

2. Fa'aoga o le RF ma le Microwave
O le maualuga o le tete'e ma le maualalo o le dielectric losses o le HPSI wafers e taua tele mo le radio-frequency (RF) ma microwave systems, e aofia ai:
●Fa'avae o Fesootaiga: Nofoaga autu mo feso'ota'iga 5G ma feso'ota'iga satelite.
●Vaalele ma le Puipuiga: Faiga o radar, antenna fa'asolosolo, ma vaega o avionics.

3. Optoelectronics
O le manino ma le lautele o le va o le fusi o le 4H-SiC e mafai ai ona faʻaaogaina i masini optoelectronic, e pei o:
●Masini e iloa ai ata o le UV: Mo le mata'ituina o le siosiomaga ma su'esu'ega faafoma'i.
●LED Malosiaga Maualuga: Lagolagoina faiga moli mautu.
●Diodes Laser: Mo fa'aoga tau alamanuia ma togafitiga faafoma'i.

4. Suesuega ma Atina'e
E faʻaaogaina lautele le HPSI SiC substrates i fale suʻesuʻega faʻaleaʻoaʻoga ma fale gaosi oloa mo le suʻesuʻeina o meatotino faʻapitoa ma le gaosiga o masini, e aofia ai:
●Tuputupu a'e o le Vaega Epitaxial: Su'esu'ega i le fa'aitiitia o fa'aletonu ma le fa'aleleia atili o le vaega.
●Su'esu'ega o le Fe'avea'i o Avefe'au: Su'esu'ega o le felauaiga o eletise ma pu i mea e maualuga le mama.
●Fa'ata'ita'iga: Atina'eina muamua o masini ma matagaluega fou.

Fa'amanuiaga

Tulaga Sili:
O le maualuga o le mama ma le maualalo o le mafiafia o mea sese e maua ai se faʻavae faʻatuatuaina mo faʻaoga faʻapitoa.

Mausali o le Vevela:
O le lelei o ona uiga e fa'ata'ape'apeina ai le vevela e mafai ai e masini ona fa'agaoioia lelei pe a mana'omia le malosi ma le vevela maualuga.

Feso'ota'iga Lautele:
O fa'atulagaga o lo'o maua ma filifiliga o le mafiafia fa'apitoa e fa'amautinoa ai le fetu'una'i mo mana'oga eseese o masini.

Tumau:
O le ma'a'a tulaga ese ma le mautu o le fausaga e fa'aitiitia ai le ofuina ma le fa'aleagaina i le taimi o le fa'agasologa ma le fa'agaioiga.

Fetuuna'iga:
E talafeagai mo le tele o alamanuia, mai le malosi fa'afouina i le ea ma feso'ota'iga tau va'alele.

Faaiuga

O le 3-inisi High Purity Semi-Insulating Silicon Carbide wafer o loʻo faʻatusalia ai le tumutumuga o tekinolosi substrate mo masini eletise maualuga, maualuga-frequency, ma optoelectronic. O lona tuʻufaʻatasiga o meatotino sili ona lelei o le vevela, eletise, ma le faʻainisinia e faʻamautinoa ai le faʻatinoga faʻatuatuaina i siosiomaga faigata. Mai le eletise eletise ma faiga RF i le optoelectronics ma R&D faʻapitoa, o nei substrates HPSI e maua ai le faʻavae mo mea fou o lumanaʻi.
Mo nisi fa'amatalaga pe e te mana'o e tu'u se oka, fa'amolemole fa'afeso'ota'i matou. O lo'o avanoa la matou 'au fa'apitoa e tu'uina atu ni ta'iala ma ni filifiliga fa'apitoa e fetaui ma ou mana'oga.